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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]液体化学品供应装置及液体化学品供应系统-CN202310187784.2在审
发明人：孙永俊;郑雨信;尹荣云;高定奭 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： F17D1/14 文献下载
摘要：本发明提供了用于向设置在不同高度处的多个基板处理装置供应液体化学品的液体化学品供应装置及液体化学品供应系统，液体化学品供应装置包括：泵，用于提供用于将液体化学品移动到基板处理装置的液压；多个液体化学品供应线，具有连接到泵的端部和分别连接到多个基板处理装置的另一端部，从而提供液体化学品通过其移动的通道；以及泵排放线，连接到泵以将液体化学品中的一些排出到外部，其中，在液体化学品供应线与泵排放线之间连接有流量校准线。
液体化学品供应装置系统

[发明专利]液态化学品检测装置和包含其的基板处理装置-CN202211409287.4在审
发明人：孙永俊;尹荣云;郑星哲 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明的液态化学品检测装置包括：基座部，形成有供液态化学品流入的入口；流道部，包括：第一区域部，与基座部的入口相邻布置，且由入口流入的液态化学品在第一区域部中以改变的流体速度移动；以及第二区域部，与第一区域部串联连通，且从第一区域部排出的液态化学品在第二区域部中移动；感测部，包括：第一感测部件，感测作为第一区域部的电信号的第一信号；以及第二感测部件，感测作为第二区域部的电信号的第二信号；以及辨别部，接收来自感测部的信号，当第一信号和第二信号的电流相对于参考值变化时，判断为感测到颗粒和气泡，并根据第一信号与第二信号的电流差或电流变化的时间差来分辨颗粒和气泡。
液态化学品检测装置包含处理

[发明专利]扭力泵和化学液体供应单元-CN202211306927.9在审
发明人：孙永俊;崔炳斗;尹荣云;李隅滥;郑星哲;郑雨信;严基象 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： F04B43/08 文献下载
摘要：本发明的示例性实施方式提供了一种用于供应液体的泵。所述泵包括：柔性管本体，所述柔性管本体包括泵室；第一法兰，所述第一法兰设置在所述管本体的一端处；以及第二法兰，所述第二法兰设置在所述管本体的另一端处；以及驱动单元，所述驱动单元用于将旋转力传递到所述管本体以扭转所述管本体，其中所述管本体具有以预定角度弯曲的弯曲部分。
扭力化学液体供应单元

[发明专利]处理基板的方法和装置以及温度控制方法-CN202210645504.3在审
发明人：吴明焕;李成龙;徐同赫;尹荣云 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及处理基板的方法和装置以及温度控制方法。提供了一种处理基板的方法，该方法包括：执行对形成有膜的基板进行热处理的第一加热工艺，以及在执行第一加热工艺之后执行对基板进行热处理的第二加热工艺；收集操作，该收集操作收集在第一加热工艺中加热基板的第一加热板的温度数据；以及第一控制操作，该第一控制操作基于温度数据调节在第二加热工艺中加热基板的第二加热板的温度。
处理方法装置以及温度控制

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