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[发明专利]一种基于Stewart衍生结构的四自由度防振平台-CN202310906700.6在审
发明人：马跃;张厚根;高景作;贾国辉 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于Stewart衍生结构的四自由度防振平台，包括顶板、支腿和底座，其特征在于，所述顶板与底座结构尺寸相同，均为剪去三个角的三角形，所述支腿为六根安装在顶板与底座之间，所述支腿中的三条支腿分别垂直安装在顶板与底座的三个角之间且通过虎克铰分别与顶板、底座连接，所述支腿中的另外三条支腿分别安装在顶板与底座同侧三个边之间与顶板和底座的夹角为45°且通过球铰分别与顶板、底座连接。本发明系统可以实现上下、前后、左右以及绕z轴转动四个自由度0.1Hz~200Hz的振动控制，隔振带宽，定位精确，可以适应于不同型号的精密仪器，适用范围广，通用性强。
一种基于 stewart 衍生结构自由度平台

[发明专利]一种准零刚度三自由度主动防微振平台-CN202310294487.8有效
发明人：马跃;张厚根;高景作;尹波 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F16F15/023 文献下载
摘要：本发明提供一种准零刚度三自由度主动防微振平台，包括底部气浮装置、波纹管、竖向压电驱动装置、支撑板和底座，所述底部气浮装置安装在底座顶部一侧，所述底部气浮装置顶部连接波纹管，所述波纹管顶部连接有主气浮装置，所述主气浮装置内部安装有活塞，所述底座顶部、底部气浮装置的左方和后方分别安装有竖向压电驱动装置，所述支撑块与顶板之间通过球铰B连接有横向压电驱动装置。本发明竖向和水平向主要通过气浮实现高频减振，通过压电驱动实现低频减振，隔振带宽，可以实现0.1Hz~200 Hz的振动控制，且定位精度高，承载力大，可满足1500kg精密仪器的承重要求，同时具备承载力和刚度的调整能力，可以适应于不同型号的精密仪器，适用范围广，通用性强。
一种刚度自由度主动防微振平台

[发明专利]一种基于磁流体的可变刚度防微振装置-CN202310548100.7在审
发明人：马跃;张厚根;高景作;尹波 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F16F9/53 文献下载
摘要：本发明提供一种基于磁流体的可变刚度防微振装置，包括外壳、支撑杆、顶板、第一磁流体和第一电磁线圈，所述外壳顶部中间垂直活动连接有支撑杆，所述支撑杆顶部与顶板底部中间垂直连接，所述支撑杆外侧、顶板底部与外壳顶部之间安装有金属弹簧，所述支撑杆底部垂直连接有活塞，所述外壳内侧下部横向安装有隔板，所述活塞与隔板之间组成第一腔室，所述隔板与外壳内侧底部之间组成第二腔室，所述外壳四周安装有第三腔室。本发明系统可以实现0.2Hz~250 Hz的振动控制，且定位精度高，承载力大，可满足3000kg精密仪器的承重要求，同时具备刚度的调整能力，可以适应于不同型号的精密仪器，适用范围广，通用性强。
一种基于流体可变刚度防微振装置

[发明专利]一种超低频准零刚度可调式隔振器-CN202310294485.9有效
发明人：马跃;张厚根;高景作;尹波 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： F16F15/023 文献下载
摘要：本发明提供一种超低频准零刚度可调式隔振器，包括外壳、顶板、支撑杆和气浮装置，所述气浮装置安装在外壳内底部，所述气浮装置包括矩形腔壁，所述矩形腔壁内部为附加气室，所述矩形腔壁顶部连接有波纹管，所述波纹管顶部安装有支撑板，所述支撑板、波纹管与矩形腔壁组成主气室，所述外壳内部横向安装有环形横板，所述环形横板底部安装有第一调整装置，所述外壳顶部内侧安装有第二调整装置。本发明采用气浮装置实现承重，可以满足大型精密仪器的承重要求，通过主气室与附加气室的组合降低了系统竖向固有频率，通过预压金属弹簧与磁性装置的并联组合实现高负刚度，与高正刚度的气浮装置并联可以实现大型精密仪器准零刚度要求。
一种低频刚度调式隔振器

