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[实用新型]磁浮重力补偿器及光刻装置-CN202320355421.0有效
发明人： 姚艺华;印欣;时磊;石佳蒙;王善明 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： F16F6/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁浮重力补偿器及光刻装置，涉及集成电路装备制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和动子组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环周向设有冷却单元。动子组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。
重力补偿光刻装置

[发明专利]磁浮重力补偿器-CN202310185752.9在审
发明人： 姚艺华;印欣;时磊;石佳蒙;王善明 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H02N15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁浮重力补偿器，涉及精密元器件制造技术领域。该磁浮重力补偿器包括至少一个磁浮单元，磁浮单元包括定子组件和悬浮组件，定子组件设于磁浮单元的外圈，包括壳体、定子磁环和线圈环，定子磁环和线圈环沿磁浮单元的轴线方向排布，定子磁环的充磁方向为径向充磁，线圈环位于壳体内，壳体内设有冷却液流道，冷却液流道设于线圈环的周向。悬浮组件设于磁浮单元的内圈，包括动子磁环，动子磁环包括第一动子磁环和第二动子磁环，第一动子磁环和第二动子磁环沿磁浮单元的轴线方向排布，第一动子磁环的充磁方向为径向充磁，第二动子磁环的充磁方向为轴向充磁。该磁浮重力补偿器能够产生被动悬浮力和主动悬浮力，主动悬浮力的大小可调。
重力补偿

[发明专利]一种平板音圈电机-CN202310370672.0在审
发明人： 姚艺华;印欣;时磊;王善明;石佳蒙 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H02K41/035 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种平板音圈电机，其线圈组件包括至少一个线圈和至少一个导磁块，线圈整体为环形，线圈环绕设置在导磁块的周向，磁轨组件包括背铁和磁铁阵列，磁铁阵列固定在背铁上，线圈组件设置在磁铁阵列沿Z轴方向的中心，当线圈通电时，磁轨组件和导磁块形成的磁场共同对线圈施加安培力，通过导磁块增加了平板音圈电机在其输出方向的受力，从而在相同的铜耗下实现推力密度的提升，同时保证平板音圈电机整个运行过程平稳，出力均匀。并且对于平板音圈电机的结构改动较小，无需对现有的生产工艺进行较大改动，适用性良好，方便工业生产。
一种平板电机

[实用新型]一种运用于超薄直线电机的紧凑型石墨散热线圈装置-CN202122810213.9有效
发明人：周万里;石佳蒙;姚艺华;印欣;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H02K3/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种运用于超薄直线电机的紧凑型石墨散热线圈装置，所述紧凑型石墨散热线圈装置为直线电机的动子，包括：线圈支架、石墨片、线圈、环氧树脂；所述线圈支架的一侧设有多个用于安装线圈的安装槽，所述线圈放置在安装槽中，并通过环氧树脂固定，所述石墨片贴附在线圈支架上下两侧。本实用新型，对于高电流，高发热状况，能有效的降低线圈的最高温度，对于线圈绝缘起到很好的保护作用；在相同的绝缘等级下，能提高线圈的运行电流，有更大的推力产生，使得电机更具有竞争力。
一种运用于超薄直线电机紧凑型石墨散热线圈装置

[实用新型]一种采用非接触式音圈马达直接驱动的定位平台-CN202023273819.5有效
发明人： 姚艺华;印欣;赖霏;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种采用非接触式音圈马达直接驱动的定位平台，包括滑动载物台、基座、位置检测传感器、标尺、滑动导向轴承、导向轴承固定板、硬限位块、气缸和音圈马达。本实用新型采用音圈马达直驱，具有零背隙，无后冲，零磁滞，高响应、超高频运动的特性；采用两对滑动导向轴承，增强了运动平台的刚性；再搭配高精度的位置检测传感器和标尺，可实现精确且可重复的纳米级运动。
一种采用接触式音圈马达直接驱动定位平台

