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[发明专利]一种抗静电氟弹性体组合物的制备方法-CN202311181511.3在审
发明人： 尚家庄;顾伟超;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-09-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C08F214/22 文献下载
摘要：本申请提供一种抗静电氟弹性体组合物的制备方法，应用于氟橡胶技术领域，S1：将氧化石墨烯纳米颗粒置于全氟硅烷溶液中分散，对超声分散后的溶液进行分离、洗涤和干燥得到疏水改性的氧化石墨烯纳米颗粒；S2：将疏水改性后的氧化石墨烯纳米颗粒在氟醚油中研磨并分散得到疏水改性的氧化石墨烯氟醚油悬浮液；S3：将疏水改性的氧化石墨烯氟醚油悬浮液与共聚含氟单体和硫化点单体进行乳液聚合，得到含改性氧化石墨烯的氟弹性体复合乳液；S4：将所述氟弹性体复合乳液凝聚后洗涤、干燥、薄通得到氟弹性体；S5：将所述氟弹性体进行薄通、混炼、模压成型及二次硫化得到氟弹性体组合物，氧化石墨烯纳米颗粒在氟弹性体中形成导电网络，提高了抗静电性能。
一种抗静电弹性体组合制备方法

[发明专利]一种半导体设备静电吸附盘保护装置-CN202210760378.6有效
发明人： 尚家庄;伍云浪;刘臻毅 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H05K5/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体设备静电吸附盘保护装置，所述保护装置呈圆伞状结构，所述保护装置包括圆形罩体和设置在圆形罩体外部作为加强筋的外部支架。该保护装置在覆盖保护静电吸附盘的同时可以通过支架触手很好的固定保护装置本体并避免保护装置内壁由于外力而导致与静电吸附盘发生接触的情况，本发明特殊的结构支撑能很好的避免本发明保护装置的变形，同时支架结构能确保保护装置在安装的情况下无影响设备上螺钉的安装及拆卸，同时保护住静电吸附盘避免一切碰撞到被保护的静电吸附盘的情况。
一种半导体设备静电吸附保护装置

[发明专利]一种无晶点全氟醚弹性体组合物及其制备方法-CN202310854408.4有效
发明人： 尚家庄;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C09J151/00 文献下载
摘要：本申请提供一种无晶点全氟醚弹性体组合物及其制备方法，应用于涉及全氟醚弹性体领域，包括，S1、将含PTFE核的PFA乳液和含PTFE核的全氟醚弹性体乳液混合，所述PFA乳液为TFE（90‑99wt%）和PPVE（1‑10wt%）的共聚物；S2、向混合后的乳液加入沉淀剂共沉淀、洗涤、脱水干燥得到全氟醚弹性体粉体；S3、向全氟醚弹性体粉体中加入硫化剂和/或交联促进剂，薄通混炼、模压成型，二次硫化后得到全氟醚弹性体组合物。通过采用核壳结构的全氟醚弹性体和PFA乳液共沉淀的方法，提高了乳液整体的相容性，PTFE分散于全氟醚弹性体和PFA乳液中，提高了全氟醚弹性体组合物的性能。
一种无晶点全氟醚弹性体组合及其制备方法

[发明专利]具有连续标识的密封件生产方法及密封件-CN202310612299.5在审
发明人： 尚家庄;修国华;刘臻毅;伍云浪 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B29C43/02 文献下载
摘要：本申请提供一种具有连续标识的密封件生产方法及密封件产品，涉及密封件的技术领域，使用专用的模压设备进行模压操作，模压设备包括模压机本体、上模槽、下模槽及定位销，上模槽和/或下模槽设有连续标识结构；步骤如下：S1，将密封件原料置于下模槽中；S2，上模槽和下模槽合模，在生产密封件的同时，将连续标识模印至密封件的表面。通过将连续标识模印至密封件的表面，没有额外的外来标识物，因此在使用过程中不会污染刻蚀腔室，同时密封件呈可连续辨识状态，能够识别密封件在安装和运行后及维护时是否发生扭转，尺寸是否符合要求等，由于连续标识与密封件为一体设置，在等离子体等严苛环境下使用，连续标识也具有与密封件相同的使用寿命。
具有连续标识密封件生产方法

[发明专利]一种高温低压缩永久变形全氟醚弹性体组合物的制备方法-CN202311065720.1在审
发明人： 尚家庄;顾伟超;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-08-23 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C08L27/18 文献下载
摘要：本发明提供一种高温低压缩永久变形全氟醚弹性体组合物的制备方法，包括以下步骤：在反应器内加入脱氧去离子水、乳化剂、含溴或碘的硫化点单体、链转移剂、引发剂与共聚含氟单体，得到聚合物乳液；以聚合物乳液为种子，梯度或定量加入含腈基的硫化点单体、链转移剂与共聚含氟单体，得到含两种硫化点单体的全氟醚弹性体乳液，同时合成PFA乳液；将全氟醚弹性体乳液和PFA乳液混合，凝聚后洗涤，真空冷冻干燥、氟化端基钝化、混炼得到全氟醚弹性体；将全氟醚弹性体与硫化交联剂和催化剂共混，模压成型，二次硫化后得到高温低压缩永久变形全氟醚弹性体组合物。本发明制备的全氟醚弹性体组合物具有化学性质稳定，机械性能优异，高温低压缩永久变形的特点。
一种高温压缩永久变形全氟醚弹性体组合制备方法

