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[发明专利]一种半导体硅晶圆制造加工系统及加工工艺-CN202110840199.9有效
发明人：张金裕 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-07-24 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体硅晶圆制造加工系统及加工工艺，通过设有的工作台、支撑板、固定装置和匀胶装置协同完成晶圆制造加工时的涂胶工作。本发明提供的一种半导体硅晶圆制造加工系统及加工工艺，可以解决现有晶圆制造加工系统对晶圆表面涂抹光刻胶时，通常现有晶圆制造加工系统直接对光刻胶进行涂胶处理，没有对涂胶后的光刻胶进行涂匀处理，使得晶圆表面的光刻胶涂抹不均匀，导致晶圆表面的光刻胶存在突起、微纹和划痕以及现有晶圆制造加工系统直接对光刻胶进行涂匀时，难以将堆积的光刻胶及时摊开、涂匀，使得光刻胶涂匀过程时间较长，降低晶圆制造效率等问题。
一种半导体硅晶圆制造加工系统工艺

[实用新型]一种便于定位调整的硅片吸盘结构-CN202320776201.5有效
发明人：孔剑雷;吕群锋;施鲁鸣;胡丹辉 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及太阳能硅片制造领域，尤其是一种便于定位调整的硅片吸盘结构。便于定位调整的硅片吸盘结构，包括吸盘底座和设置于吸盘底座的吸盘片体，吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道A；吸盘底座顶部开设有与气道A连通的气道B；吸盘底座底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座的安装孔；吸盘底座底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的定位孔组；单个定位孔组中至少包含有两个定位孔；定位孔组中的两个定位孔分别位于吸盘底座底面宽度方向的周侧；单个定位孔设置有调位螺栓。本申请可通过调位螺栓较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率。
一种便于定位调整硅片吸盘结构

[实用新型]一种低成本的硅片吸盘单元结构-CN202320824895.5有效
发明人：孔剑雷;吕群锋;施鲁鸣;胡丹辉 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及太阳能硅片加工技术领域，尤其是一种低成本的硅片吸盘单元结构。一种低成本的硅片吸盘单元结构，包括吸盘底座和吸盘片体，所述吸盘片体包括吸嘴组件，所述吸嘴组件包括陶瓷吸嘴和连接于陶瓷吸嘴的吸管组件，所述吸管组件一端连通于陶瓷吸嘴，另一端连通于吸盘底座；所述吸管组件包括吸管主体、吸管胶封接头和螺纹连接头，吸管主体一端的吸管胶封接头胶接且密封连通于陶瓷吸嘴，所述吸管主体另一端连接螺纹连接头，螺纹连接头与吸盘底座密封且螺纹连通。本申请所制备的硅片吸盘单元片成本相对较低且也便于批量化加工生产。
一种低成本硅片吸盘单元结构

[发明专利]一种轻质化的硅片批量吸取装置-CN202310294342.8在审
发明人：孔剑雷;吕群锋;施鲁鸣;胡丹辉 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及太阳能硅片加工设备技术领域，尤其是一种轻质化的硅片批量吸取装置。一种轻质化的硅片批量吸取装置，包括紧固基座和若干连接于紧固基座的硅片吸盘片，所述硅片吸盘片包括吸盘底座和可拆卸连接于吸盘底座的硅片吸盘单元件，所述吸盘底座为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件为碳纤维材质；所述紧固基座可拆卸连接有若干固定杆件；所述固定杆件连接有总气管；单个所述硅片吸盘片均与总气管相连通。本申请整体的质量相对较轻盈，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
一种轻质化硅片批量吸取装置

[实用新型]一种可调顶齿组件-CN202222679245.4有效
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及光伏生产设备技术领域，尤其是一种可调顶齿组件。一种可调顶齿组件，包括安装底座和多个顶齿安装槽，相邻顶齿安装槽的间距相等；安装底座内固定连接有顶齿，顶齿固定于顶齿安装槽内，安装底座上表面沿自身长度方向垂直一体成型有调距片；调距片与顶齿侧面之间形成调整空隙；调距片贯穿开设有若干调整螺纹孔；调整螺纹孔的数量等于顶齿数量的两倍；调整螺纹孔螺纹连接有锥头紧定螺丝；顶齿周侧一体加工形成有倒角；顶齿一周侧上的两个倒角分别与锥头紧定螺丝的锥头面抵接，通过拧紧或拧松调整螺纹孔，调整相邻所述顶齿的间距。本申请可实现快速且高效调整相邻顶齿的间距，使其符合相邻顶齿间距的要求，有效提升生产效率。
一种可调组件

