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[发明专利]一种基于全硅基掩膜版的薄膜器件的制备方法-CN201911084206.6有效
发明人：包文中;郭晓娇;张海马;周鹏;张卫 -专利权人：复旦大学
申请日： 2019-11-07 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本发明属于半导体工艺技术领域，具体为一种基于全硅基掩膜版的薄膜器件的制备方法。本发明方法包括：设计及制备硅基掩膜版，硅基掩膜版包括镀膜掩膜版、刻蚀掩膜版，掩膜版上设计有对准标记；准备器件基底，包括基底的选材、清洗、预处理；在器件基底上制备半导体薄膜；用高精度对准平台装置将半导体薄膜材料与相应掩膜版对准，在半导体薄膜上制备器件。本发明通过全程硅基掩膜版制备薄膜器件，不仅器件刻蚀无污染、成本和工艺简单，而且硅基掩模版具有较高重复使用性、高精度、设计自由灵活度高等优势，可实现薄膜器件的集成。
一种基于全硅基掩膜版薄膜器件制备方法

[外观设计]灌装机外壳-CN202330171287.4有效
发明人： 张海马 -专利权人： 张海马
申请日： 2023-04-02 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： 15-10 文献下载
摘要：1.外观设计产品的名称：灌装机外壳。2.外观设计产品的用途：用于电子秤外壳、灌装机外壳。3.外观设计的设计要点：形状、图案。4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。
灌装外壳