“大泽瑞树”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法-CN201780046189.X有效
发明人：岩尾通矩;菊本宪幸;安田周一;藤田和宏;大泽瑞树;戎居博志 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-09-07 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：基板处理装置包括：基板保持单元，保持基板；处理液配管，与用以朝上述基板的主面喷出处理液的喷出口连通；处理液供给单元，用以对上述处理液配管供给处理液；抽吸单元，用以对存在于上述处理液配管的内部的处理液进行抽吸；以及控制装置，控制上述处理液供给单元及上述抽吸单元；上述控制装置执行：处理液供给步骤，通过上述处理液供给单元对上述处理液配管供给处理液以从上述喷出口喷出；及抽吸步骤，通过上述抽吸单元对存在于上述处理液配管的内部的处理液进行抽吸；上述控制装置在上述抽吸步骤中选择性地执行第1抽吸步骤与第2抽吸步骤，该第1抽吸步骤是抽吸处理液，使抽吸后的处理液的前端面配置于上述处理液配管的内部的预先设定的待机位置的步骤，该第2抽吸步骤是抽吸处理液，使处理液的前端面比上述待机位置后退的步骤。
处理装置以及方法

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201810648979.1有效
发明人： 大泽瑞树;戎居博志 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理装置具有：基板保持单元，保持基板；共用配管，与向被基板保持单元保持的基板的主面喷出处理液的喷出口连通；连接部，与共用配管连接，在内部具有用于液体流通的流通空间；药液供给配管，与连接部连接，向连接部供给药液；排出配管，与连接部连接，供从连接部排出的液体流通；清洗液供给配管，与连接部连接，向连接部供给清洗液，连接部具有沿着流通空间的流通方向排列的多个口，多个口连接有包括共用配管、药液供给配管、清洗液供给配管和排出配管的多个配管，多个口中的与共用配管的一端连接的共用口在流通方向上配置在，多个口中的与排出配管连接的排出口和多个口中的与清洗液供给配管连接的清洗液供给口之间。
处理装置方法

[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201880053240.4在审
发明人： 大泽瑞树;戎居博志 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种基板处理方法，包含：基板旋转工序，使被保持成水平的基板绕着在铅垂方向延伸的旋转轴线旋转；对向构件配置工序，使从上方与所述基板对向且包含了具有在俯视观察时围绕所述基板的内周面的延伸设置部的对向构件配置于以下位置：所述延伸设置部的内周面从以所述旋转轴线作为中心的径向的外方与所述基板对向的位置；对向构件旋转工序，使所述对向构件绕着所述旋转轴线旋转；处理液供给工序，对旋转状态的所述基板的上表面供给处理液；以及防护罩配置工序，根据所述处理液对于所述延伸设置部的内周面的亲和性，将防护罩配置于承接从所述基板的上表面朝向所述径向的外方飞散的所述处理液的高度位置，所述防护罩在俯视观察时在所述延伸设置部的所述径向的外方围绕所述基板。
处理方法以及装置