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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]加热板、具备其的基板热处理装置及加热板的制造方法-CN201910724640.X有效
发明人：申景湜;姜湾圭;金俊镐 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种在接近销形成孔，并连接接近销的孔与真空孔，而防止在基板的热处理时产生气流的加热板、具备其的基板热处理装置及加热板的制造方法。本发明的加热板包括：主体部，在内部具有用于加热基板的加热器；多个第一孔，由主体部的上部向下方贯通主体部形成；多个接近销，形成于主体部的上部，以基板未与主体部的上部接触的方式支撑基板；及多个第二孔，形成于多个接近销中的至少一部分的接近销，并由接近销的表面向下方贯通接近销而形成，第一孔与第二孔相互连接，将第一孔与第二孔的内部制造为真空状态而固定基板。
加热具备热处理装置制造方法

[发明专利]基板处理装置-CN201911145592.5有效
发明人：严基象;金炳沃;郑载勳;金珠恩;徐准浩;姜湾圭 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置。基板处理装置包括：基板支撑部，具有安装面而支撑基板；导环，沿着所述基板支撑部的边缘环形配置，以包裹所述基板；及集中部，设置在所述导环的内部，以与所述安装面平行的方向移动，对所述基板的边缘施加压力，而集中所述基板。
处理装置

[发明专利]基板支撑单元，热处理单元和包括其的基板处理装置-CN201711171053.X有效
发明人：赵敏祐;崔哲珉;朴相旭;姜湾圭 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明构思的实施方式涉及一种基板处理装置。一种被配置为支撑基板的基板支撑单元包括支撑板，在该支撑板上放置基板，该支撑板可以包括：通道，其形成在支撑板的上表面上并连接支撑板的中心区域和侧表面；和凹部，其形成在支撑板的周边区域中并从支撑板的侧表面向内凹进，并且凹部可以与通道的一端连通。
支撑单元热处理包括处理装置

[发明专利]用于处理基板的装置和方法-CN202010860335.6在审
发明人：金俊镐;申景湜;安迎曙;辛辰基;姜湾圭;史允基 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及用于处理基板的装置和方法。一种用于处理基板的装置包括：工艺腔室，在所述工艺腔室中具有工艺空间；支承单元，其在所述工艺空间中支承所述基板；加热构件，其加热支承于所述支承单元上的所述基板；和排放单元，其抽排所述工艺空间。所述排放单元包括排放管和热量保持单元，所述热量保持单元具有保持从所述工艺空间释放的热量的保持空间。所述保持空间围绕所述排放管中邻近所述工艺腔室的邻近区域。
用于处理装置方法

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共 4 条

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