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[发明专利]气体释放辊及其制造方法以及使用气体释放辊的处理装置-CN201980034578.X有效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明的技术课题是在不使用枪管钻加工的情况下能够在外周面附近的整个外周形成沿轴向延伸的多个气体导入路而且能够良好地保持对热负荷的冷却性能。本发明的解决手段是一种气体释放辊，其具有：金属制内辊(2)，在端部具有旋转轴；圆筒状的金属制外辊(3)，安装于内辊(2)的外周面而一体化；气体导入用槽(4)，形成为在内辊(2)的外周面的整个外周沿着该内辊(2)的圆周方向隔开大致相等的间隔且沿着内辊(2)的旋转轴方向延伸，在与外辊(3)的内周面之间划分气体导入路(5)；以及气体释放孔(6)组，以贯穿气体导入路(5)的方式形成于外辊(3)，气体导入路截面的圆周隔断率A为36％以下、或者气体导入范围的空隙率B为20％以下。
气体释放及其制造方法以及使用处理装置

[发明专利]光学膜、溅射靶以及光学膜的成膜方法-CN202080077867.0在审
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明提供能简便求出成膜条件的光学膜(含有铯、钨以及氧的复合钨氧化物膜)、溅射靶以及成膜方法。本发明的光学膜在可见光波长区域具有透过性、在近红外波长区域具有吸收性、并且具有电波透过性，所述光学膜含有铯、钨以及氧，300nm的折射率n和消光系数k以及按每200nm划分400nm～2400nm的波长区域而确定的各波长[400nm、600nm、……2400nm]的折射率n和消光系数k分别设定为将图1所示的光学常数波长分散图中的折射率的最大值和最小值图示化的“n‑最大值”和“n‑最小值”的范围内、以及将上述光学常数波长分散图中的消光系数的最大值和最小值图示化的“k‑最大值”和“k‑最小值”的范围内。
光学溅射以及方法

[发明专利]长条基板的处理装置和处理方法-CN201811480350.7有效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及在实施了热负荷的长条基板上不易产生褶皱、划痕等的长条基板的处理装置和处理方法。在将从放卷室(110)供给的长条基板(114)卷绕在成膜室(112)的筒辊(131)来实施溅射等的装置中，在筒辊的薄膜送入侧设置两组张力控制辊组(第一张力测量辊130和第一电机驱动辊129、以及第二张力测量辊127和第二电机驱动辊125)，在送出侧也设有两组张力控制辊组(第一张力测量辊132和第一电机驱动辊133、以及第二张力测量辊135和第二电机驱动辊137)，筒辊的送入进料张力和送出进料张力由上述两组张力控制辊组进行双级控制，因此能够使薄膜的张力控制准确，从而避免薄膜褶皱和划痕的产生。
长条处理装置方法

[发明专利]筒辊与长条基板处理装置-CN201880067481.4有效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2018-10-04 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊(56)的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，通过由具有滑动面的旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头(20)来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路(14)供给上述气体，所述筒辊的特征在于，通过嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)将设置于旋转环单元的滑动面的旋转开口部(23a)关闭从而防止从非缠膜部区域泄漏气体，并且所应用的圆弧状填料部件在与旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一面具有端部倾斜面(42b)。在按压填料部件的状态下将其固定时，通过上述端部倾斜面(42b)的作用从而避免填料部件端部的上浮。
长条处理装置

[发明专利]筒辊与长条基板处理装置以及长条基板处理装置的管理方法-CN201880068264.7有效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2018-10-04 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明的课题是提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，经由通过旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)，通过填料安装夹具(43)的活塞部件向旋转环单元的旋转开口部(23a)侧施力来安装，关闭旋转开口部从而防止从非缠膜部区域泄露气体。另外，活塞部件的活塞轴(91)的行程范围受到限制，即使圆弧状填料部件磨耗，由于活塞轴(91)的前端不会从旋转开口部侧突出，因此也能够防止旋转开口部的破损。
长条处理装置以及管理方法

[发明专利]光学膜、溅射靶以及光学膜的成膜方法-CN202080056223.3在审
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供要求简便的成膜条件的光学膜(含有铯、钨以及氧的复合钨氧化物膜)、溅射靶以及光学膜的成膜方法。本发明的光学膜在可见光波长区域具有透过性，在近红外波长区域具有吸收性，而且具有电波透过性，所述光学膜含有铯、钨以及氧，按每50nm划分300nm～1700nm的波长区域而确定的各波长[300nm、350nm、400nm、450nm、……1700nm]的折射率n和消光系数k分别设定为特定的数值范围内。
光学溅射以及方法

