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[发明专利]光学元件单元-CN202011463830.X在审
发明人： 大町修;出岛健志;九鬼润一 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明提供光学元件单元，即使在使用现有的固定器具的情况下也能够高精度地构建光学系统。光学元件单元包含：反射型的光学元件；以及支承体，其对光学元件进行支承，在将光学元件配置于光学系统的规定的位置时，利用固定器具固定该支承体。通过利用固定器具固定支承体，与利用固定器具直接固定光学元件的情况相比，缓和产生于光学元件的变形。
光学元件单元

[发明专利]光器件衬底的分割方法-CN201210238513.7有效
发明人：波多野雄二;星野仁志;大庭龙吾;大町修 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2012-07-10 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明提供光器件衬底的分割方法。在衬底的表面装配有光器件层的光器件衬底的分割方法中，包括：光器件衬底贴附步骤，将光器件衬底贴附于装配在环状框架的切割带的表面；块形成步骤，沿着通过光器件衬底的中央的第1分割预定线和第2分割预定线照射激光光线，将光器件衬底分割为至少4个块衬底；第1激光加工槽形成步骤，沿着形成于各块衬底的第1分割预定线照射激光光线，从而形成激光加工槽；以及第2激光加工槽形成步骤，沿着形成于各块衬底的第2分割预定线照射激光光线，从而形成激光加工槽，通过交替地实施第1激光加工槽形成步骤和第2激光加工槽形成步骤，沿着所有第1分割预定线和第2分割预定线切断各块衬底，分割为各个光器件。
器件衬底分割方法