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[发明专利]半导体器件的制作方法-CN201110247681.8有效
发明人：王红超;汪晨怿;殷冠华;孙军康 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2011-08-26 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：一种半导体器件的制作方法，包括下列步骤：提供基底，所述基底具有待刻蚀层；在所述待刻蚀层上形成第一光刻胶层，所述第一光刻胶层上具有第一开口图形；以第一光刻胶层为掩膜，刻蚀部分厚度的待刻蚀层，形成第一开口；去除第一光刻胶层后，在所述待刻蚀层上形成第二光刻胶层，所述第二光刻胶层上具有第一开口图形；以第二光刻胶层为掩膜，刻蚀待刻蚀层，使第一开口达到预定深度。本发明有效保护被遮蔽器件，防止刻蚀载体对被遮蔽器件产生影响，保证了半导体器件的可靠性及良率。
半导体器件制作方法

[发明专利]掺杂的磷酸铁锂活性物质与碳组成的正极材料及制备方法-CN200710172797.3有效
发明人：黄富强;孙军康;王耀明;刘战强 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01M4/58 文献下载
摘要：本发明涉及可用于二次锂电池的由掺杂的磷酸铁锂活性物质与碳组成的正极材料及制备方法。其特征在于所述的活性物质的通式为Li_3+yFe_2－xMe_x(PO₄)₃(Me＝Ti、Sc、Ge、Al、Zr、Mn、Hf、Nb、Ta、Mo、W、Ru、Ag、Sn、Pb等)，其制备特征为原料按照一定的摩尔比通过固相反应，水热法以及溶胶凝胶法合成的结晶态的Li_3+yFe_2－xMe_x(PO₄)₃，然后将制备得到的粉体与碳通过行星式球磨机球磨混合得到Li_3+yFe_2－xMe_x(PO₄)₃/C正极材料。所述的正极材料比容量可以达到122mAhg^－1(以C/20充放电)和100mAhg^－1(以C/2充放电)，而且该材料具有良好的循环性能和比容量保持性，从而为二次锂离子电池的实用化提供较为理想的正极材料。
掺杂磷酸活性物质组成正极材料制备方法

[发明专利]用于全固态锂电池的锂硫体系固体电解质材料及制备方法-CN200710037478.1有效
发明人：刘战强;黄富强;杨建华;曹珍珠;孙军康 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2007-02-13 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： H01M6/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种可用于全固态锂电池的固体电解质材料及其制备方法。其特征为四种不同的硫化物材料按照Li₂S∶A/S∶P₂S₅＝6∶0.1－4.0∶1.5的摩尔比复合在一起，形成非晶态体系，为锂离子传输提供更多有效途径，从而获得较高的离子电导率。所述的A为Ag、Zn、Al或Zr。以Li₂S－ZrS₂－P₂S₅体系为例，其室温离子电导率约为9.60×10^－6S/cm，在150℃时达3.30×10^－4S/cm)和较低的电子电导率(室温电导率＜1.0×10^－8S/cm＝，且该材料较宽的热稳定范围(室温～200℃)，从而为全固态锂离子电池的实用化提供较为理想的电解质候选材料。
用于固态锂电池体系固体电解质材料制备方法

[发明专利]用于全固态锂电池固体电解质材料体系及制备方法-CN200710037479.6有效
发明人：刘战强;黄富强;杨建华;曹珍珠;孙军康 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2007-02-13 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： H01M10/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于全固态锂电池的固体电解质材料体系及制备方法。其特征为Li₂S和其它硫化物B/S(B/S＝SiS₂，PS_5/2，GeS₂，BS_3/2)以及碘化物A/I(A/I＝AlI₃，ZnI₂，LaI₃)几种不同化合物按照一定的摩尔比复合在一起，形成非晶态体系，为锂离子传输提供空间，从而获得较高的离子电导率，且材料具有较宽的热稳定范围(室温～200℃)，从而为全固态锂离子电池的实用化提供较为理想的电解质候选材料。
用于固态锂电池固体电解质材料体系制备方法