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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种化学气相沉积的气体流量控制箱-CN202321190917.3有效
发明人：邹韬;朱洪磊 -专利权人： 天津华创芯微科技发展有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体流量控制设备领域，公开了一种化学气相沉积的气体流量控制箱，包括箱体，所述箱体的内部设有用于化学气相沉积中气体速率控制的速率控制机构；所述速率控制机构包括两个转动杆、两个翻转板、主动皮带轮以及从动皮带轮，两个所述转动杆分别转动连接在箱体的内部两侧，所述翻转板固定连接在转动杆的外壁，所述主动皮带轮的外壁一侧固定连接在上侧所述转动杆的一端，所述从动皮带轮的外壁一侧固定连接在下侧所述转动杆的一端。本实用新型中，通过箱体内部设置的速率控制机构，整体的结构简单，且能够有效对气流速率的控制，因而避免了影响沉积质量。
一种化学沉积气体流量控制箱

[实用新型]一种化学气相沉积炉的搅拌进气装置-CN202321191263.6有效
发明人：高钰凯;朱洪磊;焦祥杰 -专利权人： 天津华创芯微科技发展有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，公开了一种化学气相沉积炉的搅拌进气装置，包括工作台，所述工作台的内部固定连接有炉体，所述炉体的上端设置有炉盖，所述炉盖的内部开设有滑槽，所述炉盖的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有第一固定辊，所述第一固定辊的外壁上部固定连接有第一齿轮。本实用新型中，首先通过炉盖、滑槽、电机、第一固定辊、第一齿轮、第二齿轮、第二固定辊、固定块、内置齿条、固定板、第一过滤网之间的配合达到了充分融合物料的效果，解决了传统化学气相沉积炉可能由于结构单一从而无法进行物料充分融合的问题，提高了装置的实用性。
一种化学沉积搅拌装置

[实用新型]一种用于半导体芯片生产用机械手-CN202121764990.8有效
发明人：宋霄霄 -专利权人： 天津华创芯微科技发展有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手，属于半导体芯片技术领域。一种用于半导体芯片生产用机械手，包括放置台，放置台上侧后端中部固设有支撑架，支撑架前侧上端固设有机械手箱，支撑架内部上侧开设有方形腔，方形腔内部设有电机，电机输出轴穿过方形腔内壁及机械手箱外壁延伸至内部并套接有曲杆，机械手箱内部设有机械杆，机械手箱内部下侧中间位置设有限位块，结构间的紧密配合，使得该装置可以下降取芯片后进行上升移动移动距离后可以下降进行芯片的放置，而芯片取放力度方式一定，减少了芯片损坏的几率，该装置灵活性高，有着良好的实用性，提高了工作的效率，节约了人力物力。
一种用于半导体芯片生产机械手

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