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[发明专利]一种二维材料的转移系统-CN201810860391.2有效
发明人： 姜玄策;张立源;陈千雪 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种二维材料的转移系统，该系统通过采用对准装置检测转移基片载物台上的转移基片与目标基片载物台上的目标基片是否对准，并将对准检测结果反馈至主控制装置，使得主控制装置能够根据对准检测结果，控制转移基片控制装置调节转移基片载物台的位置和/或控制目标基片控制装置调节目标基片载物台的位置，并在转移基片与目标基片对准后，将转移基片上的二维材料转移至目标基片上。本发明实施例提供的二维材料的转移系统，能够采用智能化、自动化的方式实现二维材料的转移，提高二维材料的对准转移精度，使得二维材料的转移过程简单化，进而节省了人力成本和二维材料的制备成本。
一种二维材料转移系统

[实用新型]一种光学对准二维材料干法转移系统-CN201821297874.8有效
发明人： 姜玄策;张立源;陈千雪 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G02B21/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及自动化技术领域，公开一种光学对准二维材料干法转移系统，该系统包括：控制单元、目标基片控制台、转移基片控制台和光学对准单元；所述光学对准单元包括光学显微镜和伸缩光学双分束镜，所述光学显微镜与所述伸缩光学双分束镜连接，所述伸缩光学双分束镜设置于目标基片控制台的基片设置台面和所述转移基片控制台的基片设置台面之间，所述控制单元能够控制所述伸缩光学双分束镜收缩，所述伸缩光学双分束镜能够将竖直方向上光线透射并反射成水平方向进入所述光学显微镜，上述技术方案实现了二维材料干法转移系统的光学对准，提高了二维材料的转移精度，简化了操控流程，提高了工作效率，有效解决了重影问题以及转移基片选择难题。
双分束镜伸缩控制台二维材料光学显微镜干法转移光学对准光学对准单元目标基片台面自动化技术领域本实用新型工作效率光线透射有效解决重影问题操控竖直反射收缩

[实用新型]一种微机械剥离二维材料加工自动检索系统-CN201720454292.5有效
发明人：林嵘宇;张立源;姜玄策 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G02B21/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微机械剥离二维材料加工自动检索系统，主要包括底座、支撑架、作业台、显微镜和单片机，所述底座顶部设置有单片机，所述支撑架顶部设置有作业台，所述作业台上设置有显微镜和操作台，所述显微镜设置在操作台上方，所述操作台上设置有硅片，所述单片机内部设置有控制面板，所述单片机通过导线与显微镜连接，本实用新型结构简单，使用操作方便，具有智能自动化控制系统，能有效进行二维材料的自动检索，同时可以快速、大量、精准的获得干净的量子二维材料。
一种微机剥离二维材料加工自动检索系统