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[实用新型]激光晶化装置-CN202222716620.8有效
发明人：柳憙官;具宰成;金德在;吴泳勳;吴瑜珍;林恩芝 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种激光晶化装置。一种激光晶化装置包括：激光发生器，生成并输出激光脉冲形态的输入光；前端光学系统，基于输入光输出中间光，包括通过变更输入光的偏振状态而生成中间光的偏振旋转器；光学系统，加工中间光而将所述中间光转换为输出光；载物台，用于安置目标基板，并且被输出光照射；第一监测部，通过测量从前端光学系统提供的输入光的脉冲来生成第一数据；第二监测部，通过测量中间光的脉冲来生成第二数据；以及控制部，通过比较第一数据和第二数据来控制激光发生器以及偏振旋转器中的至少一个。
激光化装

[发明专利]激光照射装置-CN201910121865.6有效
发明人：姜善美;朴瑞哲;申东勳;李洪鲁;金志桓;吴世旭;吴泳勳;刘光炫 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2019-02-19 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本申请提供一种激光照射装置。激光照射装置包括光学系统、密封箱和工艺腔，其中，所述光学系统包括多个透镜并且在由第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向构成的平面上产生长边位于所述第一方向上的矩形形态的激光束(BEAM)，并沿着与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向照射所述激光束，所述密封箱包括阻挡所述激光束在所述第一方向上的两个末端的光束切割器，并且所述工艺腔包括台，所述台支承被穿过所述光束切割器的所述激光束照射的被处理衬底。所述光束切割器包括比热为0.7J/g℃以上的材料。
激光照射装置