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[实用新型]一种夹爪模组、整包夹取装置和归整打包设备-CN202320838240.3有效
发明人： 庄再城;孙靖;蒋佳清;贺亮;熊勇;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B65B35/36 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种夹爪模组、整包夹取装置和归整打包设备，属于半导体或光伏领域的下料收集技术，夹爪模组包括夹爪主板、驱动单元、开合传动单元、卡爪、感应单元和控制器；两个卡爪相对的设置在开合传动单元的两端，并由控制器控制驱动单元驱动两个卡爪的开合距离以适配不同规格的物料；感应单元用于监测两个卡爪的开合距离以及卡爪是否夹持物料；通过本申请的夹爪模组可以对满料的料篮整篮硅片物料拾取和转运，且夹爪本身模块化适配不同规格的硅片，提高了应用范围和作业效率，便于在涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。
一种模组包夹装置归整打包设备

[发明专利]一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备-CN202210033285.3有效
发明人：杨君;董志文;何开振;庄再城;胡方明;纪步佳;杨国炜;马旭;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C30B15/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位区域R、提取目标轮廓、直线拟、计算晃动值S；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，拉晶单元根据晃动值S调整拉晶升降速度和转速，以保证拉晶稳定。本发明基于图像处理和直线拟合技术实时计算拉晶的晃动值，从而通过晃动值监测晶棒的状态，以此保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
一种晃动监测方法存储介质终端设备

[发明专利]一种双料盒接料装置及下料分选设备-CN202310469423.7在审
发明人： 庄再城;刘孟昊;顾烨;任民扬;熊勇;曹葵康;薛峰;徐一华 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B07C5/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种双料盒接料装置及下料分选设备，属于硅片分选下料领域，双料盒接料装置包括基板、上横轨驱动组件、下横轨驱动组件、下层升降组件、上层料盒、下层料盒和控制按钮组件；上横轨驱动组件的长度短于下横轨驱动组件的长度；上层料盒连接至上横轨驱动组件的活动端，并在控制按钮组件的控制下实现横移；下层料盒通过下层升降组件转接至下横轨驱动组件，并在控制按钮组件的控制下实现横移和升降。本申请的双料盒接料装置可以单盒使用也可以交错使用，通过多组并向的结构可以显著提高下料和接料效率，便于涉及片材产品的硅片、PCB、FPD、FPC、芯板等领域推广应用。
一种双料盒接料装置分选设备

[发明专利]下料分选设备、分选系统和下料方法-CN202210496651.9有效
发明人：顾烨;孙靖;乔欣怡;庄再城;曹葵康;薛峰;徐一华 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B07C5/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种下料分选设备、分选系统和下料方法，属于半导体或光伏领域的下料分选输送领域，设备包括安装于下料机架上的分片装置、安装在分片装置两出料端的多层料盒、下料中轴皮带流线、尾料盒和顶板架；分片装置采用非接触吸附式分片装置，多层料盒采用多层交错式料盒收纳装置，本申请的方案能显著提高分选机的下料分选效率，流线、吸盘间距等具备长度可调等特点，可以应对不同规格的硅片；料盒交错换盒接料，减少料盒更换时间，相比传统的顶升分料减少了工序流程，提高了作业效率和产能，便于涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。
分选设备系统方法

[发明专利]非接触吸附式分片装置、下料分选设备和分选系统-CN202210496630.7有效
发明人：顾烨;庄再城;吴屹慧;乔欣怡;熊勇;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B07C5/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种非接触吸附式分片装置、下料分选设备和分选系统，涉及半导体或光伏领域的下料技术，属于硅片检测分选领域，非接触吸附式分片装置包括吸附分选主模组、第一吸附支线模组、第二吸附支线模组、第一连接件、第二连接件、第三连接件和控制器；吸附分选主模组、第一吸附支线模组、第二吸附支线模组的吸附模块的吸附底面高于皮带驱动模块的皮带底面布置，从而使得硅片被非接触的吸附传输至对应料位上；通过本申请，相比于顶升分料减少了工序流程，提高了作业效率和产能，便于涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。
接触吸附分片装置分选设备系统

[发明专利]多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统-CN202210496627.5有效
发明人：顾烨;庄再城;吴屹慧;乔欣怡;熊勇;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B07C5/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统，属于半导体或光伏领域的下料收集技术，料盒收纳装置包括设置于收纳架上的料盒滑轨组件、料盒组件、交错驱动组件、竖直导轨组件、竖直驱动组件、换料警示按钮和料盒控制器；交错驱动组件用于驱动上下相邻的两组料盒组件沿着料盒滑轨组件滑动，以将料盒组件送至接料位或换盒位；通过本申请的多层交错式料盒收纳装置，相比于上一代或现有的料盒，采用交错布置，集成了到位检测、料满感知、料盒交错供给接料，减少了料盒更换带来的时间，提高了作业效率和产能，便于涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。
多层交错式料盒收纳装置分选设备系统

[实用新型]一种拉晶状态监测装置及拉晶设备-CN202222950186.X有效
发明人：董志文;何开振;杨君;庄再城;胡方明;纪步佳;杨国炜;孙进;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C30B15/26 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种拉晶状态监测装置及拉晶设备，属于半导体领域，装置包括镜头、相机、相机转接板、调整连接组件、主支柱和支柱座；相机通过相机转接板与调整连接组件连接，调整连接组件通过主支柱和支柱座与机架或晶炉炉体连接，镜头和相机通过调整连接组件正对晶炉的视窗设置，以对炉内的拉晶状态图像采集实现状态监测。拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、拉晶状态图像接收处理和加料需求的控制；通过本申请，可以对拉晶炉内硅料熔化及拉晶状态实时监测，有效控制拉晶质量，结构简单，便于在半导体制造领域推广应用。
一种状态监测装置设备

