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[发明专利]温度控制装置和调温装置-CN202080003136.1有效
发明人： 坂井清一郎;酒井胜敏 -专利权人：伸和控制工业股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： F25B1/00 文献下载
摘要：提供温度控制装置，即使在调温对象部位的数量增加的情况下，也能够更适当地控制温度。本发明是在具有制冷剂回路的调温装置中用于对调温对象装置中的调温对象部位的温度进行控制的温度控制装置，其中，温度控制装置的通信模块构成为，将经由现场网络周期性地接收的的通信帧中所包含的各个调温对象部位的目标温度信息存储在存储器的规定的位置，温度控制装置的运算模块接收每个调温对象部位的目标温度信息，并且从与各个调温对象部位对应的各个温度传感器接收表示第2制冷剂的当前温度的制冷剂温度信息，根据接收到的目标温度信息和制冷剂温度信息，以使各个调温对象部位成为接收到的目标温度信息所示的目标温度的方式来分别计算用于调节对应的每个控制阀的开度的控制参数。
温度控制装置调温

[发明专利]状态监视装置、状态监视方法和程序-CN201880003970.3有效
发明人： 坂井清一郎;猶原康宏 -专利权人：伸和控制工业股份有限公司
申请日： 2018-05-28 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：高效且高精度地判定连续检测出的信息的异常或异常的前兆。本发明的状态监视装置具有：信息取得部，其取得连续检测出的检测信息；图像数据生成部，其将检测信息按照规定的时间间隔使用帧(F)进行划分，将横轴作为时间轴，并将纵轴作为表示检测信息的大小或量的轴，以帧(F)单位生成表示帧(F)内的多个检测信息的分布的二维图像数据；以及状态检测部，其执行基于依次生成的二维图像数据的机器学习，生成用于判定二维图像数据是否表示异常或异常的前兆的正确标签，在生成了与正确标签相符的二维图像数据时，判定为发生了异常或异常的前兆。
状态监视装置方法程序

[发明专利]等离子体处理装置用制冷装置-CN201680001516.5有效
发明人：关笃史;坂井清一郎 -专利权人：伸和控制工业股份有限公司
申请日： 2016-06-09 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供等离子体处理装置用制冷装置，即使在工作对象的等离子体处理装置中的试样的表面积大、兼作试样台的下部电极为大型的情况下也能高精度地进行保温控制，能够使试样以所要求的精度均匀地蚀刻。在该制冷装置中，在将包括加热装置的制冷剂循环所连接的等离子体处理装置(400)应用的结构中，以能够形成分支的方式将制冷剂流路附设在兼作应对试样(404)的表面积大时的大型试样台的下部电极(403)，在连接于制冷剂循环的下部电极制冷剂管的对下部电极(403)保温的保温部的制冷剂流路附近设置温度传感器，针对温度传感器检测的下部电极制冷剂管制冷剂检测温度进行包括比例、积分、微分的PID运算，控制装置将基于PID运算结果生成的加热调整控制信号发送到加热装置，进行使下部电极制冷剂管制冷剂检测温度变成设定温度的反馈控制。
等离子体处理装置制冷