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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]等离子体发生装置及基板处理装置-CN201610318718.4有效
发明人： 张鸿永;徐相勳;李润星 -专利权人：周星工程股份有限公司;韩国科学技术院
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了一种等离子体发生装置即基板处理装置。所述等离子体发生装置包括：设置在真空容器内部并互相平行地延伸的多个接地电极；和设置在接地电极之间的功率电极。在接地电极和功率电极之间存在有距离恒定的区域，功率电极在面对基板的方向上逐渐变细。功率电极连接至RF功率源，并且在面对基板的方向上，功率电极的高度大于接地电极的高度。
等离子体发生装置处理

[发明专利]等离子体装置和基板处理装置-CN201280047361.0有效
发明人： 张鸿永;李镇远 -专利权人：韩国科学技术院;威特尔有限公司
申请日： 2012-10-02 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： H05H1/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体生成装置以及基板处理装置。等离子体生成装置包括：多个介电管，所述多个介电管分别安装在形成于真空容器中的多个通孔中；天线，基于所述天线在所述真空容器中的布置对称性，所述天线被划分成第一天线组以及第二天线组，并分别安装在所述介电管外部；第一RF功率源，所述第一RF功率源用于向所述第一天线组供应功率；第二RF功率源，所述第二RF功率源用于向所述第二天线组供应功率；以及第一功率分配单元，所述第一功率分配单元布置在所述第一天线组与所述第一RF功率源之间，以将来自所述第一RF功率源的功率分配到所述第一天线组。
等离子体装置处理

[发明专利]等离子体发生装置及基板处理装置-CN201280016017.5有效
发明人： 张鸿永;徐相勳;李润星 -专利权人：周星工程股份有限公司;韩国科学技术院
申请日： 2012-03-29 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：公开了一种等离子体发生装置即基板处理装置。所述等离子体发生装置包括：设置在真空容器内部并互相平行地延伸的多个接地电极；和设置在接地电极之间的功率电极。在接地电极和功率电极之间存在有距离恒定的区域，功率电极在面对基板的方向上逐渐变细。功率电极连接至RF功率源，并且在面对基板的方向上，功率电极的高度大于接地电极的高度。
等离子体发生装置处理

[发明专利]等离子体发生器-CN201080070565.7无效
发明人： 张鸿永;徐相勋;印正奂;李宪洙;李润星 -专利权人：韩国科学技术院;周星工程股份有限公司
申请日： 2010-12-09 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体发生器，其包括：真空容器；多个接地电极，它们布置在所述真空容器内且相互平行地延伸；多个电源电极，它们在所述真空容器内布置于所述接地电极之间；以及多个电极电介质，它们在所述真空容器内布置于所述电源电极与所述接地电极之间。所述电源电极与RF电源连接。
等离子体发生器

[发明专利]等离子处理装置及等离子处理方法-CN200810100302.0有效
发明人：黄太亨;张鸿永 -专利权人：三星电子株式会社;韩国科学技术院
申请日： 2008-02-05 - 公布日： 2008-09-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及等离子处理装置及处理方法，其产生均匀等离子以对大面积基板能够实施匀化处理。该等离子处理装置包含：真空腔；配置于真空腔内部下侧、由多个块件形成的下部电极；配置于真空腔内部上侧、呈接地状态的上部电极；向真空腔内部提供工艺气体的工艺气体供给部；与下部电极连接、并施加电源功率的电源功率供给部；与下部电极的各块件分别连接、向各块件单独提供偏置功率的偏置功率供给部；及计算施加于下部电极各块件的偏置功率、并控制偏置功率供给部的控制部。
等离子处理装置方法

[发明专利]使用混合耦合等离子体的装置-CN200410068892.5有效
发明人：权奇淸;张鸿永;李容官 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2004-07-14 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种混合耦合等离子体型装置，包括：一具有一注气单元的腔室；一位于该腔室中的静电夹盘；一位于该注气单元上的绝缘盘；一高频产生器；一连接到该高频产生器的阻抗匹配电路；以并联方式连接到该阻抗匹配电路的第一和第二天线，该高频产生器的一功率被提供到该第一和第二天线；一以串联方式连接到该第一和第二天线中的一个上的板形电极，该高频产生器的该功率被提供到该电极；和一位于该高频产生器与该第一和第二天线中的一个之间的功率分配器。
使用混合耦合等离子体装置

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