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[发明专利]化学气相沉积装置-CN201110287513.1有效
发明人：奚明;马悦;萨尔瓦多;林芳;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、冷却装置、位于所述反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座具有加热单元，所述喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区，所述冷却装置设置在所述喷淋组件背离所述基座的一侧；设置在第一进气装置和冷却装置之间的第一间隔件，设置在第二进气装置和冷却装置之间的第二间隔件，第一间隔件的热传导系数大于第二间隔件的热传导系数，加热单元在加热过程中，第一进气装置与第二进气装置具有不同的温度。本发明可以为不同进气装置中的气体提供不同的温度。
化学沉积装置

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201110287504.2有效
发明人：奚明;马悦;萨尔瓦多;林芳;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、冷却装置、位于所述反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座具有加热单元，所述喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区；所述冷却装置与所述第一进气装置层叠设置，所述冷却装置与所述第二进气装置层叠设置，所述第一进气装置与所述第二进气装置并排设置，所述第一进气装置的热传导系数大于所述第二进气装置的热传导系数，所述加热单元在加热过程中，所述第一进气装置与所述第二进气装置具有不同的温度。本发明可以为不同进气装置中的气体提供不同的温度。
化学沉积装置

[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积装置及其气体输送方法-CN201110287036.9有效
发明人：奚明;马悦;萨尔瓦多;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种金属有机化合物化学气相沉积装置及其气体输送方法，所述装置包括：反应腔、冷却装置、位于所述反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座具有加热单元，所述喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区，所述第一气体包括III族金属有机源，所述第二气体包括V族氢化物源；所述第一进气装置的材料不同于所述第二进气装置的材料，在所述金属有机化合物化学气相沉积装置的沉积过程中，所述第一进气装置的温度不同于所述第二进气装置的温度。本发明可以为不同的反应气体提供不同的温度。
金属有机化合物化学沉积装置及其气体输送方法

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201110287512.7有效
发明人：奚明;马悦;萨尔瓦多;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、冷却装置、位于反应腔顶部的喷淋组件以及与喷淋组件相对设置的基座，基座具有加热单元，喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区；第一进气装置具有与冷却装置相接触的第一上表面和与第一上表面相对的第一下表面，所述第一下表面面对基座，第二进气装置具有与冷却装置相接触的第二上表面和与第二上表面相对的第二下表面，第二下表面面对基座，第一上表面与第一下表面的比率大于第二上表面与所述第二下表面的比率，加热单元在加热过程中，第一进气装置与第二进气装置具有不同的温度。本发明可以为不同进气装置提供不同的温度。
化学沉积装置

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201110287031.6有效
发明人：奚明;马悦;萨尔瓦多;林芳;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、冷却装置、位于所述反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座具有加热单元，所述喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区；设置在所述第一进气装置和所述第二进气装置之间的间隔件，所述冷却装置、所述第一进气装置、所述间隔件和所述第二进气装置依次层叠设置，所述间隔件的热传导系数小于所述第一进气装置的热传导系数，在所述加热单元加热过程中，所述第一进气装置与所述第二进气装置具有不同的温度。本发明可以为不同进气装置中的气体提供不同的温度。
化学沉积装置

[发明专利]化学气相沉积装置-CN201110287503.8有效
发明人：奚明;萨尔瓦多;林芳;黄占超 -专利权人：理想能源设备（上海）有限公司
申请日： 2011-09-23 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔、冷却装置、位于所述反应腔顶部的喷淋组件以及与所述喷淋组件相对设置的基座，所述基座具有加热单元，所述喷淋组件包括第一进气装置以及第二进气装置，用于分别将第一气体以及第二气体传输至基座与喷淋组件之间的反应区；所述冷却装置、所述第一进气装置与所述第二进气装置依次层叠设置，所述第二进气装置位于面向所述基座的一侧且相较于所述冷却装置、所述第一进气装置更近邻所述基座，所述第一进气装置的热传导系数大于所述第二进气装置的热传导系数，所述加热单元在加热过程中，所述第一进气装置与所述第二进气装置具有不同的温度。本发明可以为不同进气装置中的气体提供不同的温度。
化学沉积装置

