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[发明专利]用于清洁真空腔室的方法、用于真空处理基板的设备和用于制造具有有机材料的装置的系统-CN201880002084.9有效
发明人：斯蒂芬·凯勒;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;李宰源;安食高志 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开内容提供了一种用于清洁真空腔室(210)的方法(100)。所述方法(100)包括降低所述真空腔室(210)中的压力，以蒸发容纳在所述真空腔室(210)中的溶剂的至少一部分。
用于清洁空腔方法真空处理设备制造具有有机材料装置系统

[发明专利]有机电致发光元件和照明设备-CN201480039712.2在审
发明人：伊藤宜弘;安食高志 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2014-07-01 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： H05B33/24 文献下载
摘要：一种有机电致发光元件，配备有透光电极(2)、与所述透光电极(2)配对的光反射对电极(4)、位于所述透光电极(2)和所述对电极(4)之间的发光层(3)。所述对电极(4)由Ag或含Ag的合金构成。所述有机电致发光元件在所述对电极(4)的与所述发光层(3)相反的一侧上具有辅助反射层(6)。所述有机电致发光元件具有防扩散层(5)，用于防止成分在所述对电极(4)和所述辅助反射层(6)之间扩散和移动，且位于所述对电极(4)和所述辅助反射层(6)之间。
有机电致发光元件照明设备

[发明专利]真空蒸镀装置-CN201280033540.9无效
发明人：宫川展幸;西森泰辅;安食高志;北村一树 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2012-07-06 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：目的在于，在真空蒸镀装置中，在使用了多个蒸发源时，不易发生在被蒸镀体上形成的蒸镀膜的不均，能够形成所希望的膜厚的蒸镀膜。真空蒸镀装置（1）具备：多个蒸发源（3）；将蒸发源（3）及被蒸镀体（2）之间的空间包围、在被蒸镀体侧具有开口面（41）的筒状体（4）。并且，具备在筒状体（4）的内部配置的分隔板（7）。分隔板（7）具有开口部（70），开口部（70）在以重心（P）为中心的直径（D）的圆周范围内设有至少1个以上，直径（D）是分隔板（7）的外周上的2点间距离中的最大值的2/3。根据该构成，能够使从分隔板（7）的开口部（70）流向被蒸镀体（2）侧的气化材料的流束分布相同，因此在使用了多个蒸发源（3）时，不易发生在被蒸镀体（2）上形成的蒸镀膜的不均，能够获得所希望的膜厚的蒸镀膜。
真空装置

[发明专利]真空沉积装置-CN201280013425.5无效
发明人：宫川展幸;西森泰辅;安食高志 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2012-03-12 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供了一种可在沉积材料的沉积期间抑制除要测量膜厚度的沉积材料之外的沉积材料附着于膜厚度计且可提高沉积膜厚度的测量精度的真空沉积装置。在真空室（1）中布置有被沉积体（4）和多个蒸发源（2），所述真空室包括包围被沉积体（4）和多个蒸发源（2）之间的空间的筒状体（3）、以及膜厚度计（10）。所述装置被构造成使得从多个蒸发源（2）蒸发的沉积材料（9）穿过筒状体（3）内部，到达被沉积体（4）的表面，并且沉积在该表面上。在膜厚度计（10）与所述多个蒸发源（2）中的至少一个蒸发源（2）之间布置有导管（7），所述导管用于将从所述蒸发源（2）蒸发的沉积材料（9）引导至膜厚度计（10）。导管（7）在蒸发源（2）一侧上的开口表面布置在与所述蒸发源（2）的开口表面大致相同的表面上或者所述蒸发源（2）的内部。
真空沉积装置