[发明专利]卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置-CN201780051663.8有效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山股份有限公司
申请日： 2017-08-23 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请提供一种可抑制成本并且对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理的卷对卷方式的长条基材的表面处理装置。一种表面处理装置，其具有：2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条树脂膜卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其以设置于与所述2个罐状辊的外周面对向的位置的磁控溅镀阴极为代表；且所述2个罐状辊中、除位于最上游侧的第1罐状辊以外的第2罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。
方式表面处理装置使用方法

[发明专利]带金属膜的树脂膜的制造装置和制造方法-CN201980071295.2在审
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C25D5/34 文献下载
摘要：本发明提供一种在金属种子层上通过湿镀法形成的金属膜不易产生针孔的带金属膜的树脂膜的制造装置和制造方法。本发明的带金属膜的树脂膜的制造装置的特征在于，具备：长条树脂膜放卷辊(600)，卷绕有使用真空成膜法成膜有金属种子层的长条树脂膜(601)，该长条树脂膜(601)的层间夹入有长条衬纸(603)；长条衬纸收卷辊(602)，从由所述放卷辊(600)放卷的长条树脂膜分离长条衬纸并将该长条衬纸收卷；湿镀槽(642)～(645)，将分离了长条衬纸的长条树脂膜搬入所述湿镀槽并在该长条树脂膜的金属种子层上形成金属膜；以及长条树脂膜收卷辊(641)，将形成有金属膜的长条树脂膜收卷，对分离了长条衬纸的长条树脂膜的金属种子层表面进行洗涤的大气压等离子体洗涤装置设置在上述放卷辊(600)与湿镀槽之间。
金属膜树脂制造装置方法

[发明专利]真空成膜装置和真空成膜方法-CN202010454239.1在审
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2020-05-26 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明的课题是提供难以在与冷却罐辊的外周面接触的长树脂膜表面等形成划痕的真空成膜装置和真空成膜方法。其特征在于，具备：将在卷出辊(110)卷绕的长树脂膜(1)卷出的卷出室(100)；在从卷出室供给的长树脂膜的第一面侧形成金属膜的成膜室(400)；以及将形成有金属膜的长树脂膜卷取到卷取辊(541)的卷取室(500)。成膜室具有将辊对辊搬送的长树脂膜卷绕到外周面并冷却的旋转驱动的冷却罐辊(431)，以及沿该冷却罐辊的外周面配置的施加热负荷的成膜机构(432)～(435)。在该真空成膜装置中，在上述卷出室与成膜室之间设置有使保护膜(301)在搬送中的长树脂膜的第二面侧重合从而使保护膜夹在冷却罐辊与长树脂膜之间的保护膜重合室(300)。
真空装置方法

[发明专利]电极基板膜及其制造方法-CN201580045979.7有效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明的课题在于，提供在对由金属制细线构成的电路图案进行加工时不会带来障碍并且在高亮度照明下也难以视觉辨认电路图案的电极基板膜及其制造方法。本发明的解决方案是一种电极基板膜，其具有透明基板(52)和金属制的层叠细线，其特征在于，层叠细线具有从透明基板侧开始计数的第一层的膜厚为20nm以上且30nm以下的金属吸收层(51)和第二层的金属层(50)，在可见光波长区域(400～780nm)的金属吸收层的光学常数为：在波长400nm的折射率为1.8～2.2，消光系数为1.8～2.4；在波长500nm的折射率为2.2～2.7，消光系数为1.9～2.8；在波长600nm的折射率为2.5～3.2，消光系数为1.9～3.1；在波长700nm的折射率为2.7～3.6，消光系数为1.7～3.3；在波长780nm的折射率为3.1～3.8，消光系数为1.5～3.4，由在透明基板与金属吸收层的界面反射导致的在可见光波长区域的最高反射率为40％以下。
电极基板膜及其制造方法