[实用新型]一种呼吸支持设备用音圈电机、开关阀及呼吸支持设备-CN202023319546.3有效
发明人：戴征;曾棚;袁越阳;时磊;姚艺华;印欣 -专利权人：湖南明康中锦医疗科技发展有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H02K41/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种呼吸支持设备用音圈电机、开关阀及呼吸支持设备，音圈电机包括壳体，所述壳体中部设有电机轴，所述电机轴的上部设有一个柔性弹力件，所述电机轴的下部设有导向部件，用于保证所述电机轴做直线运动，所述导向部件的外部设有线圈支架，所述线圈支架上固定有线圈，所述线圈支架的外部设置有永磁铁。本实用新型提供的音圈电机设置一个柔性弹力件，为电机轴提供阻力和支承，同时还设置了直线轴承，通过柔性弹力件和直线轴承的共同作用保证音圈电机的电机轴做直线运动而不会产生波动，同时音圈电机中永磁铁在线圈支架的外侧，与现有的永磁铁在线圈内侧的音圈电机相比，减少电机轴被永磁体磁化的可能，提高电机轴直线运动的稳定性。
一种呼吸支持备用电机开关设备

[发明专利]一种呼吸支持设备用音圈电机、开关阀及呼吸支持设备-CN202011635026.5在审
发明人：戴征;曾棚;袁越阳;时磊;姚艺华;印欣 -专利权人：湖南明康中锦医疗科技发展有限公司;雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H02K41/02 文献下载
摘要：本发明提供一种呼吸支持设备用音圈电机、开关阀及呼吸支持设备，音圈电机包括壳体，所述壳体中部设有电机轴，所述电机轴的上部设有一个柔性弹力件，所述电机轴的下部设有导向部件，用于保证所述电机轴做直线运动，所述导向部件的外部设有线圈支架，所述线圈支架上固定有线圈，所述线圈支架的外部设置有永磁铁。本发明提供的音圈电机设置一个柔性弹力件，为电机轴提供阻力和支承，同时还设置了直线轴承，通过柔性弹力件和直线轴承的共同作用保证音圈电机的电机轴做直线运动而不会产生波动，同时音圈电机中永磁铁在线圈支架的外侧，与现有的永磁铁在线圈内侧的音圈电机相比，减少电机轴被永磁体磁化的可能，提高电机轴直线运动的稳定性。
一种呼吸支持备用电机开关设备

[实用新型]一种紧凑型高精度直线运动定位工作台-CN202021204211.4有效
发明人：印欣;姚艺华;林浩元;吴彩鸣 -专利权人：雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： B23Q1/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种紧凑型高精度直线运动定位工作台，包括：基座、移动载物台、直线导向件、定子线圈、动子磁铁组、传感器组件；本实用新型采用有铁芯直线电机赋予工作台驱动力；和无铁芯直线电机驱动相比，其推力密度极大提升，有利于实现直线运动定位平台的薄型化和小型化；还采用磁铁运动的形式，线圈的动力线和传感器的信号线都固定不动，减少了运动的阻力和电线磨损，提升了定位平台的可靠性；定子铁芯由高导磁材料制成，采用模块化生产，沿移动方向自由拼接，可满足不同的行程要求，适合长行程的应用场合。
一种紧凑型高精度直线运动定位工作台

[实用新型]一种运用有铁心电机的紧凑型高精度直接驱动测角仪滑台-CN202021217761.X有效
发明人： 姚艺华;印欣;赖霏;林浩元;吴彩鸣 -专利权人：雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种运用有铁心电机的紧凑型高精度直接驱动测角仪滑台，与旋转步进电机+滚珠丝杠方案相比，该直接驱动测角仪滑台结构紧凑，在传动效率、速度和精度各方面都具有明显优势；与无铁芯电机直接驱动方案不同，本申请采用有铁心电机直接驱动方案，相近的尺寸下，有铁心电机的转矩密度显著提升，更易实现测角仪滑台的薄型化和小型化；本申请绕组线圈嵌进高导磁开槽定子铁芯，结构紧凑，机械可靠性高；生产加工方便，工艺成熟，成本更低。
一种运用铁心电机紧凑型高精度直接驱动测角仪滑台

[实用新型]一种具有磁性周向限位功能的音圈电机-CN202021196183.6有效
发明人：时磊;印欣;姚艺华;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（南通）有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H02K41/035 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有磁性周向限位功能的音圈电机，所述音圈电机是由带有磁体的定子，以及套装在定子上的动子线筒组成，还包括防转套，所述防转套嵌套在定子的一端，防撞套上设有至少两个凹槽，所述凹槽相对两侧的侧壁上设有不同磁极的定子防转磁铁，所述动子线筒的两侧设有与防撞套中凹槽相对应的凸块，所述凸块中设有动子防转磁铁，所述凸块设置在凹槽中，使相同磁极的动子防转磁铁与定子防转磁铁相对；保证凸块悬浮在凹槽中；用磁性限位代替了机械限位，有效降低了噪音和磨损，提高了装置的寿命和可靠性。
一种具有磁性限位功能电机