[发明专利]单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备-CN202210033295.7有效
发明人： 庄再城;孙靖;何开振;董志文;杨君;胡方明;纪步佳;杨国炜;刘明星;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括图像采集、单双光圈判定和单双光圈直径测量；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、硅料熔态图像接收处理和加料需求的控制，并通过图像处理技术判断是否存在双光圈并计算光圈直径；本申请的方法简单有效，图像处理效率高，灵活设置的阈值对比判定双光圈的存在并测量其直径，为拉晶过程中晶棒的稳定成像提供了判定依据，便于在半导体制造领域推广应用。
光圈检测方法存储介质终端设备

[发明专利]一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备-CN202210032064.4有效
发明人：董志文;胡方明;何开振;杨君;庄再城;纪步佳;杨国炜;孙进;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种液口距的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据ROI框选目标区域R、对目标区域R所在图框提取横向中分线、计算横向中分线上所有点的灰度值Vg、求横向中分线上所有点灰度值的一阶导数V′g、根据一阶导数V′g筛选出边界点，根据像素距离L′、物理距离L计算两边界点的距离作为液口距；方案基于灰度值变化的一阶导数，获得变化点的精确位置，从而精确计算液口距，通过监测精确的液口距变化，保证拉晶状态的稳定，提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
一种液口距监测方法存储介质终端设备

[发明专利]一种硅料熔化度监测方法、存储介质、终端和拉晶设备-CN202210032066.3有效
发明人：何开振;董志文;杨君;庄再城;胡方明;纪步佳;杨国炜;纪昌杰;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅料熔化度监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法基于图像差分，获取未熔硅料区域面积A1和当前帧图像亮视野面积A2，二者比值与阈值判定硅料熔化状态；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器；通过本发明可以在不同温度、亮度视野情况下获得良好的差分图像，阈值设定灵活，熔化状态判定准确，便于在半导体制造领域推广应用。
一种熔化监测方法存储介质终端设备

[发明专利]拉晶过程中光圈直径的监测方法、存储介质和终端-CN202210033288.7有效
发明人： 庄再城;杨国炜;何开振;董志文;杨君;胡方明;纪步佳;刘明星;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种拉晶过程中光圈直径的监测方法、存储介质和终端，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位光圈区域R、提取目标轮廓、圆拟合、计算拟合圆的直径d,即为光圈直径；通过本方法可以对拉晶过程不同阶段的炉内图像实时采集并监测光圈直径，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
过程光圈直径监测方法存储介质终端

[发明专利]晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备-CN202210033282.X有效
发明人：孙靖;杨君;董志文;何开振;庄再城;胡方明;纪步佳;杨国炜;马旭;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C30B15/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶棒断线监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体量检测领域，方法包括图像采集并判定当前拉晶阶段、定位邻接面处光圈的目标区域R、提取目标轮廓、计算轮廓上取点并计算角度差、角度差比较，判定是否断线；本发明的方法通过轮廓线上的角度差与阈值对比判定晶棒是否断线，基于图像处理快速精确获取判定结果，为稳定拉晶状态提供了辅助判定依据，以此提高了拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
断线监测方法存储介质终端设备

[发明专利]饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备-CN202210033284.9有效
发明人：何开振;纪步佳;董志文;杨君;庄再城;胡方明;杨国炜;纪昌杰;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种饱满点的监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像、亮区域定位、阈值分割、状态判断，当判定为常态则计算常态饱满点突出外光圈距离d，当判定为非常态，则根据动态阈值分割算法检测得到非常态饱满点；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，根据饱满点维持时间判定是否可以进入后续引晶阶段，以此提供判定依据；本发明基于图像处理和距离计算，判定饱满点状态，以此实现实时的智能化监控拉晶动态，保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。
满点监测方法存储介质终端设备

[实用新型]一种物料流线-CN202221090141.3有效
发明人： 庄再城;刘孟昊;贺亮;乔欣怡;吴屹慧;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种物料流线，属于物料输送领域，包括流线边板、流线传输带、流线端轮、流线惰轮组、流线驱动轮、流线驱动轴、流线电机、边板架和流线支座；流线惰轮组的四个惰轮和流线驱动轮呈W形布置在一侧的驱动处的边板架外侧面；在流线边板上安装流线物料感应器；在流线驱动轮外侧设置一个调节定位件，用于流线驱动轮的外平面限位定位调节；在流线边板上安装吸附组件；通过本申请，为物料输送提供一种应对不同规格物料快速间距可调的物料流线，且可集成到料感应、吸附放跌落、皮带快速更换等功能，便于片类等物料的快速高效输送，可以在涉及半导体硅片、线路板、3C等领域推广应用。
一种物料流线

[发明专利]一种夹爪模组、整包夹取装置和归整打包设备-CN202210605212.7在审
发明人： 庄再城;孙靖;蒋佳清;贺亮;熊勇;曹葵康;薛峰 -专利权人：苏州天准科技股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B65B35/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种夹爪模组、整包夹取装置和归整打包设备，属于半导体或光伏领域的下料收集技术，夹爪模组包括夹爪主板、驱动单元、开合传动单元、卡爪、感应单元和控制器；两个卡爪相对的设置在开合传动单元的两端，并由控制器控制驱动单元驱动两个卡爪的开合距离以适配不同规格的物料；感应单元用于监测两个卡爪的开合距离以及卡爪是否夹持物料；通过本申请的夹爪模组可以对满料的料篮整篮硅片物料拾取和转运，且夹爪本身模块化适配不同规格的硅片，提高了应用范围和作业效率，便于在涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。
一种模组包夹装置归整打包设备

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