[发明专利]LED芯片工艺集成系统及其处理方法-CN201010552412.8有效
发明人：奚明 -专利权人：理想能源设备有限公司
申请日： 2010-11-19 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明提供了LED芯片工艺集成系统及其处理方法，所述工艺集成系统包括：装载卸载装置，用于装载或卸载待处理的或处理完毕的LED基板；真空传输装置，用于提供真空传输环境以传输所述待处理的或处理完毕的LED基板；至少一个外延层沉积腔室，位于所述真空传输装置周沿，所述外延层沉积腔室用于对所述待处理的LED基板进行外延层沉积；至少一个预处理腔室，用于对所述待处理的或处理完毕的LED基板进行预处理。本发明提高了LED基板的外延层沉积工艺的生产效率，提高了LED芯片的生产效率和LED芯片的产量，降低了LED芯片的成本，提高了外延层沉积腔室的使用寿命和利用率。
led 芯片工艺集成系统及其处理方法

[实用新型]一种测定密度的标线称量瓶-CN201020113184.X有效
发明人：奚明;葛晓燕;张晨;刘鑫;王妮妮 -专利权人：奚明
申请日： 2010-02-11 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： G01N9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种测定密度的标线称量瓶，包括瓶体和瓶塞，其特征在于：所述的瓶体与锥形标准磨砂接头焊接成一体，并配有磨口塞，在瓶体外侧刻有2-3条标线，标线旁印有标称容量。其通过测量被测液体或粉体到达第二标线和第一标线或第三标线和第一标线时的质量差和体积差求得密度。本实用新型具有测量范围广、操作简便、用途多样、易于清洗、生产成本低的特点。
一种测定密度标线量瓶

[实用新型]一种气动雾化吸收装置-CN201020155353.6无效
发明人：段广杰;李登新;奚明;刘广涛;伍静静;赵松建;王恩强;王剑波;金程 -专利权人：东华大学
申请日： 2010-04-09 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气动雾化吸收装置，属于资源环境装置领域，其包括吸收装置、喷气管、喷液管、缓冲罐：所述吸收装置总长1.2m，上细下粗，其上设除雾器、喷气口、喷液孔、吸液孔、出气口、温度计插孔、取样口；所述喷气管/喷液管是由不同喷气口径与长度的尖管组成，通过硅胶塞喷气管与吸收装置的喷气口相连，通过硅胶塞、管子，喷液管与喷液孔、吸液孔相连；所述缓冲罐高为70cm，内径为24cm，呈柱形状。该实用新型是为解决三相流化床中循环催化氧化高硫高砷难选冶金精矿或氰化尾渣工艺中的NOx吸收再生问题而设计，其可以借助于工艺原有的空气压缩机，而不需额外购置动力设备，从而为工艺运行节约了成本，提高了效益。
一种气动雾化吸收装置

[发明专利]一种便携式表面张力测定仪-CN201010109623.4有效
发明人：奚明;葛晓燕;刘鑫;张晨;王妮妮 -专利权人：奚明
申请日： 2010-02-11 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： G01N13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种便携式表面张力测定仪，由仓盖、主体以及可分离的底座三部分组成。使用时主体垂直插入底座中并由固定旋钮固定，托架通过托架连接件与主体组装在一起，托架缺口中放入可以自由转动的毛细管夹。毛细管的一端被毛细管夹固定，另一端插入底座上盛有样品的样品杯。底座中的发光二极管从样品杯底部向上照射，使样品杯及毛细管中的液面明亮易辨。视线经过液面及其在不锈钢镜中的像并与不锈钢镜相交，通过拉杆操纵下游标及上游标至上述相交位置，即可测得样品杯及毛细管中液面的绝对高度，两者相减即得毛细管中弯月面的上升高度。本发明可以广泛用于洗涤剂、去垢剂、脱脂剂、墨水、电解质等物质表面张力的测定。
一种便携式表面张力测定