[发明专利]一种具有耐等离子体性能的含氟橡胶密封材料及其应用-CN202210123400.6在审
发明人： 尚家庄 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C08L27/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有耐等离子体性能的含氟橡胶密封材料及其应用，含氟橡胶密封材料具有耐等离子体粉化及分解性能，且含氟橡胶密封材料按重量份计，包括100份含氟橡胶、1～5份硫化剂、0～5份硫化促进剂、3～9份吸酸剂。含氟橡胶包括不含碳氢键的全氟弹性体橡胶、与偏氟乙烯作为共聚单体形成的氟橡胶体系、丙烯与四氟乙烯形成的氟橡胶共聚物中任意一种或多种。采用含氟橡胶密封材料制成的密封制品，能够使用在任何装置或设备的密封中，由于其具有忍耐高密度等离子体组分对其造成的粉化和分解的能力，特别适用在各种等离子体装置中使用，可以提高等离子体装置的密封效果，提高密封制品使用使用寿命。
一种具有等离子体性能氟橡胶密封材料及其应用

[发明专利]一种氟弹性体端基钝化的方法-CN202310699056.X有效
发明人： 尚家庄;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C08J7/12 文献下载
摘要：本申请提供一种氟弹性体端基钝化的方法，应用于氟弹性体技术领域，包括，S1、使用液体或超临界流体对氟弹性体进行脱挥处理；S2、对脱挥的氟弹性体进行钝化处理，并脱除钝化介质；S3、使用去离子水对氟弹性体进行洗涤、脱水后干燥，得到脱挥及钝化的氟弹性体。通过对氟弹性体进行液体或超临界流体脱挥后钝化，获得的氟弹性体挥发分少，通过控制钝化介质浓度和钝化时间进而控制调节端基钝化程度或端基稳定化程度，钝化处理后的氟弹性体具有优良的加工性和储存稳定性，后续加工和使用过程中接触高温及氧化环境时不变色，同时部分活性端基用于二次硫化形成网格化结构，机械性能好，压缩永久变形低，其制品可应用于高洁净的半导体制程中。
一种弹性体钝化方法

[发明专利]含氟橡胶废料的回收方法及回收系统-CN202310194252.1在审
发明人： 尚家庄;李平;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B29B17/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种含氟橡胶废料的回收方法及回收系统，属于橡胶回收领域，方法包括预冷步骤，对含氟橡胶废料进行冷却；低温冷冻粉碎步骤，采用液体冷媒对预冷后的所述含氟橡胶废料进行二次降温冷冻，并对二次降温冷冻后的所述含氟橡胶废料冷冻粉碎，所述液体冷媒气化后的气体提供给上述预冷步骤回收冷量；洗涤步骤，洗涤冷冻破碎过程中所述含氟橡胶废料脱除释出的添加剂粉末；磁分离步骤，采用高梯度磁场从清洗后的所述含氟橡胶废料脱除在冷冻破碎过程中产生的铁磁性颗粒，得到被回收的氟橡胶颗粒。通过本申请的处理方案，回收的产品颗粒粒度均匀且杂质少，满足氟橡胶回用时的质量要求。
氟橡胶废料回收方法系统

[外观设计]塑胶橡胶复合触件-CN202330002369.6有效
发明人： 尚家庄 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： 25-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：塑胶橡胶复合触件。2.本外观设计产品的用途：用于半导体反应腔体内的机械手臂，承载晶圆。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.后视图与主视图对称，省略后视图;右视图与左视图对称，省略右视图。
塑胶橡胶复合

[发明专利]使用自吸式搅拌器合成含氟聚合物的方法及含氟橡胶的制备方法-CN202211418700.3在审
发明人： 尚家庄;李平;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C08F216/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种使用自吸式搅拌器合成含氟聚合物的方法及含氟橡胶的制备方法。其中，合成含氟聚合物的方法使用自吸式搅拌器作为搅拌设备，包括如下步骤，使用惰性气体置换反应器中的空气，向反应器中加入脱除溶解氧的水、乳化剂、氟醚油、pH缓冲剂、硫化点单体、链转移剂，进行搅拌，通入气相含氟单体，在引发剂存在条件下进行乳液聚合反应，控制反应温度为70‑120℃，反应压力为0.5‑6Mpa，持续通入共聚含氟单体以维持反应压力，制备含氟聚合物，进而制备含氟橡胶，该合成方法具有反应器传质效率高的特点，能实现连续或间歇加料，合成的含氟聚合物具有平均分子量可控、分子量分布窄的优点，聚合反应过程平稳。
使用搅拌器合成聚合物方法氟橡胶制备