[发明专利]层叠体膜、电极基板膜和它们的制造方法-CN201580045991.8在审
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明的课题在于，提供一种即使在高亮度照明下也难以视觉辨认由金属制细线构成的电路图案的电极基板膜和用于所述电极基板膜的层叠体膜。本发明的解决方案是一种电极基板膜，其具有透明基板(52)和金属制的层叠细线，其特征在于，层叠细线的线宽为20μm以下，并且具有从透明基板侧开始计数的第一层的膜厚为20nm以上且30nm以下的金属吸收层(51)和第二层的金属层(50)，在可见光波长区域(400～780nm)的金属吸收层的光学常数为在波长400nm的折射率为2.0～2.2，消光系数为1.8～2.1；在波长500nm的折射率为2.4～2.7，消光系数为1.9～2.3；在波长600nm的折射率为2.8～3.2，消光系数为1.9～2.5；在波长700nm的折射率为3.2～3.6，消光系数为1.7～2.5；在波长780nm的折射率为3.5～3.8，消光系数为1.5～2.4，并且，由透明基板与金属吸收层的界面反射导致的可见光波长区域的平均反射率为20％以下，并且可见光波长区域的最高透光率与最低透光率的差为10％以下。
层叠电极基板膜它们制造方法

[发明专利]吸收型多层膜ND滤光片及其制造方法-CN200780001633.2无效
发明人： 大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2007-01-18 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：吸收型多层膜ND滤光片，在由树脂膜构成的基板的至少一个面上，具有交互层叠氧化物介电体膜层与吸收膜层而形成的吸收型多层膜，其特征在于，通过波长550nm的消光系数为0.005～0.05的SiCyOx膜(0＜y≤0.1、1.5＜x＜2)构成上述氧化物介电体膜层，该SiCyOx膜通过采用以SiC及Si作为主成分的成膜材料的物理气相生长法成膜；并且，通过波长550nm的折射率为1.5～3.0、消光系数为1.5～4.0的金属膜构成上述吸收膜层，该金属膜通过物理气相生长法成膜，同时，吸收型多层膜的最外层由上述氧化物介电体膜层构成。
吸收多层 nd 滤光及其制造方法

[发明专利]双向光通信模块-CN200710181425.7无效
发明人：饭田润二;渡边章夫;植村美喜男;大上秀晴 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2007-10-25 - 公布日： 2008-04-30 - 主分类号： H04B10/24 文献下载
摘要：一种双向光通信模块，具有发光元件(1)、光纤(8)、受光元件(9)及波长选择滤光器(4)，该发光元件用于射出发送信号光，发送信号光入射到该光纤中，从光纤射出的接收信号光入射到该受光元件中，而且，通过光纤发送发光元件射出的发送信号光，通过光纤接收接收信号光，其特征是具有光学元件(光隔离器)，该光学元件由反射型偏振器(6)、法拉第旋转器(5)和吸收型偏振器(3)构成，该反射型偏振器粘接在光纤端面，法拉第旋转器与反射型偏振器成一体设置，吸收型偏振器设置在发光元件和波长选择滤光器间的光路上，而且，反射型偏振器具有波长依赖性，即，反射型偏振器对发送信号光起偏振器的功能，而对接收信号光不会起偏振器的功能。
双向光通信模块

[发明专利]吸收型多层膜中性滤光片-CN200510108571.8无效
发明人： 大上秀晴;阿部能之;中山德行 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2005-10-12 - 公布日： 2006-05-31 - 主分类号： G02B5/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种将使透射光衰减的吸收型多层膜设置在薄膜基板上的吸收型多层膜ND滤光片，其特征在于，吸收型多层膜(13、16)是通过交替层叠由SiO₂、Al₂O₃或者这些等的混合物构成的电介质层(14、17)和由Ni单体或者Ni类合金构成的金属膜层(15、18)而形成的多层膜构成的，吸收型多层膜在基板的两面上分别形成，从而成为以基板为中心而相互对称的膜结构，并且，基板的弯曲的曲率半径被调整为大于等于500mm。
吸收多层中性滤光

[发明专利]吸收型多层膜ND滤光器-CN200510084879.3无效
发明人： 大上秀晴;阿部能之;中山德行 -专利权人：住友金属矿山株式会社
申请日： 2005-07-18 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： G02B5/22 文献下载
摘要：本发明涉及吸收型多层膜ND滤光器，该吸收型多层膜ND滤光器具有包括基板和、以镍(Ni)为主要成分的金属层和SiO₂、Al₂O₃或它们的混合物制成的电介质层在基板上交替层叠而形成的光学多层体的结构。在作为光衰减层的上述金属层上，由于使用了可视光区域中分光透射率的波长依赖性小的镍系金属材料，因此可以实现相对于波长能够获得平坦的透射率衰减的ND滤光器。
吸收多层 nd 滤光

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