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[发明专利]一种硅微六杆增力机构-CN202010525568.0在审
发明人：王振禄;张九娥;马淑霞;同长虹;董丽梅 -专利权人：兰州城市学院
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： F16H21/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅微六杆增力机构，包括：第一固定锚点和第二固定锚点；原动摇杆，所述原动摇杆通过软性铰链铰接于第一固定锚点的顶部；第一连杆，所述连杆通过软性铰链铰接于所述原动摇杆表面的一侧；所述从动摇杆通过铰链铰接于所述连杆的端部，所述从动摇杆的一端通过软性铰链与所述第二固定锚点的顶部铰接；所述第二连杆通过软性铰链铰接于所述从动摇杆的一侧，所述软性铰链可以为弧形软性铰链或者短臂柔性铰链，本发明涉及微机电系统技术领域。该硅微六杆增力机构通过使输入端的力经过两个丝杆机构进行放大，从而增大了输出端的输出力，同时硅微六杆机构可实现复杂运动，结构新颖独特，与MEMS工艺兼容，易于控制，输出效率高。
一种硅微六杆增力机构

[发明专利]一种制作在半导体芯片上的硅微移动凸轮机构-CN201910837028.3在审
发明人：王振禄;张九娥;同长虹;陈小通 -专利权人：兰州城市学院;甘肃积石峡生态渔业有限公司
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H02N10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制作在半导体芯片上的硅微移动凸轮机构，用于实现微尺度下的运动转换和运动规律实现。所述机构由致动器、驱动头、凸轮回程弹簧、从动件、从动件回程弹簧、凸轮和止动器、一个V型微止动器组成，整个装置为多晶硅材料，用MEMS工艺制作。该机构由U型冷热臂电热致动器作为主驱动用来驱动凸轮体向右运动，凸轮体带动从动件实现不同的运动规律，凸轮轮廓形状改变，从动件运动规律随之改变，可实现微尺度下较为复杂的运动，结构简单，效率高，可用在引信等MEMS器件中。
从动件运动规律回程弹簧微尺度止动器致动器凸轮轮廓形状移动凸轮机构半导体芯片多晶硅材料驱动凸轮体运动转换引信驱动头凸轮体电热冷热可用制作驱动