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[发明专利]太阳能电池的制造方法和制膜装置-CN201180035025.X有效
发明人：三田怜;高桥光人;桥上洋;村上贵志;月形信太郎;渡部武纪;大塚宽之 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-07-12 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，对半导体基板，在电极形成工序之前实施退火工序。根据本发明，通过如上所述实施退火，能够不损害可靠性和外观，改善太阳能电池的电气特性。因此，可以广泛地利用于具有高电气特性和可靠性的太阳能电池的制造方法。
太阳能电池制造方法装置

[发明专利]热处理炉-CN201180035789.9有效
发明人：村上贵志;渡部武纪;大塚宽之 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：这里公开的热处理炉，用于半导体基片的热处理步骤中，其特征在于提供了柱形芯管，该柱形芯管的两端部有开口，该开口的尺寸设置成允许半导体基片插入芯管和从芯管中取出。这在连续的半导体热处理过程中减少了在批次之间的等待时间，从而提高生产率。而且，使用芯管结构的简单柱形降低了气体引入管部分失效的频率，从而降低了热处理方法的运行成本。
热处理

[发明专利]用于烧制太阳能电池元件电极的燃烧炉、制造太阳能电池元件的方法和太阳能电池元件-CN201180036171.4有效
发明人：三田怜;渡部武纪;大塚宽之 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：公开了一种燃烧炉，用于烧制太阳能电池元件的电极，所述燃烧炉设置有：传送部件，其传送有导电膏涂于其上的衬底；加热区，其加热衬底并且烧制导电膏；以及冷却区，其冷却热衬底。该燃烧炉还设置有用于加热传送部件的加热装置。具体地，在使用线材型燃烧炉烧制导电膏时，由于线材是在基本等于加热区周围温度的温度上被烧制的，因此抑制了由于导电膏金属成分的沉积材料引起的电极损坏，所述沉积材料被沉积在线材上，以及所述线材型燃烧炉可以被连续使用。
用于烧制太阳能电池元件电极燃烧制造方法

[发明专利]太阳能电池、其制造方法及太阳能电池组件-CN201080050384.8有效
发明人：桥上洋;渡部武纪;大塚宽之 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2010-05-24 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： H01L31/068 文献下载
摘要：本发明公开了太阳能电池，其包括：具有受光面和非受光面的半导体基板；形成于半导体基板上的pn结；形成于受光面和/或非受光面上的钝化层；以及形成于受光面和非受光面上的电力提取电极。太阳能电池的特征在于，钝化层包括具有40nm或更少厚度的氧化铝膜。由于在基板表面上形成具有预定厚度的氧化铝膜，可以仅通过作为传统技术的烧成导电性糊获得优异的钝化性能以及在硅和电极之间的优异的电接触。此外，可省去过去为获得氧化铝膜的钝化效果所必需的退火步骤，由此显著地降低成本。
太阳能电池制造方法组件

[发明专利]太阳能电池模块-CN201080011928.X有效
发明人：村上贵志;大塚宽之;渡部武纪;石川直挥 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2010-02-17 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H01L31/042 文献下载
摘要：本发明公开一种太阳能电池模块，在该太阳能电池模块中交替地提供了：装有具有受光面和非受光面的第一导电性基板，以及分别形成于受光面和非受光面上的具有互不相同的极性的电极的第一太阳能电池；以及装有具有受光面和非受光面的第二导电性基板，以及分别形成于受光面和非受光面上的具有互不相同的极性的电极的第二太阳能电池。
太阳能电池模块

[发明专利]扩散用磷糊料和利用该磷糊料制造太阳能电池的方法-CN200980114553.7有效
发明人：月形信太郎;松冈敏文;山本谦儿;植栗丰敬;石川直挥;大塚宽之 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2009-03-18 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： H01L21/225 文献下载
摘要：公开了扩散用磷糊料，其用于通过丝网印刷在基板上的扩散用磷糊料的连续印刷。该扩散用磷糊料不经历环境湿度对粘度的显著影响，甚至在长时间连续印刷后没有增粘的可能性。将扩散用磷糊料通过丝网印刷涂布在基板上，以在基板上形成扩散层。扩散用磷糊料包括作为用于扩散层的掺杂剂的含磷掺杂剂、含有机粘合剂和固体物质的触变剂、和有机溶剂。掺杂剂是有机磷化合物。
扩散糊料利用制造太阳能电池方法

[发明专利]丝网印刷法-CN201010116537.6有效
发明人：三田怜;大塚宽之;坂井郁夫;阿部贤治;石川直挥 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2010-02-10 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及丝网印刷法。本发明提供了一种用于改善多个丝网印刷步骤期间的精度的方法。在将第一层和对准标记印刷在工件上之后，用照相机来形成所述对准标记的图像，以便将该对准标记作为图像数据存储在被配置为传输基准数据以供后续印刷的图像处理装置中，并且使用所述图像数据来更新图像处理装置中的基准数据。
丝网印刷

