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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种光刻机用晶圆片匀胶装置-CN202022435138.8有效
  • 卫广连;叶东国;付志江 - 大连榕树光学有限公司
  • 2020-10-28 - 2021-07-16 - G03F7/16
  • 本实用新型涉及晶圆片光刻技术领域，公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台，所述工作台的左端固定安装有控制开关，所述控制开关的内部设置有PLC控制器，所述工作台的上端中部固定安装有收集罩，所述工作台的内腔上端中部固定安装有电机，所述电机的上端设置有传动杆，所述电机的电机轴输出端与传动杆传动连接，所述传动杆贯穿工作台和收集罩固定连接有真空吸盘，所述收集罩的内腔下端中部设置有密封圈。本实用新型通过设置的收集罩、橡胶条、电机、传动杆、真空吸盘、密封圈、直杆、液位传感器、排液管和喇叭，解决了光刻胶污染工作环境，增加二次清理麻烦的问题，较为实用，适合广泛推广与使用。
  • 一种光刻机用晶圆片匀胶装置
  • [实用新型]一种光刻机用硅片盛放盒-CN202022440767.X有效
  • 高岩;叶东国;付志江 - 大连榕树光学有限公司
  • 2020-10-28 - 2021-07-16 - H01L21/673
  • 本实用新型涉及硅片生产技术领域，公开了一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体前后两壁内侧均开设有滑槽，所述盒体内设置有若干组均匀阵列的活动板，所述活动板前后两侧中部均固定设置有滑块，且滑块置于同侧的滑槽内，所述活动板左右两外壁均固定设置有海绵垫b，所述盒体底壁内表面固定设置有海绵垫a。本实用新型通过设置有活动板和螺杆，将多组硅片置于多组活动板一侧，可通过活动板的滑块在滑槽内横向水平移动，正反向转动螺杆，螺杆左移，并带动多组活动板朝向左侧移动，直至活动板挤压定位同侧的硅片，该方式无需逐一定位硅片，使硅片定位更便捷，且活动板可调移式设置，适用于不同厚度的硅片夹持，通用性强。
  • 一种光刻硅片盛放
  • [实用新型]柱形高压电极快速连接器-CN201720250539.1有效
  • 张赞秋;高岩;孟祥瑞;叶东国;张宁 - 大连榕树光学有限公司
  • 2017-03-15 - 2017-11-10 - H01R11/11
  • 一种柱形高压电极快速连接器，连接器本体分别连接高压电极和电缆，其中连接器本体包括带有槽的过度段和位于该过渡段前段的回转弯折段。回转弯折段的前段连接有一卡箍，回转弯折段的前段为收窄段，收窄段穿过本体上的槽形成回环。回转弯折段形成的回环直径小于柱形电极外壳的直径，在夹持状态下，通过外力增加回环的直径，套入外壳后，取消外力，回环直径缩小，回环夹持高压电极的柱形电极外壳，形成过盈配合，卡箍通过外力减少自身开合幅度从而与电缆形成过盈配合夹持电缆，使高压电极与电缆连接。
  • 高压电极快速连接器
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