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- [发明专利]钽源前驱体的纯化方法-CN202211324335.X有效
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赵毅;刘颖;石琳;施旖旎;张蓉
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大连科利德光电子材料有限公司
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2022-10-27
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2023-04-11
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C23C16/34
- 本发明涉及电子前驱体纯化领域，尤其涉及钽源前驱体的纯化方法，包括以下步骤：（S.1）将吸附剂分散于不具有挥发性的惰性液体介质中，得到吸附浆料；（S.2）将粗品钽源前驱体溶于吸附浆料中，使得粗品钽源前驱体与吸附剂相接触，从而使得粗品钽源前驱体中的杂质被吸附剂所吸附；（S.3）提升吸附浆料的温度至钽源前驱体的蒸发温度，使得钽源前驱体蒸发，从而形成钽源前驱体蒸汽；（S.4）收集钽源前驱体蒸汽并将其冷凝，得到高纯钽源前驱体。本发明在钽源前驱体的纯化过程中通过改变对于钽源前驱体的纯化方式，简化了提纯步骤，有效提高了纯化效率以及纯化效，并且在提纯过程中还有效降低了钽源前驱体纯化过程中的能源消耗。
- 前驱纯化方法
- [发明专利]硅基前驱体的提纯方法及提纯系统-CN202211323659.1有效
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刘颖;裴凯;赵毅;孙良礼;李晓婷
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大连科利德光电子材料有限公司
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2022-10-27
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2023-04-07
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B01D11/04
- 本发明涉及电子前驱体纯化领域，尤其涉及硅基前驱体的提纯方法及提纯系统，所述方法，包括以下步骤：（S.1）将吸附剂分散于离子液体中，得到吸附浆料；（S.2）将工业级硅基前驱体溶于吸附浆料中，使得工业级硅基前驱体与吸附剂相接触，从而使得工业级硅基前驱体中的金属离子杂质被吸附剂所吸附；（S.3）吸附结束后，对粗品硅基前驱体进行精馏，去除硅基前驱体中的轻组分以及重组分，得到电子级硅基前驱体。本发明通过改变硅基前驱体在提纯过程中的环境，有效将硅基前驱体与混杂在其中的金属离子杂质分离，从而有利于对于金属离子杂质的吸附，同时通过多种手段联用，提升了对于金属离子杂质的物理或化学吸附效果。
- 前驱提纯方法系统
- [发明专利]电子级三氯化硼的提纯方法-CN202211167206.4有效
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赵毅;赵银凤;刘颖;毕聪智;于颖
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大连科利德光电子材料有限公司
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2022-09-23
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2023-03-31
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B01J20/22
- 本发明涉及特种电子气体领域，尤其涉及电子级三氯化硼的提纯方法，其包括以下步骤：（S.1）将吸附组合物填充于吸附器中；（S.2）将吸附器抽负处理，除去吸附器中的空气，然后通入高纯三氯化硼气体；（S.3）向吸附器中通入三氯化硼原料气，使得三氯化硼原料气与所述吸附组合物接触，收集从吸附器中流出的气体，得到电子级三氯化硼气体。本发明能够有效将氯化氢杂质与三氯化硼之间形成的配位作用消除，从而提高了对于三氯化硼的吸附提纯效果，同时通过本发明中的吸附组合物能够对杂质气体起到优良的吸附效果，经过简单的吸附处理后的三氯化硼中杂质气体的浓度能够降低至ppb级别。
- 电子氯化提纯方法
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