[发明专利]半导体基板、形成电极的方法、及太阳能电池的制造方法-CN200780032273.2有效
发明人：石川直挥;生岛聪之;大塚宽之;渡部武纪;斋须重德;植贾豊敬 -专利权人：信越半导体股份有限公司;信越化学工业株式会社
申请日： 2007-08-02 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明是一种半导体基板，是形成有电极的半导体基板，上述电极至少含有银与玻璃料，具有由第一电极层与上部电极层所构成的多层构造；该第一电极层直接接合于上述半导体基板上，该上部电极层被配置于该第一电极层上，且由一层以上所构成；上述上部电极层，是将银的总含有比例为75wt％以上95wt％以下的导电性浆料焙烧而成者，相对于上述上部电极层的银的总含量，平均粒径4μm以上8μm以下的银粒子的含有比例，高于上述第一电极层中的含有比例。藉此，可于半导体基板上，通过简便的方法形成具有高纵横比且难以引起断线等的不良情况的电极。
半导体形成电极方法太阳能电池制造

[发明专利]半导体基板和电极的形成方法以及太阳能电池的制造方法-CN200780028838.X有效
发明人：石川直挥;大塚宽之;渡部武纪;生岛聪之;植栗豊敬 -专利权人：信越半导体股份有限公司;信越化学工业株式会社
申请日： 2007-07-12 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：一种半导体基板和电极的形成方法以及太阳能电池的制造方法，该半导体基板是至少形成有电极的半导体基板，上述电极是具有二层以上的多层构造，上述多层构造之中，至少与上述半导体基板直接接合的第一电极层是至少含有银与玻璃料，以及含有钛、铋、锆、钒、铌、钽、铬、钼、钨、锰、铁、钴、镍、硅、铝、锗、锡、铅、锌的氧化物中的至少一种来作为添加物；形成于上述第一电极层上的电极层之中，至少与配线接合的最表层的电极层是至少含有银和玻璃料，而未含有上述添加物。借此，于半导体基板上形成一种电极，可减少接触电阻与配线电阻，且具有充分的与半导体基板接着的强度以及通过焊锡而与配线接着的强度。
半导体电极形成方法以及太阳能电池制造

[发明专利]网版印刷板和网版印刷装置-CN200680021527.6有效
发明人：生岛聪之;石川直挥;大塚宽之 -专利权人：信越半导体股份有限公司;信越化学工业株式会社
申请日： 2006-05-02 - 公布日： 2008-06-11 - 主分类号： B41N1/24 文献下载
摘要：一种网版印刷板(1)，其设有一开口部(2)，用以在网版印刷中将用以形成标的印刷图案(4)的印刷材料吐出至被印刷物上。该网版印刷板的特征在于：上述开口部(2)的大小，与上述标的印刷图案(4)相比有所缩小，且上述开口部(2)的开口端部(3)具有一与该标的印刷图案的形状不同的凹凸图案形状。因此，提供一种低成本高质量网版印刷板，可以控制网版印刷的印刷材料的渗漏，且即使是细微的图案，也能以高转印性来正确地印刷出标的印刷图案。
印刷装置

[发明专利]太阳能电池的制造方法和太阳能电池及半导体装置的制造方法-CN200680013998.2有效
发明人： 大塚宽之;高桥正俊;石川直挥;斋顺重德;植栗豊敬;生岛聪之;渡部武纪;赤塚武;大西力 -专利权人：信越半导体股份有限公司;直江津电子工业株式会社;信越化学工业株式会社
申请日： 2006-04-11 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池的制造方法和太阳能电池及半导体装置的制造方法，该太阳能电池的制造方法是在第一导电类型半导体基板上形成PN结以制造出太阳能电池的方法，其特征为至少包含下列步骤：在该第一导电类型半导体基板上，涂布含有掺杂剂与掺杂剂飞散防止剂的第一涂布剂、以及至少与该第一涂布剂连接且含有掺杂剂的第二涂布剂后，通过扩散热处理，同时形成第一扩散层以及第二扩散层；该第一扩散层由涂布该第一涂布剂形成；该第二扩散层由涂布该第二涂布剂形成且其导电率低于该第一扩散层。借此可一边得到欧姆接触一边通过抑制受光面的电极以外部分的表面再结合以及射极内的再结合，从而能提供太阳能电池的制造方法及其太阳能电池以及半导体装置的制造方法，可用简便容易的方法便宜地制造出提高光电转换效率的太阳能电池。
太阳能电池制造方法半导体装置

