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[发明专利]定位控制装置的扰动非干扰化补偿系统及元件安装机-CN201780088632.X有效
发明人： 城户隆志 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G05B11/32 文献下载
摘要：在分别通过二自由度控制系统来控制由多个驱动源(23、24)分别单独地加减速驱动的多个移动体(19、20)的定位控制装置(31)中，具备对于受到扰动的影响的一侧的移动体的F/B补偿器的输入和操作量进行该扰动的非干扰化补偿的扰动非干扰化补偿器(41、42)。各扰动非干扰化补偿器具备：二阶微分器，对产生扰动的一侧的移动体的位置指令值进行二阶微分而输出加速度指令值；第一乘法器，对上述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第一增益而输出对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的F/B补偿器的输入的校正量；及第二乘法器，对上述二阶微分器的输出即加速度指令值乘以第二增益而输出对于受到上述扰动的影响的一侧的移动体的操作量的校正量。
定位控制装置扰动干扰补偿系统元件装机

[发明专利]基板搬运装置及构成为包含该基板搬运装置的对基板作业系统-CN201480074035.8有效
发明人： 城户隆志 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2014-01-30 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H05K13/02 文献下载
摘要：基板搬运装置(24)构成为，具备用于搬运基板的一对传送带(64)及使被该一对传送带载置的基板上升的升降器(70、74、78)，在利用升降器使基板(S)上升的状态下，利用该一对传送带能够搬运其它的基板(S′)。另外，对基板作业系统构成为包括以上述方式构成的基板搬运装置及对利用该基板搬运装置的升降器进行上升的基板进行作业的对基板作业装置。尽管是仅具备一个搬运通道的简单构造，也能够进行基板相对于其它的基板的超越，实现具有实用性的基板搬运装置、对基板作业系统。
搬运装置构成包含作业系统

[发明专利]直线电动机装置-CN201380081719.6有效
发明人：永田良;城户隆志;白川佳宏;黑野真树 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2013-12-20 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H02K41/03 文献下载
摘要：本发明涉及直线电动机装置，具备：沿移动方向延伸且具有磁铁的轨道部件；及以能够移动的方式装架于轨道部件且具有线圈的移动体，直线电动机装置向线圈通入电流而在线圈与磁铁之间产生移动方向上的推力，其中，具有线圈的移动体具有：磁屏蔽对象物，该磁屏蔽对象物需要缓和磁铁形成的磁场的影响；及磁屏蔽部件，该磁屏蔽部件由强磁性材料形成并对磁屏蔽对象物进行屏蔽以免受到磁场的影响，磁屏蔽部件具有：平行屏蔽板，在磁屏蔽对象物与磁铁之间与移动方向平行地配置；及垂直屏蔽板，与移动方向垂直地从平行屏蔽板的移动方向的前缘及后缘中的至少一方朝远离磁铁远离的方向配置。由此，对磁屏蔽对象物进行磁屏蔽以免受到磁铁形成的磁场的影响的效果比以往提高。
直线电动机装置

[发明专利]元件安装装置-CN201380074792.0有效
发明人：藤田政利;城户隆志;永田良;饲沼谅 -专利权人：富士机械制造株式会社
申请日： 2013-03-19 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。具有基台(41)；吸附头(60)，吸附元件并将元件安装到基板上；X、Y机器人，安装在基台(41)上并使吸附头(60)移动；加速度获取部件(90)，获取通过X、Y机器人使吸附头(60)移动时的、吸附头(60)部位的加速度。加速度获取部件(90)以能够与吸嘴(65)互换的方式安装在吸附头(60)上。
元件安装装置

[发明专利]能够推定需要维护部位的自动系统-CN201380078034.6有效
发明人：饲沼凉;藤田政利;永田良;城户隆志 -专利权人：富士机械制造株式会社
申请日： 2013-07-05 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：在包括控制对象装置和对控制对象装置进行控制的控制装置的自动系统中，能够高精度地推定控制对象装置的维护的需要与否、需维护部位。在自动系统中，将控制装置(100)设为自适应控制装置，该自适应控制装置包括位置控制系统(112)，输出对作为控制对象装置的驱动源的X轴马达(78)进行控制的控制指令；自适应辨识器(114)，基于控制指令和来自控制对象装置的控制对象输出来推定表示控制对象装置的状态的参数；及自适应补偿器(118)，基于由该自适应辨识器(114)推定出的参数，以无论参数的变化如何都使控制对象装置进行按照预定的工作的方式补偿从位置控制系统向控制对象装置的控制指令，并且该控制装置(100)包括维护需要与否判定部(130)，该维护需要与否判定部(130)基于由自适应辨识器(114)推定出的参数，来推定控制对象装置的维护的需要与否及需维护部位。
能够推定需要维护部位自动系统

[发明专利]干扰力补偿控制装置-CN201210055679.5有效
发明人：饲沼谅;藤田政利;名桐启祐;永田良;城户隆志;岩崎诚 -专利权人：富士机械制造株式会社;国立大学法人名古屋工业大学
申请日： 2012-03-05 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本发明提供一种干扰力补偿控制装置，其能够通过高精度地算出因活动部间产生的摩擦力引起的干扰力，而利用高精度的扰动估计，进行高精度的定位。基于在连接设置的第一活动部(10)和第二活动部(20)之间产生于活动部彼此的滑动面间的活动部间摩擦力设定干扰力模型。基于对于驱动第一活动部(10)的第一促动器(30)的第一目标位置指令值算出第一基准推力指令值。基于对于驱动第二活动部(20)的第二促动器(40)的第二目标位置指令值和干扰力模型，算出由于活动部间摩擦力的影响而因第二活动部(20)的动作对第一活动部(10)的动作作用的第一干扰力。而且，通过将第一基准推力指令值和第一干扰力相加算出第一补偿推力指令值，基于第一补偿推力指令值控制第一促动器(30)。
干扰补偿控制装置