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[发明专利]用于处理晶片状物件的表面的装置-CN201610944676.5有效
发明人： 安德烈亚斯·格雷森纳;迈克尔·布鲁格;托马斯·维恩斯贝格尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-11-02 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及用于处理晶片状物件的表面的装置。一种用于处理晶片状物件的旋转卡盘包括具有一系列夹持销的卡盘主体，所述夹持销能通过相对于所述卡盘主体水平地并且一致地滑动而从第一位置移动到第二位置，在所述第一位置，所述夹持销相对较多地缩回到所述卡盘主体中，在所述第二位置，所述夹持销相对较多地从所述卡盘主体延伸，并且在所述第二位置，所述夹持销被定位，以便支撑预定直径的晶片状物件。
用于处理晶片物件表面装置

[发明专利]具有原位清洁能力的旋转卡盘-CN201611097164.6有效
发明人： 安德烈亚斯·格雷森纳;彼得·斯特鲁茨曼恩 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-12-02 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及具有原位清洁能力的旋转卡盘。在用于处理晶片状物品的方法和装置中，旋转卡盘定位在处理室内部。所述旋转卡盘被配置成将晶片状物品保持在预定处理位置。盖覆盖所述旋转卡盘并且固定到所述旋转卡盘或与所述旋转卡盘成一体以与其一起旋转。所述盖具有中心开口。固定喷嘴组件延伸到处理室中，使得所述固定喷嘴组件的排放端穿过所述盖的所述中心开口。所述喷嘴组件包括冲洗喷嘴，所述冲洗喷嘴被配置成将冲洗液体从所述喷嘴组件径向向外引导到所述盖的面向下方的表面上。
具有原位清洁能力旋转卡盘

[发明专利]具有旋转气体喷头的旋转卡盘-CN201610074534.8有效
发明人： 安德烈亚斯·格雷森纳;马库斯·容克;巴斯卡尔·班达拉普 -专利权人：朗姆研究公司AG
申请日： 2016-02-02 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及具有旋转气体喷头的旋转卡盘。一种用于处理晶片状物件的装置包括：旋转卡盘，其用于将晶片状物件保持在预定的方位；和旋转喷头，其用于在晶片状物件由所述旋转卡盘保持时供给处理气体至晶片状物件的表面上。所述旋转喷头包括出口板，所述出口板具有在其中心区域和外围区域中的每一个中形成的多个开口。提供处理气体馈送源以供给处理气体到气体分配室。所述气体分配室与形成在所述喷头中的多个开口流体连通。
具有旋转气体喷头卡盘

[发明专利]用于处理晶片状物件的方法和装置-CN201510530658.8有效
发明人：雷纳·欧布维格;安德烈亚斯·格雷森纳;托马斯·维恩斯贝格尔;弗朗茨·库姆尼格;阿里桑德罗·贝尔达罗;克里斯汀·托马斯·费舍尔;周沐洪;拉法尔·理夏德·迪莱维奇;南森·拉夫多斯基;伊凡·L·贝瑞三世 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2015-08-26 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了用于处理晶片状物件的方法和装置。一种用于处理晶片状物件的装置，其包括：封闭处理室，所述封闭处理室提供气密封装。旋转卡盘位于所述封闭处理室内。加热器相对于所述卡盘定位以便仅从一侧加热保持在所述卡盘上的晶片状物件，而不接触所述晶片状物件。所述加热器发射波长在从390纳米至550纳米的范围内的具有最大强度的辐射。至少一个第一液体分配器相对于所述卡盘定位，以便将工艺液体分配到晶片状物件的与所述晶片状物件的面向所述加热器的一侧相反的一侧上。
用于处理晶片物件方法装置

[发明专利]用于处理晶片状物件的表面的装置-CN201410058520.8有效
发明人： 安德烈亚斯·格雷森纳 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-02-20 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了用于处理晶片状物件的表面的装置。一种用于衬底的液体处理的装置包括衬底架和围绕所述衬底架的液体收集器。所述液体收集器包括用于收集处理衬底所使用的液体的槽。所述槽与排放管道流体连通，且所述液体收集器进一步包括自所述槽中的排放口延伸到设置得比所述槽低的所述排放管道的入口的凹面。所述槽中的所述排放口具有与所述排放管道的入口的横截面积的至少两倍一样大的横截面积。
用于处理晶片物件表面装置