[发明专利]使用气升式环流反应器合成含氟聚合物的方法及含氟橡胶的制备方法-CN202211424403.X在审
发明人： 尚家庄;李平;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C08F214/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种使用气升式环流反应器合成含氟聚合物的方法及含氟橡胶的制备方法。其中，合成方法使用气升式环流反应器进行聚合反应，步骤为：使用惰性气体置换反应器中的空气，向其中加入脱除溶解氧的水、乳化剂、氟醚油、pH缓冲剂、链转移剂和硫化点单体以形成乳液，向上升管输送气相含氟单体，使乳液在上升管内上升及在下降管下降以形成循环流动，控制反应压力为0.5‑6Mpa，反应温度为70‑120℃，在引发剂存在条件下，引发聚合反应，持续通入气相含氟单体维持反应，制备含氟聚合物。该合成方法的气液混合温和，提高传质系数，缩短反应时间，能实现连续或间歇加料，聚合反应过程平稳，所制成的含氟聚合物具有平均分子量可控、分子量分布窄的优点。
使用气升式环流反应器合成聚合物方法氟橡胶制备

[发明专利]干刻尾气回收三氟化氮的方法及装置-CN202211420538.9在审
发明人：张丽娇;尚家庄;修国华 -专利权人：上海森崚半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种干刻尾气回收三氟化氮的方法及装置，属于废气处理领域，方法包括将含三氟化氮的干刻尾气鼓风至水喷淋塔洗涤，以脱除在刻蚀过程中产生的金属氟化物颗粒，获得第一流股；将所述第一流股加压至第一压力后冷却，采用第一吸附塔去除高沸点组分，并从所述第一吸附塔的塔顶获得高压干燥的第二流股；将所述第二流股依次送入串联的冷凝温度分别为T1和T2的低温冷凝器，T1T2，使第二流股中的三氟化氮被部分冷凝液化，液化部分由底部流出为第三流股；将所述第三流股由泵增压后通过引入第二压力的中压精馏塔，进行精馏，底部得到纯净的三氟化氮。通过本申请的处理方案，降低污染，资源循环利用。
尾气回收氟化方法装置

[发明专利]含氟聚合物的合成方法、含氟橡胶及其制备方法-CN202211418708.X在审
发明人： 尚家庄;李平;修国华 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： C08F292/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种含氟聚合物的合成方法、含氟橡胶及其制备方法，属于橡胶领域，合成方法包括将氟化纳米碳管分散在氟醚油中，加入水、表面活性剂得到微乳液，将微乳液加入含有水、硫化点单体、链转移剂与含氟单体的反应釜内，将温度升至70‑120℃，加入气相共聚单体使压力升至2.0‑5.0MPa；在反应釜中持续加入气相共聚单体以维持压力在较小范围内波动，在引发剂的作用下进行乳液聚合反应，制备得到氟化纳米碳管的含氟聚合物。通过本申请的处理方案，解决了纳米填料在含氟橡胶基体中的分散问题，在保持含氟橡胶已有性能基础上，增强了在应力条件下处于高温等离子体环境中时橡胶抗龟裂能力。
聚合物合成方法氟橡胶及其制备

[发明专利]一种全氟烷基乙烯基醚的制备方法-CN202211008210.6在审
发明人： 尚家庄;李平 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： C07C41/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种全氟烷基乙烯基醚的制备方法，包括如下步骤：(1)将全氟烷基乙烯基醚粗产物溶于溶剂中形成溶液A；(2)将溶液A与吸附剂进行接触，过滤后得到溶液B；(3)将溶液B进行蒸馏分离产品回收溶剂，得到高纯度全氟烷基乙烯基醚产品；其中，所述吸附剂为沸石。本发明能够将未纯化的全氟烷基乙烯基醚粗产物中可能存在的金属离子的浓度从ppm级降至十亿分之一(ppb)水平，得到高纯度(99.9％以上)的全氟烷基乙烯基醚产品。
一种烷基乙烯基制备方法

[发明专利]泛半导体设备用密封条安装治具-CN202211039302.0在审
发明人： 尚家庄;伍云浪;刘臻毅 -专利权人：上海森桓新材料科技有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B25B27/00 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种泛半导体设备用密封条安装治具，包括由聚四氟乙烯材料制成的手柄、引导滚轮和平整滚轮；手柄用于操作人员握持；引导滚轮通过第一安装轴活动安装于手柄的第一端，引导滚轮的表面设置有凹槽，凹槽的截面形状与待安装的密封条的截面形状相适配；平整滚轮通过第二安装轴活动安装于手柄的第二端，平整滚轮为圆柱形。在安装密封条时，推动两个滚轮在待安装密封条的半导体设备的表面滚动，引导滚轮引导密封条进入安装沟槽中，然后由平整滚轮将密封条平整的压入沟槽，操作简单，加快安装速度，提高安装平整度，并且能够满足半导体生产的洁净度要求，不产生静电或粉尘，不损伤半导体设备。
半导体备用密封条安装

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