[发明专利]一种太阳能电池的制造方法以及太阳能电池-CN200680013914.5无效
发明人： 大塚宽之;石川直挥;高桥正俊 -专利权人：信越半导体股份有限公司;信越化学工业株式会社
申请日： 2006-04-07 - 公布日： 2008-04-16 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳能电池的制造方法及太阳能电池，该制造方法是于第一导电型半导体基板上形成pn结而制造出太阳能电池的方法，其特征为至少包含下列步骤：在第一导电型半导体基板上，涂布含有掺杂剂的第一涂布剂，然后同时形成一第一扩散层以及一第二扩散层；该第一扩散层是利用气相扩散热处理而形成于该第一涂布剂的涂布区域；该第二扩散层是利用气相扩散以连接第一扩散层的方式而形成，其导电率低于该第一扩散层。由此可一边得到欧姆接触一边通过抑制受光面的电极以外部分的表面再结合以及射极内的再结合，而能够提供一种太阳能电池的制造方法及太阳能电池，可以简便容易的方法便宜地制造出提高光电转换效率的太阳能电池。
一种太阳能电池制造方法以及

[发明专利]电极材料、太阳能电池及太阳能电池的制造方法-CN200580023942.0有效
发明人：石川直挥;生岛聪之;大塚宽之;狩野东彦;矢野政信 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2005-06-15 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明的电极材料，是至少含有银粉末、玻璃料和有机介质的电极材料，该电极材料的Ag含量，是75wt％以上95wt％以下，且该电极材料中的平均粒径0.5μm以上3μm以下的Ag粒子和平均粒径4μm以上8μm以下的Ag粒子的含量比(平均粒径0.5μm以上3μm以下的Ag粒子)∶(平均粒径4μm以上8μm以下的Ag粒子)＝20～80wt％∶80～20wt％。本发明的太阳能电池，是具有以此电极材料所形成的电极的太阳能电池。藉此，可以提供一种电极材料，能稳定地充填至已经形成于半导体基板上的电极槽内，并容易形成线宽细且电阻损失小的电极；以及提供一种高输出的太阳能电池，具有以该电极材料所形成的电极。
电极材料太阳能电池制造方法

[发明专利]太阳能电池及其制造方法-CN200480012530.2有效
发明人：高桥正俊;大塚宽之;松村英树;增田淳;和泉亮 -专利权人：信越半导体株式会社;信越化学工业株式会社;国立大学法人北陆先端科学技术大学院大学
申请日： 2004-03-29 - 公布日： 2006-06-07 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：在太阳能电池(100)中，具有半导体太阳能电池衬底(66)，在该半导体太阳能电池衬底(66)中，其第1主表面上形成感光面，并且基于照射到该感光面的光，产生光电动势，上述半导体太阳能电池衬底(66)的感光面被感光面侧绝缘膜(61)覆盖，该感光面侧绝缘膜(61)是由阳离子成分的主体为硅的无机绝缘材料形成的，该感光面侧绝缘膜(61)由氧含量原子百分比小于10％的低氢含量的无机绝缘膜构成。由此，提供具有钝化效果优良，并且避免钝化效果伴随时间而变差的绝缘膜的太阳能电池。
太阳能电池及其制造方法

[发明专利]太阳能电池及其制造方法-CN200510116112.4有效
发明人：生岛聪之;大塚宽之;高桥正俊;渡部武纪 -专利权人：信越半导体株式会社;信越化学工业株式会社
申请日： 2002-03-19 - 公布日： 2006-05-31 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：根据本发明的第一方面的太阳能电池是采用硅单晶基片的OECO太阳能电池，其中每条凹槽的最小深度h总是满足关系式h≥W₁tanθ，此处θ代表沿着半导体单晶基片的厚度方向，当沿着垂直于各个凹槽纵方向的任意截面观看时，形成在一条在所有凹槽中具有最大深度凹槽的电极的低端部和没有在其上形成电极的同一凹槽的内侧面的上端部连接的一根直线，和垂直于厚度方向的参考线间的夹角，而W₁代表在凹槽的两个开口边缘间的距离。根据本发明的第二方面的制造太阳能电池的方法，在如下描述的在从硅单晶锭上切割的p型硅单晶基片的第一主表面上形成许多凹槽。首先，凹槽刻划刀片的刀口部分以一预定的高度，从工作台的平坦的基片进料表面上突出。p型硅单晶基片沿着基片进料表面朝着转动的凹槽刻划刀片移动，而保持其第一主表面与基片进料表面紧密接触。然后在凹槽的横着方向的如此刻划的凹槽内侧面的只有一侧上形成电极。
太阳能电池及其制造方法