[发明专利]一种光伏电池片用多片式吸盘组的吸盘结构-CN202211135626.4在审
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及光伏生产制备技术领域，尤其是一种光伏电池片用多片式吸盘组的吸盘结构。一种光伏电池片用多片式吸盘组的吸盘结构，包括吸盘本体，所述吸盘本体内部形成有吸气通道；所述吸盘本体表面开设有至少两个吸气孔区；所述吸气孔区与吸气通道连通；所述吸盘本体表面形成有用于导流杂质颗粒的避空槽；所述吸气孔区开设于避空槽内。本申请中采用的吸盘结构可有效导流消除杂质颗粒，进而降低电池片的划伤概率，进而提升光伏电池的质量。
一种电池片用多片式吸盘结构

[发明专利]一种便于组装、拆卸维护的吸盘组件-CN202210429596.1在审
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及光伏生产制备技术领域，尤其是一种便于组装、拆卸维护的吸盘组件。一种便于组装、拆卸维护的吸盘组件，包括吸盘盖体、吸盘安装体、压条组合件和吸盘机构，吸盘机构包括多个陶瓷吸盘件，压条组合件包括多根压条；陶瓷吸盘件可拆卸且固定连接于吸盘安装体；吸盘盖体为吸盘机构供气，吸盘机构通过陶瓷吸盘件吸取硅片；吸盘安装体开设有压条安装槽；压条安装槽的高度是压条高度的1.01.‑1.05倍；压条长度方向的另一侧面垂直开设有螺纹孔；螺纹孔内螺纹连接有尖头螺丝；压条上表面垂直开设有直孔；直孔内设置有抵接于吸盘安装体的球珠，使得吸盘机构固定且密封连接于吸盘安装体。本申请具有组装、拆卸维护较为省时省力的优点。
一种便于组装拆卸维护吸盘组件

[实用新型]一种快插式陶瓷顶齿的定位结构-CN202123363180.4有效
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型属于光伏领域。目的是提供一种快插式陶瓷顶齿的定位结构，该定位结构能够将顶齿快速准确地安装在插槽中，提高硅片的定位精度，保证硅片的合格率。技术方案是：一种快插式陶瓷顶齿的定位结构，其中顶齿插接于安装座的插槽内，并且在顶齿的四个侧面中，垂直于顶齿厚度方向的两个侧面分别为第一侧面和第二侧面，平行于顶齿厚度方向的两个侧面分别为第三侧面和第四侧面；其特征在于：该定位结构包括设置在安装座上的弹性件；所述弹性件与顶齿抵顶连接，使得顶齿的第二侧面与插槽内壁紧密贴合。
一种快插式陶瓷定位结构

[实用新型]吸盘加工用固定装置-CN202122531718.1有效
发明人：施鲁鸣;吕群峰 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型属于吸盘加工设备技术领域，公开了吸盘加工用固定装置，其技术要点是：包括固定板和吸盘本体，所述吸盘本体内部设置有电磁线圈，所述固定板底壁开设有放置槽，所述吸盘本体设置于放置槽内，所述固定板内部设置有固定机构，所述固定机构包括有卡接部与调节部，所述卡接部位于放置槽侧壁四周并且与吸盘本体相连接，所述调节部位于固定板内并且与卡接部相连接，所述吸盘本体表面设置有辅助夹持机构，所述辅助夹持机构包括有夹持板与移动部，多组所述夹持板围绕吸盘本体表面呈环形分布，所述移动部位于吸盘本体内部并且与夹持板相连接。
吸盘工用固定装置

[实用新型]陶瓷零件加工模具-CN202122508818.2有效
发明人：施鲁鸣;吕群峰 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B28B7/42 文献下载
摘要：本实用新型属于模具设备技术领域，公开了陶瓷零件加工模具，其技术要点是：包括工作台，所述工作台表面开设有放置槽，所述放置槽内放置有定模，所述定模顶部设置有动模，所述放置槽侧壁设置有与定模相互连接的缓冲组件，所述工作台内部设置有与定模相互配合的振动机构，所述定模侧壁设置有与动模相连接的调节机构，所述调节机构包括有固定组件与升降组件，所述固定组件与定模相连接，所述升降组件与动模相连接，所述定模与动模内部设置有冷却机构。
陶瓷零件加工模具

