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[发明专利]一种矩形感性耦合等离子体的三维流体模拟方法及系统-CN202310876696.3在审
发明人：赵明亮;张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-07-17 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明公开一种矩形感性耦合等离子体的三维流体模拟方法及系统，涉及三维流体模拟领域；所述方法包括：采用三维直角坐标系构建矩形感性耦合等离子体的三维流体模型；将三维流体模型中的模拟区域划分为正交网格，得到多个网格；设定放电参数；基于放电参数对三维流体模型进行三维流体模拟，得到放电参数下的不同网格的均匀性参数；根据放电参数下的不同网格的均匀性参数，确定放电参数下的三维流体模型的等离子体的均匀性模拟结果。本发明提出的模拟方法可以自洽地模拟大面积矩形感性耦合等离子体源的各种关键参数，且本发明是三维的流体模拟方法，因此可以考虑很多实际工艺上存在的三维效应。
一种矩形感性耦合等离子体三维流体模拟方法系统

[发明专利]一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质-CN202211156968.4在审
发明人：李京泽;张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G06F30/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体源的模拟方法、系统、电子设备及存储介质，涉及容性耦合等离子体源模拟技术领域，所述方法包括：将目标区域划分为多个彼此相接的正交网格；确定待模拟容性耦合等离子体源的当前时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数并确定当前时刻的电子流体方程组、重粒子流体方程组和当前时刻的离散形式静电场方程；从而确定当前时刻的电势和电场强度以及下一时刻的电子的流动状态参数和重粒子的流动状态参数，满足预设终止条件时，将第二设定时间段内的流动状态参数、电势和电场强度确定为待模拟容性耦合等离子体源的模拟结果。本发明提高了容性耦合等离子体源的模拟效率。
一种等离子体模拟方法系统电子设备存储介质

[发明专利]一种偏压感应耦合等离子体源优化方法、系统及电子设备-CN202211188157.2在审
发明人：赵明亮;张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种偏压感应耦合等离子体源优化方法、系统及电子设备，涉及偏压感应耦合等离子体技术领域，包括：确定偏压感应耦合等离子体源的电场和感应沉积功率密度，进而得到体区流体参数和每个鞘层的鞘层参数；确定并将鞘层对体区的随机加热通量，作为下一次迭代时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边界条件，确定偏压感应耦合等离子体源的电场，直至体区流体参数和鞘层参数均收敛，得到时空变化电场；进而确定离子蒙特卡洛碰撞模型，得到极板不同位置处的离子能量分布和离子角度分布。能够同时且快速地确定出偏压感应耦合等离子体源中的离子能量分布和离子角度分布，进而提高优化偏压感应耦合等离子体源放电特性的效率。
一种偏压感应耦合等离子体优化方法系统电子设备

[发明专利]感性耦合等离子体源放电模式转换的快速模拟方法及系统-CN202210746739.1在审
发明人： 张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种感性耦合等离子体源放电模式转换的快速模拟方法及系统，包括：对等离子体源放电过程中的各物理量赋初值，根据气体泵入和泵出、表面反应和体区反应引起的粒子数变化，计算各粒子密度；基于能量守恒方程，根据感性吸收功率初始值和容性吸收功率初始值计算当前电子温度；基于麦克斯韦方程组确定等离子体源在感性模式和容性模式下的电磁场分布；根据电磁场分布计算当前感性吸收功率和当前容性吸收功率；迭代计算各物理量直至与上一次迭代计算的各物理量差值小于设定阈值停止迭代，输出各个物理量的值；各个物理量的值用于表征感性耦合等离子体源的放电模式转换过程。能够精确地模拟放电模式转换过程中的等离子体特性，提高计算效率。
感性耦合等离子体放电模式转换快速模拟方法系统

[发明专利]一种用于预估负氢离子密度的模拟方法-CN202110454195.7在审
发明人： 张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明属于核聚变技术领域，提供了一种用于预估负氢离子密度的模拟方法。本发明提出的模拟方法，将14个氢分子的振动激发态H2(v＝1～14)进行分组，即将几个相邻的激发态看作一个粒子。这样处理，不仅可以减少模型中包含的粒子数量(即粒子数守恒方程的数量)，还可以忽略组内粒子之间的反应(即模型中包含的化学反应数量也显著下降)。采用分组模型计算得到的负氢离子密度，与原始模型的差异始终低于6％，尤其是当气压较高时，二者的差异低于1％。此外，对于其他正离子密度、H原子密度及电子温度来说，相对差异也保持在较低水平，这充分说明了本发明提供的模拟方法具有较高的精度。
一种用于预估氢离子密度模拟方法

[发明专利]一种等离子体放电过程模拟方法及系统-CN202010787014.8有效
发明人： 张钰如;高飞;王友年 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体放电过程模拟方法及系统，涉及等离子体源技术领域。该方法包括：在主等离子体区中，利用双极扩散近似和漂移扩散近似计算双极电场；利用双极电场和电子能量方程计算当前射频周期的电子温度；在鞘层区中，利用电子温度、连续性方程和动量方程确定正离子的密度和速度；利用泊松方程和电流平衡方程确定瞬时电场；若相邻两个射频周期的同种带电粒子密度之间的差值小于密度预设阈值，则利用鞘层区的正离子密度、正离子速度和瞬时电场采用离子蒙特卡洛方法确定离子能量分布和角度分布。本发明将主等离子体区和鞘层区分块处理，在主等离子体区采用双极扩散近似避免求解泊松方程，加快了模拟方法的运行效率，提高了模拟速度。
一种等离子体放电过程模拟方法系统

[实用新型]声闸消音门-CN201521055754.3有效
发明人： 张钰如;武永亮 -专利权人：北京市第五建筑工程集团有限公司
申请日： 2015-12-17 - 公布日： 2016-06-22 - 主分类号： E06B5/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种声闸消音门，其技术方案要点是：包括内消音门和外消音门，所述内消音门与所述外消音门之间设置有左连接板、上连接板和右连接板，所述内消音门、外消音门、左连接板、上连接板和右连接板之间形成有一供人活动的空间。本实用新型解决了现有技术中隔音门起到的隔音效果不佳的问题。
消音

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