首页 在售
电子信息机械制造新型材料电气自动化新能源安全防护环保资源轻工纺织生物医药包装印刷海洋开发仪器仪表航空航天建材建筑农林牧业食品饮料采矿冶金家居用品化学化工交通运输橡胶塑料教育休闲其他
求购
电子信息机械制造新型材料电气自动化新能源安全防护环保资源轻工纺织生物医药包装印刷海洋开发仪器仪表航空航天建材建筑农林牧业食品饮料采矿冶金家居用品化学化工交通运输橡胶塑料教育休闲其他
查询 申请 展会 资讯 专利榜 企服商城 升级VIP
专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种光刻胶标识及光刻胶更换方法-CN202210889814.X在审
  • 吴承璋;赵弘文 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2022-07-27 - 2022-11-04 - G09F3/02
  • 本发明提供一种光刻胶标识及光刻胶更换方法，用于装光刻胶的第一、第二容器；第一容器的外表面设置有第一标识；第二容器的外表面设有第二标识；第一标识和所述第二标识共同组合构成第三标识；第三标识用于通过采集信息设备扫描该第三标识后，同时采集第一容器和第二容器内所装的光刻胶的信息，以更换光刻胶。本发明中光刻胶的条形码必须由两瓶光刻胶并列时,利用扫描枪扫描来读取光刻胶,此时该条形码信息可以同时提供新旧光刻胶的品名以及批次号信息，并且可以和新光刻胶的信息加以做比对,而在比对无误后，进行更换光刻胶，以达到正确的光刻胶瓶的更换。
  • 一种光刻标识更换方法
  • [发明专利]侦测光刻工艺制程异常的方法-CN202010877279.7有效
  • 吴承璋;周文湛 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2020-08-27 - 2022-08-09 - H01L21/66
  • 本发明公开了一种侦测刻蚀工艺制程异常的方法，先建立多个FEM(Focus and Energy Matrix)条件形成的待测结构的ADI CD及截面图像与AEI CD及截面图像相互对应构成的数据库，然后利用正常光刻工艺中量测的待处理晶圆的ADI CD及截面图像和数据库中的信息预测待处理晶圆的AEI CD及截面图像，根据预测结果可以在刻蚀工艺进行之前提前预测制程是否出现异常以及发生缺陷的可能性。本发明不需要对刻蚀工艺后的AEI CD进行实时在线测量，可以大幅减少实时检测的数据量，加快制程进度，而且可以根据预测结果及时确定制程发生异常并对发生异常的制程和产品进行及早修正，从而提高生产效率。
  • 侦测光刻工艺异常方法
  • [发明专利]晶圆加热装置及控制方法-CN202010610504.0在审
  • 吴承璋;赵弘文 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2020-06-30 - 2020-09-29 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种晶圆加热装置，其用于晶圆光阻加温制程，包括：可升降探针，其用于将被加热晶圆水平支撑在加热源上方，其能根据控制器指令靠近或远离加热源；温度传感器，其与加热晶圆设置在相同高度，其用于量测被测晶圆温度；控制器，其接收温度传感器量测数据控制可升降探针上升或下降，当温度传感器量测数据达到第一预设温度且停留第一预设时段则控制可升降探针下降，使加热晶圆靠近加热源，当温度传感器量测数据达到第二预设温度则控制可升降探针停止移动使晶圆停留第二预设时段。本发明还公开了一种用于晶圆多段加热控制方法令材料具有良好平坦度。本发明在加热过程中不需要使用光罩，在达到现有技术相同效果的同时能降低生产成本。
  • 加热装置控制方法
  • [发明专利]降低微负载效应的蚀刻方法-CN201510294310.3有效
  • 苏柏文;王志坚;吴承璋;谢昕佑;吕水烟 - 联华电子股份有限公司
  • 2015-06-02 - 2020-07-21 - H01L21/308
  • 本发明公开一种降低微负载效应的蚀刻方法，包含在一基底上分别形成一高密度结构和一低密度结构，之后形成一第一材料层覆盖高密度结构和低密度结构，并且部分的低密度结构由第一材料层曝露出来，然后形成一第二材料层覆盖第一材料层，然后蚀刻第二材料层，以移除位于高密度结构上的第二材料层和移除位于低密度结构上的部分的第二材料层，接着同时蚀刻位于高密度结构上的第一材料层以及位于低密度结构上的第二材料层，之后蚀刻位于高密度结构上和低密度结构上的第一材料层，使得高密度结构曝露出一第一部分，低密度结构曝露出一第二部分，最后移除第一部分和第二部分。
  • 降低负载效应蚀刻方法
  • [实用新型]组合螺钉及垫圈的专用机-CN94203770.7无效
  • 吴承璋 - 吴承璋
  • 1994-02-22 - 1994-12-28 - F16B35/00
  • 本实用新型涉及一种组合螺钉及垫圈的专用机，其特征在于设有一穿合机构及送料机构，穿合机构是由一转轮、从动轮及凸轮所组成，该送料机构分别将螺钉及垫圈注入穿合机构内，承载有螺钉及垫圈的转轮与相对位置设有推杆的从动轮进行同步旋转，推杆受凸轮的迫抵将螺钉推向垫圈结合再排出。本实用新型具有节省成本、工作效率高的功效。
  • 组合螺钉垫圈专用
  •  1 
  • 共 5 条
友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期
咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top