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- [发明专利]用于快速的精确的耦合波分析的层内计算的高速缓存-CN01802628.1有效
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牛辛辉;尼克希尔·H·杰卡塔德
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音质技术公司
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2001-01-25
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2003-01-01
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G01B9/02
- 使用精确的耦合波分析来确定来自周期性光栅轮廓的电磁辐射的衍射,并将中间计算结果进行高速缓存,以缩短计算时间。为了进行计算,周期性光栅被划分为许多层,光栅的各脊截面被离散化为各个矩形部分,并且介电常数、电场和磁场都被表示成沿着光栅的周期性方向的谐波展开。将麦克斯韦尔方程应用于每一个中间层,提供一个具有波矢量矩阵A(620)的矩阵波方程,该方程建立了电场的谐波振幅与它们在垂直于光栅平面的方向上的二次导数之间的联系(615’),其中,波矢量矩阵A是层内各参数以及入射辐射各参数的一个函数。W是从波矢量矩阵A获得的特征矢量矩阵,Q是波矢量矩阵A的特征值的平方根的一个对角线矩阵(647)。
- 用于快速精确耦合分析计算高速缓存
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