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[实用新型]工艺腔室-CN202123427722.X有效
发明人： 弓晓晓;李岩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种工艺腔室，应用于半导体设备，工艺腔室包括腔室本体、设置于腔室本体上方的介质窗和用于向腔室本体内通入工艺气体的进气装置，介质窗的中心位置设有安装通孔，进气装置包括安装部和形成在安装部的喷头部，安装部设置在安装通孔中，喷头部的出气端设有中心进气孔组、中间进气孔组和边缘进气孔组，中间进气孔组环绕中心进气孔组设置，边缘进气孔组环绕中间进气孔组设置，且中心进气孔组、中间进气孔组和边缘进气孔组分别与腔室本体外的外部气源连接，用于向腔室本体内可选择性的通入工艺气体。本实用新型提供的工艺腔室能够实现更多的进气调节，实现如M型刻蚀、均匀刻蚀等多种能够满足特定的半导体工艺对等离子体的分布需求。
工艺

[实用新型]一种粘弹性减震支架-CN202023240667.9有效
发明人：陈亚乾;弓晓晓;施志坤;普新凯;杨廷国 -专利权人：陈亚乾;弓晓晓;施志坤;普新凯;杨廷国
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H02G3/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种粘弹性减震支架，包括呈半圆柱型的第一管箍、与第一管箍结构相同、且开口侧与第一管箍的开口侧连接的第二管箍，一一对应设置在第二管箍外侧面两端的两个减震机构。本实用新型减震性能好、便于安装拆卸，在抗震领域具有很高的实用价值和推广价值。
一种粘弹性减震支架

[实用新型]一种地震仪的外壳体保护结构-CN202023245404.7有效
发明人：陈亚乾;施志坤;弓晓晓;李凯;普新凯 -专利权人：陈亚乾;施志坤;弓晓晓;李凯;普新凯
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01V1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种地震仪的外壳体保护结构，包括底座和位于底座上方的外壳体，所述外壳体与底座之间通过螺栓相连接，所述外壳体由顶板和位于顶板四周且垂直于顶板板面的侧板组成的矩形壳体，所述底座的顶部中间通过安装座安装有地震仪，所述侧板的内壁均连接有防潮仓，多个所述防潮仓靠近地震仪的侧面均设有多个缓冲件和通孔，任一所述通孔位于相邻两个缓冲件之间，两个所述防潮仓的内部均设有吸潮垫，所述顶板的底部连接有卡板，所述卡板的内部中间连接有底部与地震仪顶部相接触的导热板，本实用新型具有抗冲击缓冲性能好、防护保护性能好、工作环境更加稳定、散热效果好等等优点，在地震仪技术领域具有很高的实用价值和推广价值。
一种地震仪外壳保护结构

[实用新型]一种自动化家庭废水回收处理装置-CN201621066814.6有效
发明人：田川;弓晓晓;侯杨 -专利权人：田川;弓晓晓;侯杨
申请日： 2016-09-21 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： E03B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动化家庭废水回收处理装置，包括废水回收处理装置本体，及设置在废水回收处理装置本体内的第一处理箱，及设置在废水回收处理装置本体内的第二处理箱，废水回收处理装置本体内设有支撑板，第一处理箱固定在支撑板上，第一处理箱下部连接有第一水管，第一水管与第二处理箱连接，废水回收处理装置本体内底部设有固定座，第二处理箱固定在固定座上，第二处理箱内设有第一定位板和第二定位板，第一定位板和第二定位板之间固定有滤筒，滤筒内设有第一滤芯，滤筒外围包裹有第二滤芯，且第二滤芯外壁与第二处理箱内壁配合，废水回收处理装置本体上部设有与第一处理箱相连通的进水管。污水回收处理效果好，节约水资源。
一种自动化家庭废水回收处理装置