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[发明专利]一种具有复合支撑层的MEMS红外光源及其制备方法-CN202211444594.6在审
发明人：刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明属于光电技术领域，具体涉及一种具有复合支撑层的MEMS红外光源及其制备方法。该MEMS红外光源包括衬底、支撑层、发热电极层、红外发射层；以及两条发热电极焊盘。其中，衬底中包含一个台体型的镂空结构；支撑层设于衬底上，并在衬底下方形成一个空腔结构以使得支撑部分悬浮。发热电极层位于支撑层上方，两条发热电极焊盘均位于发热电极层上，红外发射层位于发热电极焊盘内，并使得红外发射层的分布区域位于悬浮区内。支撑层采用由多个不同材质的结构层交替排列构成复合结构；在支撑层中与发热电极层相邻的结构层为介质层。本发明解决了现有衬底掏空型MEMS红外光源在光电性能、使用寿命，以及产品良率和成本等方面无法达到平衡的问题。
一种具有复合支撑 mems 红外光源及其制备方法

[发明专利]一种MEMS红外光源的制造方法-CN202211326807.5在审
发明人：刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明属于光电技术领域，具体涉及一种MEMS红外光源的制造方法。该制造方法用于制造一种衬底和支撑层之间含有特殊空腔和反射层的MEMS红外光源。包括如下步骤：(1)衬底的掩膜处理；(2)腐蚀窗口制备；(3)各向异性腐蚀；(4)反射层制备；(5)一次抛光；(6)牺牲层制备；(7)二次抛光；(8)支撑层制备；(9)发热电极层制备；(10)发热电极焊盘制备；(11)红外发射层制备；(12)移除窗口制备；(13)牺牲层去除。工艺原理是：先蚀刻凹坑，再用牺牲层填平凹坑，然后在平面上生成各功能层，最后开设连通凹坑的移除窗口，去除牺牲层，完成产品制造。本发明生产的产品可以解决现有MEMS红外光源光电转换效率不高、产品良率低等问题。
一种 mems 红外光源制造方法

[发明专利]一种抗热冲击的MEMS热电堆芯片-CN202211540019.6在审
发明人：侯海港;刘军林;乔冠军;刘桂武;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： H10N10/13 文献下载
摘要：本发明属于红外传感器技术领域，具体涉及一种抗热冲击的MEMS热电堆芯片。芯片包括由下至上叠层设置的衬底、支撑层、热电堆层和光学吸收层。热电堆层包括由多个彼此串联的热电偶依次排列进而构成一个双层的热电偶阵列，以及包裹在热电偶阵列外的隔离层。其中，每条热电偶的热结端均位于衬底的中央，形成热结区域；每条热电偶的冷结端均位于靠近衬底周向边缘的区域，形成冷结区域。热电堆中的冷结区域和热结区域均位于对应衬底中镂空部分的区域。各热电偶的冷结端距衬底实心区域距离相同。光学吸收层位于热电堆层上表面对应热结区域的位置。本发明解决了传统MEMS热电堆芯片在温度剧烈变化条件下容易发生热失衡和产生信号过冲现象的问题。
一种抗热冲击 mems 热电芯片

[发明专利]一种抗热冲击型MEMS热电堆芯片的制备方法-CN202211540022.8在审
发明人：侯海港;刘军林;乔冠军;刘桂武;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明属于红外传感器技术领域，具体涉及一种抗热冲击型MEMS热电堆芯片的制备方法。制备方法包括如下步骤：(1)衬底的预处理，(2)衬底的表面氧化，(3)支撑层的制备，(4)下层热电偶的制备，(5)第一隔离层的制备，(6)上层热电偶的制备，(7)电连接孔的制备，(8)电极的形成与连接，(9)第二隔离层的制备，(10)光学吸收层的制备，(11)衬底的局部镂空。制备出的热电堆芯片中，热电堆层中冷结区域和热结区域均处于悬浮的衬底镂空区域内。冷结区域呈环状排布，热结区域位于冷结区域内。各热电偶的冷结区域距衬底实心部分的距离相同。该方案可以克服传统MEMS热电堆芯片在温度剧烈变化条件下的热失衡和信号过冲问题。
一种抗热冲击 mems 热电芯片制备方法

[发明专利]一种光电转换效率提升的MEMS红外光源-CN202211310539.8在审
发明人：刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明属于光电技术领域，具体涉及一种光电转换效率提升的MEMS红外光源。该光源包括从下至上依次叠加的衬底、支撑层、发热电极层、红外发射层；以及与发热电极层电连接的两条发热电极焊盘。衬底的上表面设有向下凹陷的凹坑，凹坑包括一个水平的底面以及呈坡面状的侧壁。衬底呈四边固支结构与上方的支撑层相接，并在二者之间形成空腔结构。凹坑上口的围合区域位于两条发热电极焊盘的内侧，且沿发热电极焊盘的延伸方向上的分布区域超出发热电极焊盘的范围。支撑层中设有至少一个贯穿的牺牲窗口。凹坑底面和侧壁上设有完整的反射层。本发明解决了现有MEMS红外光源中衬底和反射层的结构设计可能造成的器件热容升高、抗逆性和耐用性较差等问题。
一种光电转换效率提升 mems 红外光源