[实用新型]陶瓷分片板切割装置-CN202122681953.7有效
发明人：施鲁鸣;吕群峰 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B28D1/22 文献下载
摘要：本实用新型属于陶瓷板切割技术领域，公开了陶瓷分片板切割装置，其技术要点是：包括工作台，所述工作台表面固定安装有立杆，所述立杆表面连接有支架，所述支架远离立杆的一端设置有切割线，所述切割线连接有驱动件，所述工作台表面设置有固定机构，所述固定机构包括有移动部、承载板与限位组件，所述移动部包括有横移组件与纵移组件，横移组件与纵移组件相连接，所述纵移组件与限位组件分别与承载板相连接，所述立杆表面设置有与支架相连接的旋转组件。
陶瓷分片切割装置

[发明专利]一种硅片加工用转运装置-CN201911394305.4有效
发明人：杨兆安 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片加工用转运装置，包括底座，所述底座顶部外壁安装有等距离分布的存放壳体，且存放壳体两侧外壁均安装有固定块，两个所述固定块相对的一侧外壁转动连接有同一个双向丝杆，所述双向丝杆圆周外壁两侧均通过螺纹转动连接有第一滑动块，且第一滑动块两端外壁均安装有储存壳体，储存壳体底部内壁安装有橡胶垫，所述橡胶垫顶部外壁安装有等距离分布的隔板，且相邻两个隔板相对的一侧外壁顶部均铰接有挤压板。本发明中，通过设置有双向丝杆、第一滑动块、固定块和隔板，能够快速将储存壳体移动，方便将其进行存放，通过将硅片插入挤压板之间，通过伸缩弹簧将其挤压，提高了固定速率，且避免了硅片移动过程中发生移动。
一种硅片工用转运装置

[实用新型]一种吸附太阳能硅片的吸盘-CN202121289810.5有效
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能硅片生产用具。目的是对现有太阳能硅片的吸盘进行了改进，改进后的吸盘应能有效解决盖板面因漏气而吸附硅片的问题，从而保证硅片在放置时顺利入位。技术方案是：一种吸附太阳能硅片的吸盘，包括第一侧面开设有气流槽的吸盘本体以及设置成平板状且盖合在吸盘本体的第一侧面以封闭气流槽的盖板；其特征在于：所述盖板上开设有若干吸附小孔，以便吸附太阳能硅片；所述吸附小孔的位置与气流槽的位置相对应。
一种吸附太阳能硅片吸盘

[实用新型]一种分体式陶瓷分片板组装结构-CN202121290108.0有效
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能硅片生产工夹具。目的是提供一种分体式陶瓷分片板组装结构的改进，改进后的分片板应能防止分片板本体与贴片之间发生晃动，从而避免打胶和除胶的工作量。技术方案是：一种分体式陶瓷分片板组装结构，包括分片板本体以及分别安装在分片板本体顶部且相互保持间距的两个贴片；两个贴片通过注塑形成的至少一个塑料铆钉固定在分片板本体上；所述分片板本体上开设有第一通孔；两个贴片上均开设有与第一通孔相对应的第二通孔；所述第一通孔和第二通孔相连通，以便分片板本体与两个贴片注塑铆接；其特征在于：所述第二通孔远离分片板本体一侧的开口，大于第二通孔靠近分片板本体一侧的开口；所述第一通孔和第二通孔垂直于孔深方向的截面图形中，其中一侧壁或者相互对应的两侧壁向中心方向延伸形成凸起。
一种体式陶瓷分片组装结构

[实用新型]一种分体式陶瓷分片板组装结构-CN202120246678.3有效
发明人：吕群锋;施鲁鸣;孔剑雷 -专利权人： 嘉兴市耐思威精密机械有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能硅片生产工夹具。目的是提供一种分体式分片板的改进，该分体式分片板应具有制作便利、工作效率高以及生产成本低的特点。技术方案是：一种分体式陶瓷分片板组装结构，包括氧化锆陶瓷制作的分片板本体以及安装在分片板本体上且与分片板本体保持间距的一个贴片，所述间距比所要插入的硅片厚度大0.05‑0.5mm；其特征在于：所述贴片通过注塑形成的至少一个铆钉固定在分片板本体上。
一种体式陶瓷分片组装结构

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