[发明专利]一种基于电涡流阻尼的超低频隔振装置-CN202310548105.X在审
发明人：马跃;高景作;尹波;张厚根 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： F16F6/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于电涡流阻尼的超低频隔振装置，包括底座、支撑柱、顶板和刚度调整机构，所述底座顶部左右两侧分别垂直安装有左支撑板和右支撑板，所述底座顶部中间垂直安装支撑柱，所述左支撑板和支撑柱顶部安装有顶板，所述顶板与左支撑板、支撑柱之间还安装有刚度调整机构，所述顶板底部连接有第一放大机构，述右支撑板下部垂直连接有横梁，所述横梁与底座之间安装有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆下部安装有电涡流阻尼装置，所述顶板右侧安装有连杆，所述连杆另一端垂直安装有推杆，所述推杆连接有减振装置。本发明系统可以实现垂直方向0.2Hz~150 Hz的振动控制，定位精确，最大承重可达3000kg，适用范围广，通用性强。
一种基于涡流阻尼低频装置

[发明专利]一种双自由度大型精密仪器防微振平台-CN202310110290.4在审
发明人：马跃;张厚根;高景作;尹波 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： F16F15/08 文献下载
摘要：本发明提供一种双自由度大型精密仪器防微振平台，包括顶板、竖向驱动装置、水平向驱动装置和支撑腿，其特征在于，所述顶板底部四个角分别连接竖向驱动装置，所述竖向驱动装置底部安装在支撑腿顶部，所述顶板底部中间垂直安装有立柱，所述立柱左、右、前、后、侧分别安装有水平向驱动装置，所述支撑腿之间安装有横梁，所述水平向驱动装置底部与横梁垂直连接，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器，所述横梁上安装有控制器。本发明竖向和水平向均采用主被动并联的形式扩大了隔振带宽，可以实现更低频0.2Hz~250 Hz的振动控制，降低了主动隔振器的负荷，提高了定位精度，延长了系统寿命。
一种自由度大型精密仪器防微振平台

[实用新型]一种主被动双自由度防微振基座-CN202222210738.3有效
发明人：李伟;尹波;张厚根;刘国东 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： F16F15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种主被动双自由度防微振基座，包括顶板、挡板、底座和空气弹簧，所述挡板为两个平行布置在顶板底部两侧，所述空气弹簧为两个分别布置在挡板的外侧，所述空气弹簧与顶板底部之间连接有顶部气囊，所述空气弹簧与挡板之间连接有侧部气囊，所述空气弹簧底部与底座顶部连接，所述底座顶部中间安装有支撑件，所述支撑件顶部与顶板底部之间连接有音圈电机A，所述支撑件两侧与挡板之间连接有音圈电机B，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。本实用新型稳定性高，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，且可以实现水平向和垂直向两个自由度隔振，适用范围较广。
一种被动自由度防微振基座

[实用新型]一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座-CN202222520588.6有效
发明人：马跃;祁长厚;刘国东;张厚根 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： F16F15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座，包括顶板、被动隔振装置和音圈电机，所述顶板底部四个角连接被动隔振装置，所述被动隔振装置包括第一气室和第二气室，所述第一气室和第二气室之间连接有活塞A，所述第二气室上部连接有活塞B，所述活塞B与第一气室之间连接有气膜，所述活塞B连接有推杆，所述第一气室顶部安装有封盖板，所述推杆穿过封盖板，所述推杆顶部连接支撑板，所述支撑板与封盖板之间、推杆外侧套装有金属弹簧，所述第二气室外侧连接有附加气室，所述第二气室外侧垂直连接有侧板，所述侧板顶部与顶板之间连接有音圈电机。本实用新型定位精确，系统隔振带宽，稳定性高。
一种基于可变刚度被动防微振基座

[实用新型]一种用于离子注入机的防微振基座-CN202221552168.X有效
发明人：尹波;刘国东;张厚根 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： F16M5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于离子注入机的防微振基座，包括单体A、单体B、单体C和单体D，其特征在于，所述单体A、单体B、单体C和单体D均包括顶板、顶梁、支腿和底梁，所述顶板与顶梁焊接固定，所述顶梁底部焊接有支腿，所述支腿底部与底梁顶部焊接固定，所述单体A、单体B、单体C和单体D之间通过顶梁的螺栓栓接固定。本实用新型采用栓接方式将四个单体基座连接成一个大型基座，基座由H型钢制成，提高了基座的承重能力，同时提高了基座的刚性及防微振能力，基座以单体形式移动、运输更加方便，降低了基座运输、安装成本，同时连接后的基座能够满足大型精密仪器的承重及防微振要求，防微振等级可达VC‑D级。
一种用于离子注入防微振基座