[实用新型]一种能效与寿命均衡型MEMS红外光源的衬底结构-CN202223073241.8有效
发明人：刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及红外光源领域，特别是涉及一种能效与寿命均衡型MEMS红外光源的衬底结构。该衬底结构为MEMS光源的底部支撑结构，衬底结构包括衬底和支撑层；衬底的中央包含一个上下贯穿型的通孔；支撑层位于衬底上方并与衬底形成四边固支结构，进而使得衬底下方产生一个空腔。在支撑层中，位于空腔上方的部分区域形成悬浮区，悬浮区周围的区域为与衬底直接接触的承托区；发光结构中的红外发射层位于正对支撑层中悬浮区的位置。其中，支撑层采用由不同金属层和介质层按照预设数量和顺序交替排列构成复合结构；在支撑层中，与发热电极层相邻的结构层为介质层。本实用新型可以使得MEMS红外光源在光电转换效率、产品使用寿命和制造成本等方面实现平衡。
一种能效寿命均衡 mems 红外光源衬底结构

[实用新型]一种热电堆红外传感器及耐热冲击的非接触式测温枪-CN202223235613.2有效
发明人：侯海港;刘军林;乔冠军;刘桂武;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01J5/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及传感器领域，特别是涉及一种热电堆红外传感器及耐热冲击的非接触式测温枪。该传感器由敏感元件和信号放大电路封装而成。敏感元件为热电堆芯片，热电堆芯片包括由下至上叠层设置的衬底、支撑层、热电堆层和光学吸收层。热电堆层位于支撑层上方，包括由多个彼此串联的热电偶依次排列进而构成一个双层的热电偶阵列。在热电偶阵列中，每条热电偶的热结端均位于衬底的中央，形成热结区域；每条热电偶的冷结端均位于靠近衬底周向边缘的区域，形成冷结区域。测温枪中使用了改进型热电堆红外传感器。其中，热电堆中的冷结区域和热结区域均位于对应衬底中镂空部分的区域。本方案解决了传统红外温度计的测量精度受环境温度影响较大的问题。
一种热电红外传感器耐热冲击接触测温

[实用新型]一种MEMS红外光源的衬底结构-CN202222813687.3有效
发明人：刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军;郝俊操;夏松敏;陈杰 -专利权人：微集电科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源的衬底结构。该衬底结构为MEMS光源的底部支撑结构，包括衬底、支撑层以及发射层。衬底结构上负载MEMS光源的发光结构。其中，衬底上表面的中央设有向下凹陷的凹坑，凹坑包括一个水平的底面以及呈坡面状的侧壁。凹坑的上口至少完整覆盖上方的红外发射层。反射层完整覆盖在衬底中凹坑的内壁上；反射层用于反射2‑14微米波长的红外线。支撑层覆盖在衬底上表面，支撑层和衬底呈四边固支结构相接，二者之间形成空腔结构。支撑层中设有与下方的衬底中的凹坑连通的牺牲窗口；牺牲窗口与发热电极层相切或相离。本方案可以克服传统MEMS红外光源因底向热传导和红外辐射等造成的光电转换效率不高的问题。
一种 mems 红外光源衬底结构

[发明专利]自支撑石墨烯二氧化锰纳米线复合薄膜电极及其制备方法-CN202010685518.9有效
发明人：李年;夏松敏;陈杰;鞠宝钢 -专利权人：苏州碳素集电新材料有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C01B32/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种自支撑石墨烯二氧化锰纳米线复合薄膜电极及其制备方法。该制备方法包括：在工作电极和对电极之间施加电压一，使石墨箔膨胀，施加电压二使石墨烯剥离获得石墨烯薄片，然后多次洗涤和超声清洗，最后烘干以获得电化学剥离石墨烯；先将高锰酸钾与过硫酸钾溶解获得混合溶液，再进行水热反应，最后对产物清洗干燥后获得二氧化锰纳米线；先将电化学剥离石墨烯分散在溶剂中获得石墨烯溶液，再将二氧化锰纳米线分散在石墨烯溶液中获得混合液，然后抽滤去除溶剂获得复合膜，最后对复合膜干燥处理获得复合薄膜。本发明工艺简单，产率较高，复合薄膜电极具有较高的质量比电容、较好的面积比电容和优异的循环稳定性，很具有应用前景。
支撑石墨二氧化锰纳米复合薄膜电极及其制备方法

[实用新型]一种柔性水膜发生器-CN202021449238.X有效
发明人： 夏松敏;郝俊操 -专利权人： 夏松敏;郝俊操
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B08B3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种柔性水膜发生器，包括控制面板、限位柱和水膜发生器，所述控制面板的一侧设置有纯水发生器，且纯水发生器的底端设置有电源箱，所述电源箱靠近纯水发生器的外部一侧设置有管道，且管道的中部设置有水箱。该柔性水膜发生器，发热器模块架与压合固定螺旋管之间为焊接连接，且压合固定螺旋管呈螺旋状，发热器模块架和压合固定螺旋管及水膜发生器并形成封闭机械一体化，依靠外接电极板产生高热能，并传导给螺旋状的压合固定螺旋管及水膜发生器，使得带有一定温度和压力的预热水流流入柔性水膜发生器，实现功能，预热水流通过水膜发生器的特殊机械结构,该结构能破坏水珠的表面张力，最终形成多级分子面状水膜。
一种柔性发生器

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