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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理装置、使用其测量排出量的方法和基板处理方法-CN201711476724.3有效
发明人：金载容;吴来泽;李泽烨 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置、使用其测量排出量的方法和基板处理方法。所述基板处理装置包括：壳体，其提供用于在其中执行基板处理工艺的空间；支撑单元，其在壳体内支撑基板并旋转基板；处理液喷嘴，其将处理液供应到位于支撑单元上的基板；和流量测量单元，其测量由处理液喷嘴排出的处理液的排出量，该流量测量单元包括：容器，其位于壳体的外部并具有容纳空间，容纳空间的上侧敞开并且在其内部容纳有从处理液喷嘴排出的处理液；测量构件，其被配置成测量容纳在容纳空间中的处理液的量；和排放管线，排放管线将容器中的处理液排出。
处理装置使用测量排出方法

[发明专利]基板处理系统-CN201710633490.2有效
发明人：李廷焕;吴来泽 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种基板处理系统。所述基板处理系统包括具有端口和索引机械手的索引单元，容纳基板的容器位于所述端口上；工艺执行单元，所述工艺执行单元具有用于处理基板的基板处理装置和用于转移基板的主传送机械手；和缓冲单元，所述缓冲单元布置在工艺执行单元和索引单元之间，并且在工艺执行单元和索引单元之间传送的基板暂时停留在所述缓冲单元中。索引机械手、基板处理装置、主传送机械手和缓冲单元中的每一个都包括与基板相接触以去除基板静电的导电部。
处理系统

[发明专利]处理液供应单元以及基板处理设备-CN201610547893.0有效
发明人： 吴来泽;李铉优 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：公开了一种基板处理设备。所述设备包括：支撑单元，所述支撑单元支撑基板；和处理液供应单元，所述处理液供应单元将处理液供应到所述基板上；其中，所述处理液供应单元包括：注射单元，所述注射单元将处理液供应到由所述支撑单元所支撑的基板上；罐，所述罐容纳处理液；管线，所述管线连接至所述罐；以及静电去除构件，所述静电去除构件去除处理液中的静电。
处理供应单元以及设备

[发明专利]臭氧水混合物供应设备和方法以及基材处理装置-CN200810172082.2有效
发明人： 吴来泽;金春植;裴正龙 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2008-10-29 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种臭氧水混合物供应设备和方法，以及从该设备接收臭氧水混合物以处理基材的基材处理装置。该臭氧水混合物供应设备包括混合管线和分配管线。该混合管线分别从处理液供应管线和臭氧水供应管线接收处理液和臭氧水，并混合处理液和臭氧水以产生符合预设浓度的臭氧水混合物。各分配管线将混合管线产生的臭氧水混合物分配到处理单元中。该混合管线包括混合阀和静态混合器。因此，使用直线混合方法产生并供应具有预设浓度的臭氧水混合物，而不需要诸如混合槽等混合容器。
臭氧混合物供应设备方法以及基材处理装置

[发明专利]基材处理设备以及清洁该基材处理设备的方法-CN200810148892.4有效
发明人：崔忠植;吴来泽 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2008-10-09 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基材处理设备和清洁该基材处理设备的方法。在该基材处理设备中，基材支撑件包括在其上安装基材的旋转头、转动连接件和供应溶液的供应管。该转动连接件接收由该供应管供应的溶液并将该溶液供应到该旋转头。该旋转头具有用于喷射该溶液的至少一个喷射孔，并在转动的同时轴向喷射该溶液。因此，基材支撑件可以向处理容器的内壁供应溶液，从而提高处理容器的清洁效率，并提高制造产率。
基材处理设备以及清洁方法

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