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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备-CN202310410679.0在审
发明人：祁乔乔;劳召欣;吴思竹;陈超;尹智东 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于黑点对焦的光轴垂直度误差判断、校正方法及设备，该误差判断方法首先进行粗对焦，依次完成三组呈直角三角形式分布的标定样结构，通过黑点测试确定三个标定样加工位置的精确对焦距离，并以此结合相邻标定样结构边长，计算出加工平面沿X和Y向的平面倾斜率，并根据平面倾斜率的大小判断光轴垂直度是否存在误差。该误差判断及校正方法解决了双光子聚合加工过程中由于激光焦点和加工平面的不对焦所导致的结构残缺问题，且具有简单、方便、高精度的优势，能进一步实现对加工平面平整度，即光轴垂直度误差判断及校正。
基于黑点对焦光轴垂直误差判断校正方法设备

[发明专利]一种用于非平基底的双光子自动加工方法、系统及设备-CN202211127765.2在审
发明人：吴思竹;李鑫凯;劳召欣;尹智东;张晨初 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B23K26/042 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于非平基底的双光子自动加工方法、系统及设备。加工方法包括如下步骤：S1：调节基底的水平位置，使激光焦点的水平位置位于基底的初始加工区域内；S2：对激光进行对焦，对焦后在初始加工位置进行激光加工；S3：基底移动到下一加工点，在该加工点进行对焦，完成对焦后在该加工点进行激光加工；S4：重复S3直至完成所有加工点的加工，对加工完成的微纳结构进行显影，得到成品微纳结构。本发明通过对每个加工点进行自动对焦，解决了使用激光在非平基底上加工过程中，手动对焦操作繁复、耗时而且存在较大误差的问题。
一种用于基底光子自动加工方法系统设备

[发明专利]一种激光双光子直写加工设备及其自动对焦方法-CN202210715534.7在审
发明人：劳召欣;尹智东;吴思竹;张晨初 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光双光子直写加工设备及其自动对焦方法。加工设备包括：激光器、光路调节组件、物镜、相机、运动台、基底和控制器。基底用于承载待加工材料，运动台与基底固定连接，物镜设置在基底与相机之间，光路调节组件设置在激光器与物镜之间。本发明通过控制器启动激光器发射激光，并通过相机采集基底和待加工材料所处区域的图像，测量每张图像中荧光光斑的等效直径，从而确定荧光光斑等效直径的理想值，进而控制基底升降直至光斑等效直径达到理想值，完成自动对焦，提高了激光双光子直写加工的对焦效率和对焦精度，提高了三维微纳结构的加工精度。
一种激光光子加工设备及其自动对焦方法

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