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[发明专利]光窗及其制造方法、红外探测器-CN202310791558.5在审
发明人：李志强;刘小柔;刘建华;丁金玲;崔亚春 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光窗及其制造方法、红外探测器。所述光窗包括光窗基底、多个增透微结构及膜层结构。所述光窗基底具有第一表面。所述增透微结构凸设于所述光窗基底的第一表面。多个所述膜层结构设于所述光窗基底的第一表面上，并包覆所述增透微结构。上述光窗，通过在光窗基底的第一表面形成增透微结构，并在光窗基底的第一表面之上形成包覆增透微结构的膜层结构，从而能够很好地提高光窗的光线透过率，有利于提高具有该类光窗的红外探测器的探测精度，同时膜层结构的设置，还能够对所述增透结构进行很好的防护。
及其制造方法红外探测器

[实用新型]红外窗口片和红外探测器-CN202320570725.9有效
发明人： 崔亚春;刘建华;丁金玲 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01J5/0875 文献下载
摘要：本申请涉及红外探测技术领域，具体公开了一种红外窗口片及红外探测器，红外窗口片应用于红外探测器。红外窗口片包括叠置的基底、截止膜层和亚波长结构层，所述基底具有相背设置的第一表面和第二表面，所述截止膜层设置于所述第一表面，所述亚波长结构层设置于所述第二表面，所述亚波长结构层包括间隔设置的至少两个透光柱，且所述至少两个透光柱呈阵列排布。该方案能够解决目前红外探测器的成像质量较差和封装效果较差的问题。
红外窗口红外探测器

[发明专利]非制冷红外探测器及其制作方法、封装盖板-CN202210822703.7在审
发明人： 崔亚春;丁金玲;刘建华 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种非制冷红外探测器及其制作方法、封装盖板，该非制冷红外探测器包括基板、有效像元阵列、参考像元阵列、封装盖板及随温灰体。其中，基板上形成有读出电路；有效像元阵列位于基板的一侧；参考像元阵列位于基板的一侧，且参考像元阵列与有效像元阵列之间具有间隙；封装盖板位于基板的一侧且与基板连接，封装盖板与基板之间形成空腔；随温灰体位于封装盖板靠近基板的一侧，随温灰体在基板上的正投影覆盖参考像元阵列且与有效像元阵列之间具有间隙。
制冷红外探测器及其制作方法封装盖板

[发明专利]探测器的封装盖板及其制备方法、探测器-CN202210647704.2有效
发明人： 崔亚春;刘建华;丁金玲 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种探测器的封装盖板及其制备方法、探测器，涉及微电子领域，用于改善目标物体红外辐射对参考像元结构的影响。探测器包括多个有效像元结构和多个参考像元结构。封装盖板包括盖板主体和红外吸收结构。红外吸收结构用于吸收射向由所述探测器的外部多个参考像元结构的红外辐射。本发明实施例提供的封装盖板，可以改善目标物体红外辐射对探测器中的参考像元结构的影响，从而使探测器能够更好地利用参考像元结构来消除半导体衬底的温度对有效像元结构产生的影响，提高探测精度。
探测器封装盖板及其制备方法

[发明专利]非制冷红外探测器及其制作方法、封装盖板-CN202111092217.6有效
发明人： 崔亚春;丁金玲;刘建华 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种非制冷红外探测器及其制作方法、封装盖板，该非制冷红外探测器包括基板、有效像元阵列、参考像元阵列、封装盖板及随温灰体。其中，基板上形成有读出电路；有效像元阵列位于基板的一侧；参考像元阵列位于基板的一侧，且参考像元阵列与有效像元阵列之间具有间隙；封装盖板位于基板的一侧且与基板连接，封装盖板与基板之间形成空腔；随温灰体位于封装盖板靠近基板的一侧，随温灰体在基板上的正投影覆盖参考像元阵列且与有效像元阵列之间具有间隙。
制冷红外探测器及其制作方法封装盖板

[发明专利]一种二维矢量扫描微镜-CN201810831509.9有效
发明人：沈文江;余晖俊;崔亚春;李帆雅 -专利权人：中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种二维矢量扫描微镜，包括外围框架、设于外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的第一扭转梁、设于内框架内的微反射镜及连接内框架和微反射镜的第二扭转梁，其中，内框架可绕第一扭转梁旋转，微反射镜可绕第二扭转梁旋转。本发明的二维矢量扫描微镜采用双轴解耦驱动设计，即以第一扭转梁为对称轴，在内框架背面电镀线圈，当线圈中通过电流时，在磁场的作用下，为内框架的偏转提供驱动力；同时，以第二扭转梁为对称轴，在微反射镜背面电镀线圈，为第二扭转梁的偏转提供驱动力，从而实现二维方向的准静态驱动，实现二维空间的矢量扫描。
一种二维矢量扫描

[发明专利]基于双轴谐振式MEMS微镜的扫描控制系统及控制方法-CN201910209082.3在审
发明人：武瑾娟;李帆雅;沈文江;崔亚春 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G01S17/08 文献下载
摘要：本发明公开了基于双轴谐振式MEMS微镜的扫描控制系统及控制方法，MEMS微镜为一双轴谐振MEMS微镜或由两个单轴MEMS微镜组成，可在第一驱动信号的驱动下绕第一转轴旋转，并同时在第二驱动信号的驱动下绕第二转轴旋转，第一转轴与第二转轴垂直，MEMS微镜绕第一转轴和第二转轴的谐振频率接近，控制方法包括：调节第一驱动信号的主驱动频率，使绕第一转轴旋转的工作频率实时与其谐振频率一致；调节第二驱动信号的从驱动频率，使从驱动频率实时与主驱动频率一致；实时调节第二驱动信号的相位，使绕第一转轴旋转和绕第二转轴旋转时的反馈信号的相位差始终为π/2；改变绕第二转轴旋转的驱动幅值，形成面扫描。
基于谐振 mems 扫描控制系统控制方法