[发明专利]一种用于NO_X循环催化氧气氧化预处理难浸金矿的反应系统和方法-CN200910056514.8无效
发明人：李登新;鄢祖喜;刘广涛;奚明;翟毅杰;孙利娜;陈晓艳;杨林 -专利权人：东华大学
申请日： 2009-08-14 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： C22B3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于NO_X循环催化氧气氧化预处理难浸金矿的反应系统和方法，反应系统：反应器、气体缓冲罐、气体干燥塔、隔膜式空气压缩机、供氧系统、温控仪，各部分用管道串联，反应器顶部进料口加料，下侧壁出料。方法：压缩机出气经流量计连接到反应器底部进气口，经分布板使反应器中液、固相混合均匀，形成气-液-固三相流化状态，上侧壁出气连接到缓冲罐，再经干燥塔接到压缩机，形成一个封闭循环系统，供氧系统在反应中给体系补充氧气，NO_X在这个过程中循环催化氧气氧化难浸金矿或氰化尾渣以提高其氰化提金率，该设备属于冶金化工中黄金提取预处理设备技术领域。本发明的优点是：能强化传质和传热、NO_X循环利用能延缓液相硝酸浓度下降，提高矿物氧化速率、减少了硝酸用量降低成本，无尾气排放没有环境污染、设备简单可连续操作。
一种用于 no sub 循环催化氧气氧化预处理金矿反应系统方法

[发明专利]作为用于铜金属化的阻挡层的原子层沉积氮化钽和α相钽-CN200710101714.1有效
发明人：陈岭;仲华;肖恩·M·瑟特尔;迈克尔·X·杨;奚明;文森特·库;吴典晔;艾伦·乌业;诺曼·纳卡希玛;巴里·金;张弘 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2002-10-25 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于在衬底上形成金属互连的方法。一方面，本方法包括沉积含难熔金属的阻挡层，所述阻挡层的厚度小于2nm使得其呈现类晶体结构，并足以抑制至少一部分金属层上的原子迁移；通过交替地引入一次或多次含金属化合物的脉冲和一次或多次含氮化合物的脉冲，在至少一部分阻挡层上沉积晶种层；并在至少一部分晶种层上沉积第二金属层来生成互连。
作为用于金属化阻挡原子沉积氮化相钽

[实用新型]一种带加温装置的洗衣机-CN94202011.1无效
发明人：奚明 -专利权人：奚明
申请日： 1994-01-31 - 公布日： 1994-12-07 - 主分类号： D06F39/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带加温装置的洗衣机。该洗衣机是在洗涤筒内辟有一个凹进去的容腔，在容腔内装有一个电加热器、一个温度传感器和一个水位开关，在洗衣机的控制面板上装有加温开关(调温旋扭)和指示灯，在控制面板内装有一温度控制器，温控器的输入端接温度传感器，输出端接有一继电器，温控器的电源端通过加温开关和水位开关接220伏交流电源。转动加温开关到需要的温度值，即可对洗涤筒内的水实现自动加温。
一种加温装置洗衣机

[实用新型]硬币整点多功能包装系列盒-CN92224963.6无效
发明人：奚明;滕长杰 -专利权人：奚明
申请日： 1992-06-17 - 公布日： 1992-12-02 - 主分类号： G07D9/00 文献下载
摘要：本实用新型属于硬币包装技术领域，是一种多功能硬币包装系列盒。主要由盒体和盒盖组成，可以对硬币分类、定值和包装，适用于银行和其它金属机构对硬币的运输、储存、及使用在收付款过程。本实用新型结构简单，制造容易，具有一物多用的功能。
硬币整点多功能包装系列

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