专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果7个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN202110881844.1在审
  • 宫岛启介;真柄启二;片山贵志 - 株式会社斯库林集团
  • 2021-08-02 - 2022-02-18 - H01L21/02
  • 本发明提供一种基板处理方法及基板处理装置。基板处理方法包括步骤(S51)、步骤(S52)、及步骤(S6)。在步骤(S51)中,在将浸渍于冲洗液(71)中的基板(W)从冲洗液(71)中提起后,使表面张力小于冲洗液(71)的有机溶剂附着于基板(W),并将基板(W)浸于贮存于腔室(51)内的槽(53)中的冲洗液(71)中。在步骤(S52)中,从冲洗液(71)中提起基板(W)。在步骤(S6)中,向所提起的基板(W)所存在的腔室(51)内供给表面张力小于冲洗液(71)的有机溶剂的蒸汽。
  • 处理方法装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top