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[发明专利] 极紫外光产生装置及方法 -CN202011597091.3 有效
发明人：
马修泉 ;何泓樟 ;吴寒 ;王新兵 ;左都罗 陆培祥
- 专利权人：
广东省智能机器人研究院
申请日：
2020-12-29
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公布日：
2022-07-29
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主分类号：
G03F7/20 文献下载
摘要： 本申请涉及一种极紫外光产生装置和方法，该装置包括控制器，以及分别连接控制器的沿目标液滴的运动路径依次设置的目标液滴产生器、液滴检测装置、预脉冲激光光源、云雾团检测装置、轨迹调节装置和主脉冲激光光源。上述装置中，配置液滴检测装置以检测目标液滴的存在，反馈给控制器以用于确定主脉冲激光的主脉冲触发时间。同时配置云雾团检测装置获取目标云雾团的监测信号并发送给控制器，以便于控制器求得目标云雾团的运动轨迹。在目标云雾团的运动轨迹与主打靶位置不相交时，控制器控制轨迹调节装置调节目标云雾团的运动轨迹，减小目标云雾团与主脉冲激光的离焦距离，使目标云雾团和主脉冲激光充分作用，有利于提高打靶激光的能量利用率。紫外光 产生 装置 方法
[发明专利] 一种激光维持等离子体宽带光源及应用 -CN202110955656.9 在审
发明人：
王新兵 ;胡艳菲 ;左都罗
- 专利权人：
华中科技大学
申请日：
2021-08-19
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公布日：
2021-11-23
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主分类号：
H01J65/04 文献下载
摘要： 本发明属于光源技术领域，公开了一种激光维持等离子体宽带光源及应用，包括腔体、工作气体、充放气装置、入射窗口、出射窗口、两个激光器、透镜、平面镜、反射面和循环水冷；腔体内填充有高压工作气体，腔体左侧通过连接管路与充放气装置连接，腔体外侧开设有入射窗口和出射窗口，腔体内部包含一个反射面；所述腔体周围设置有循环水冷结构。本发明完全避免电极对激光维持等离子体发光特性的影响，避免密封灯泡不方便气体组分和压强控制以及冷却问题不容易解决的弊端，将气体容器和等离子体光收集装置结合，简化激光维持等离子体光源整体装置的复杂性，其次，双激光结构容易控制同步，对于分析不同时刻等离子体状态及特性提供便利。一种 激光 维持 等离子体 宽带 光源 应用
[发明专利] 一种光纤拉曼光谱气体分析装置 -CN202010367086.7 在审
发明人：
白玉思 ;熊东升 ;左都罗 王新兵
- 专利权人：
华中科技大学
申请日：
2020-04-30
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公布日：
2020-07-14
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主分类号：
G01N21/65 文献下载
摘要： 本发明公开了一种光纤拉曼光谱气体分析装置，属于气体分析技术领域，该装置包括：激光器、光束耦合装置、气体样品室、准直分束装置和光电成像接收装置；光束耦合装置将激光耦合进气体样品室中；激光与空芯光纤纤芯中的待测气体作用产生拉曼散射；准直分束装置将混合光束准直后分离出激光，将只含散射信号的光束输送至光电成像接收装置；光电成像接收装置对前向散射信号进行数字空间滤波，获得待测气体的拉曼光谱。本发明通过在空芯光纤中将待测气体与激光作用产生增强的拉曼散射信号，利用光电成像接收装置收集前向信号，并实施数字空间滤波，降低气体样品室的背景信号，解决了拉曼气体分析中微量成分检测困难的问题，提高了系统检测的灵敏度。一种 光纤 光谱 气体 分析 装置
