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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种高深宽比柔性纳米柱阵列的制造方法-CN201510124275.0有效
  • 马志波;苑伟政;姜澄宇;乔大勇;孟海莎 - 西北工业大学
  • 2015-03-20 - 2017-12-12 - H01L21/02
  • 本发明是属于集成电路和微纳电子机械系统制造领域，特别是一种高深宽比纳米结构阵列的制造方法。该方法需要制备高深宽比柔性纳米纤毛结构的软模板，软膜版以PDMS为浇注材料；复制高深宽比柔性纳米纤毛阵列的模板。以压印过的PDMS为模板，采用紫外光固化胶OrmoStamp材料进行压印，这样就得到了和硅模具上一样的柔性结构。本发明的有益效果是针对高深宽比柔性纳米结构的制造难点，提出了基于PDMS和紫外光固化胶OrmoStamp两种柔性材料，通过两次压印的方法，实现高深宽比纳米纤毛阵列的柔性制造，为高深宽比柔性纳米结构的制造提供重要的技术支持。
  • 一种高深柔性纳米阵列制造方法
  • [发明专利]一种高灵敏度微振动检测方法-CN201510125375.5有效
  • 马志波;苑伟政;姜澄宇;乔大勇;孟海莎 - 西北工业大学
  • 2015-03-20 - 2017-12-05 - G01H11/02
  • 本发明公开了一种基于高深宽比纳米阵列探测微振动的方法，属于微振检测领域。该方法是激光器经过光束整形后，从侧面入射到高深宽比纳米阵列，在另一侧形成明暗相间的衍射条纹；当高深宽比柱阵列感受到外界振动时，会发生同步摇晃振动，导致衍射条纹随之发生变化；读取衍射条纹±1级的运动轨迹，得到衍射条纹的变化角度θ，根据理论力学与材料力学的相关知识，推导出外界载荷p与角度θ之间的关系，从而通过检测衍射条纹变化角度θ实现测量外界微小振动载荷的目的。本发明结构简单，易于实现系统集成。同时，与现有探测方式相比，避免微小电信号的检测难度，提高探测系统的精度。
  • 一种灵敏度振动检测方法
  •  1 
  • 共 3 条
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