专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种晶舟的侧壁镂空结构-CN202021943918.7有效
  • 姚庆利 - 上海赛瑾精密科技有限公司
  • 2020-09-08 - 2021-03-23 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种晶舟的侧壁镂空结构,包括:箱体,所述箱体的两侧设有侧板且侧板与箱体之间一体成型,所述侧板呈竖直状结构设置且侧板的侧面设有卡块,所述卡块的下部设有弧形镂空且卡块通过弧形镂空形成J状结构,所述卡块与侧板之间固定连接且卡块之间相互平行设置。本实用新型在箱体的两侧设置侧板且侧板的侧面设置卡块卡扣的上端呈竖直状结构设置且下端设置弧形镂空,使卡块呈J状结构设置,卡块设置有若干组且相互平行设置,卡块之间形成与晶圆相匹配的卡槽,此种设置大大减少了卡块下端与晶圆的接触面积,同时减少了晶舟的重量,方便对晶圆进行清理,能有效减少堆积灰尘,同时在箱体的右端上开口和下开口,方便晶圆的取放。
  • 一种侧壁镂空结构
  • [实用新型]一种光刻机控制柜的推拉机构-CN202021943930.8有效
  • 姚庆利 - 上海赛瑾精密科技有限公司
  • 2020-09-08 - 2021-03-23 - H05K5/02
  • 本实用新型公开了一种光刻机控制柜的推拉机构,包括:控制柜本体,所述控制柜本体的侧面设有底座且底座的上部设有支架,所述支架与底座之间固定连接,所述支架的内部设有螺纹孔且螺纹孔的内部设有螺杆,所述螺杆与螺纹孔之间螺纹连接且螺杆的下端设有摇杆,所述螺杆的上端设有推板且推板呈矩形结构设置。本实用新型在控制柜本体的侧面设置底座和支架,底座通过底部的吸盘与地面之间相互吸附固定,同时转动摇把带动螺杆在支架内部的螺纹孔内转动,使螺杆在支架内部伸缩,从而带动其末端连接的推板移动,推板与控制柜本体之间相互接触,通过螺杆转动带来的推力对控制柜本体进行移动,无需寻找其他人力进行移动,大大节省的人力。
  • 一种光刻控制推拉机构
  • [实用新型]光刻机大翘曲度硅片吸附盘-CN202021945933.5有效
  • 姚庆利 - 上海赛瑾精密科技有限公司
  • 2020-09-08 - 2021-03-23 - G03F7/20
  • 本实用新型公开了光刻机大翘曲度硅片吸附盘,包括用于支撑的碳化硅盛平台,位于所述碳化硅盛平台的顶部两侧对称设置有周缘气密环,位于所述周缘气密环的外侧均设置有柔性真空气密环,位于所述碳化硅盛平台的内部设置有真空槽,所述真空槽的底端连接有真空管,所述碳化硅盛平台内侧设置有若干个凸块,两个相邻的凸块之间均设置有间隙。本实用增加的柔性气密环使得晶圆片的两端不易翘起,保持晶圆片的平整,结构简单,实用性强。
  • 光刻机大翘曲度硅片吸附

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