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- [实用新型]膜厚测量装置-CN202023137792.7有效
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邓罗泉;唐旱波;刘尧平;肖川;陈全胜;陈伟;杜小龙
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松山湖材料实验室
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2020-12-22
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2021-07-27
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G01B11/06
- 一种膜厚测量装置,属于光学领域。膜厚测量装置包括检测核心结构以及控制系统;检测核心结构包括:罩体、光源和相机,罩体具有第一容纳腔,第一容纳腔内具有用于容置膜的容置部;光源设置于第一容纳腔内,光源用于产生能够照射于容置部的光,相机具有能够转动的镜头,镜头位于来自膜的反射光的光路上以接收反射光并获得对应的二维图像;控制系统用于根据数学模型计算并获得构成二维图像的像素对应的厚度值以及膜厚。过上述设置,操作方便且使用方便,检测速度快且测试面积大,重复性误差小,不容易产生较大的测量误差。
- 测量装置
- [实用新型]硅片反射率测量装置-CN201921394002.8有效
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陈全胜;唐旱波;刘尧平;王燕;杜小龙
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松山湖材料实验室
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2019-08-26
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2020-08-04
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G01N21/55
- 本实用新型公开了一种硅片反射率测量装置,其包括样品台、光源模块、光学镜头模块、数据采集模块和数据分析运算模块,样品台用于放置待测硅片样品;光源模块用于为放置在样品台上的硅片样品提供均匀的具有特定光谱的光源,光学镜头模块用于将经过硅片样品反射的光进行汇聚并过滤掉非反射光;数据采集模块用于将经过光学镜头模块汇聚的光信号转化为电信号,并输出结果。数据分析运算模块用于将数据采集模块的输出结果与标准样品的测试结果进行比对得出硅片样品的反射率。整体结构设计合理,省去传统分光装置,有效简化整体结构,硬件配置简单,易于实现,工作可靠性高,能精确、快速测量出硅片反射率,适用范围广,成本较低,利于广泛推广应用。
- 硅片反射率测量装置
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