[实用新型]一种可调节基座支腿-CN202221848848.6有效
发明人：李伟;尹波;张厚根;刘国东 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： F16M5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可调节基座支腿，包括支撑腿、封头板和底座，所述支撑腿顶部与封头板焊接固定，所述封头板中间前后两侧分别开设有固定孔A，所述封头板通过紧固螺栓与基座的横梁栓接固定，所述横梁上分别开设有2个固定孔B和4个内螺纹孔，所述内螺纹孔内安装有螺栓顶丝，所述螺栓顶丝底部与封头板顶部接触，所述横梁底部与封头板之间还安装有垫块，所述支撑腿底部还焊接有底座。本实用新型通过四个螺栓顶丝进行水平度和高度的调节，通过紧固螺栓栓接固定，调节方便，适用范围广，通用性强，而且垫块穿插在紧固螺栓与螺栓顶丝的内侧，稳定性好，不易滑动，且安装、拆除方便；本实用新型基座防微振等级可达VC‑C级。
一种调节基座

[外观设计]清洗机隔振基座（晶圆）-CN202230457949.X有效
发明人：祁长厚;刘国东;张厚根 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：清洗机隔振基座（晶圆）。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆清洗机的隔振安装固定。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
清洗机隔振基座晶圆

[实用新型]一种用于高架地板收边的支撑腿-CN202222214218.X有效
发明人：祁长厚;张厚根;尹波 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： E04F15/024 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于高架地板收边的支撑腿，包括顶板、支腿和底座，所述顶板呈“L”型，所述顶板底部中间连接有螺纹杆，所述支腿焊接在底座顶部后侧位置，所述支腿顶部连接有封头板，所述封头板中间开设有通孔，所述封头板前侧和左侧分别开设有限位孔，所述限位孔其中一个内连接有锁紧螺栓，所述螺纹杆底部穿过通孔插入支腿内，所述螺纹杆外侧通过螺纹连接有调节螺母。本实用新型顶板设置呈“L”型，主要用于高架地板边沿的收边限位，并将支腿连接在底座顶部的侧边，当遇到墙体或障碍物时，底座可以旋转180°，适用范围广，结构合理简单、生产成本低、安装方便。
一种用于地板支撑

[实用新型]一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置-CN202222214153.9有效
发明人：赵小江;孙乐;张厚根 -专利权人：大连地拓电子工程技术有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： F16F15/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，包括顶板A、立柱和底座A，所述立柱为三根呈等边三角形布置在底座A顶部边缘，所述立柱顶部安装有橡胶垫块，所述橡胶垫块顶部安装有金属弹簧，所述金属弹簧顶部与顶板A底部连接，所述底座A顶部中间与顶板A底部中间之间安装有超磁致伸缩驱动器。本实用新型隔振装置通过金属弹簧与橡胶垫块的串联实现被动高频隔振，通过超磁致伸缩驱动器实现低频隔振，系统固有频率能现实小于0.5Hz，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，适用范围较广。
一种基于超磁致伸缩驱动装置

[实用新型]一种基于气浮的主被动防微振基座-CN202221072999.7有效
发明人：马跃;高向东;张厚根 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： F16F15/023 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于气浮的主被动防微振基座，包括顶板和支架，所述顶板底部四个角分别连接有主动气浮减振装置，所述顶板底部前后两侧中间部位分别连接有被动空气弹簧，所述主动气浮减振装置、被动空气弹簧底部与支架顶部连接，所述支架包括支腿、上框架和下框架，所述顶板上连接有位移传感器，所述下框架上连接有控制器。本实用新型可以满足大型设备的承重要求，被动空气弹簧的使用降低了系统的固有频率，系统固有频率可小于0.5Hz并实现高频隔振，通过主动气浮减振装置进行低频隔振；本实用新型具有较大的隔振带宽，能够实现三个自由度的0.5Hz~150Hz隔振，可满足≤4t重设备承重要求，适用范围广。
一种基于被动防微振基座

[外观设计]研磨机基座（化学机械研磨机防微振基座）-CN202230381032.6有效
发明人：祁长厚;刘国东;张厚根 -专利权人：大连地拓重工有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：研磨机基座（化学机械研磨机防微振基座）。2.本外观设计产品的用途：用于化学机械研磨机的防微振安装固定。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
研磨机基座化学机械防微振

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