[实用新型]一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件-CN201921891618.6有效
发明人：印欣;孙亚雷;姚艺华;吴彩鸣;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： H02K41/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了音圈电机相关技术领域的一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件，其中，磁性重力补偿器包括动子和定子；动子包括动子支架和动子永磁体，动子支架的纵截面为U字形，动子永磁体设置于U字形的开口处；定子包括定子铁芯、定子磁体组件和定子轴；定子的纵截面为E字形，定子铁芯设置于E字形外侧的两条相互平行的边上，定子轴设置于E字形中心的轴上，定子磁体组件包括相互重叠设置的定子永磁体与定子导磁块，定子磁体组件套接于定子轴外围，定子永磁体位于定子导磁块与E字形底部之间；U字形的两条平行的边与E字形三条平行的边形成的两个间隙相适配；具有制造简单、易于与音圈电机结合、刚度特性好、温升低等特性。
一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿及其组件

[发明专利]一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件-CN201911071045.7在审
发明人：印欣;孙亚雷;姚艺华;吴彩鸣;林浩元 -专利权人：雅科贝思精密机电（上海）有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： H02K41/03 文献下载
摘要：本发明公开了音圈电机相关技术领域的一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿器及音圈电机及其组件，其中，磁性重力补偿器包括动子和定子；动子包括动子支架和动子永磁体，动子支架的纵截面为U字形，动子永磁体设置于U字形的开口处；定子包括定子铁芯、定子磁体组件和定子轴；定子的纵截面为E字形，定子铁芯设置于E字形外侧的两条相互平行的边上，定子轴设置于E字形中心的轴上，定子磁体组件包括相互重叠设置的定子永磁体与定子导磁块，定子磁体组件套接于定子轴的外围，定子永磁体位于定子导磁块与E字形底部之间；U字形的两条平行的边与E字形三条平行的边形成的两个间隙相适配；具有制造简单、易于与音圈电机结合、刚度特性好、温升低等特性。
一种圆筒型音圈电机磁性重力补偿及其组件

[发明专利]一种小功率风电变流器组网时的实时监控方法-CN201510880610.X有效
发明人：沈燚明;卢琴芬;陈轶;姚艺华 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： H02J3/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种小功率风电变流器组网时的实时监控方法。本发明可以实现对多台小功率风电变流器运行状态的实时监控，便于及时发现、排除故障，同时也可实现上位机对各控制微机模块的控制，在调试及下达命令时无需对变流器进行拆机，方便用户操作。实际小功率风电机组组网时，常常会有多种型号的永磁同步发电机，本发明可以实现一种小功率风电变流器适配多种型号的永磁同步发电机，降低成本和组网难度。本发明基于MODBUS RTU协议并对其进行了改进，使得报文的起始和结束非常方便判断，便于利用串口通讯的控制微机模块和上位机进行中断处理，而协议本身特点及其广泛应用性也非常便于多台风电变流器组网并与工控机、PLC等设备连接。
一种功率变流器组网实时监控方法

[发明专利]一种适用于小功率风电变流器的参数可调的实时监控方法-CN201510881185.6在审
发明人：沈燚明;卢琴芬;陈轶;姚艺华 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： H02J3/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于小功率风电变流器的参数可调的实时监控方法。通过对风电变流器采取的三个控制策略，可以得到其系统关键参数，利用上位机对系统关键参数进行调节，可以实现小功率风电变流器适配多种不同型号的永磁同步发电机。本发明实现了上位机对控制微机模块的控制，在调试及下达命令时无需对变流器进行拆机操作，方便用户操作，同时也实现了对风力发电机和风电变流器运行状态的实时监测，便于及时发现、排除故障。本发明基于MODBUS RTU协议并对其进行了改进，使得报文的起始和结束非常方便判断，便于控制微机模块进行中断处理并与工控机、PLC等设备连接，而协议本身的特点也非常便于多台民用小功率风电设备组网时进行监控。
一种适用于功率变流器参数可调实时监控方法

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