专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果28个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]分立式场氧结构的半导体器件的制造方法-CN201310025246.X在审
  • 许剑;何敏;章舒;罗泽煌;吴孝嘉 - 无锡华润上华半导体有限公司
  • 2013-01-23 - 2014-07-23 - H01L21/762
  • 本发明公开了一种分立式场氧结构的半导体器件的制造方法,包括:在晶圆表面生长缓冲氧化层;在缓冲氧化层上通过淀积形成氮化硅层;光刻定义出场区并蚀刻,去除场区上的氮化硅;对场区进行离子注入;生长场氧化层;剥除氮化硅层;对晶圆进行湿浸,去除缓冲氧化层和部分的场氧化层;重新在晶圆表面生长缓冲氧化层及在重新生长的缓冲氧化层上通过淀积形成氮化硅层;光刻定义出漂移区并蚀刻,去除所述漂移区上的氮化硅;对漂移区进行离子注入;生长漂移区氧化层。本发明在生长场氧化层完成后剥除氮化硅层,这时可以通过调整wet dip的量来优化场氧鸟嘴的长度,解决了场氧鸟嘴过长的问题。
  • 立式结构半导体器件制造方法
  • [发明专利]一种功率MOS器件结构-CN201210142749.0在审
  • 章舒;何延强;罗泽煌;吴孝嘉 - 无锡华润上华半导体有限公司
  • 2012-05-10 - 2013-11-13 - H01L29/78
  • 本发明公开了一种功率MOS器件结构,包括多个LDMOS基本单元和多个焊接垫;所述多个LDMOS基本单元并联,并与所述多个焊接垫通过金属电连接,以引出所述多个LDMOS基本单元的栅端、源端、漏端及衬底;其中,所述多个焊接垫正下方设有LDMOS基本单元;所述多个焊接垫包括厚度为3.5um至4.5um、线宽为1.5um至2.5um的单层金属。本发明将功率MOS器件中焊接垫以下的芯片面积充分利用,在不增加芯片总面积的前提下,增加了并联LDMOS基本单元的数量,可有效降低导通电阻。
  • 一种功率mos器件结构
  • [发明专利]半导体器件的制作方法-CN201110451716.X有效
  • 吴孝嘉;房世林;罗泽煌;陈正培;章舒;何延强 - 无锡华润上华半导体有限公司
  • 2011-12-29 - 2013-07-03 - H01L21/336
  • 本发明公开了一种半导体器件的制作方法。本发明涉及半导体制造领域,解决了现有技术中LDMOS漂移区氧化层边缘硅容易裸露导致LDMOS器件击穿的问题。本发明实施例提供的方案为:一种半导体器件的制作方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括LDMOS区和CMOS区;在所述半导体衬底上形成牺牲氧化层;去除所述牺牲氧化层;在经过牺牲氧化处理的所述半导体衬底上形成掩蔽层;利用所述掩蔽层作为掩膜,形成所述LDMOS的漂移区,然后在所述漂移区上方形成漂移区氧化层;去除所述掩蔽层。本发明实施例适用于BCD工艺等。
  • 半导体器件制作方法
  • [发明专利]一种CMOS场效应晶体管的制备方法-CN201110363052.1无效
  • 吴孝嘉;林峰;陈正培;钟海钰 - 无锡华润上华半导体有限公司
  • 2011-11-16 - 2013-05-22 - H01L21/8238
  • 本发明提供一种CMOS场效应管的制备方法,属于半导体制造技术领域。所述方法包括步骤:提供形成于CMOS栅介质层上的并用于形成CMOS的栅端的多晶硅层的晶片;通过第一光刻胶掩膜刻蚀所述多晶硅层形成CMOS的NMOS/PMOS的栅端、并以该第一光刻胶掩膜构图掺杂形成CMOS的NMOS/PMOS的源端和漏端;通过第二光刻胶掩膜刻蚀所述多晶硅层形成CMOS的PMOS/NMOS的栅端、并以该第二光刻胶掩膜构图掺杂形成CMOS的PMOS/NMOS的源端和漏端。该方法可以省去一个光刻步骤以及相应的光刻版,工艺过程相对简单,成本更低,并缩短了工艺时间,提高了生产效率。
  • 一种cmos场效应晶体管制备方法
  • [发明专利]半导体器件及其栅介质层制造方法-CN201110081949.5有效
  • 吴孝嘉;房世林;陈正培;杨育明;黄竹 - 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
  • 2011-04-01 - 2012-10-17 - H01L21/28
  • 本发明实施例公开了一种半导体器件及其栅介质层制造方法,该方法包括:提供基底,所述基底包括埋层、外延层、有源区;以具有下沉区图案的光刻胶层为掩膜,在所述基底表面内形成下沉区,所述下沉区与所述基底的其它区域具有不同的掺杂状态;采用湿氧工艺在基底表面上形成介质氧化层,所述介质氧化层覆盖于下沉区的部分为电容介质层,覆盖于有源区的部分为栅介质层。本发明利用在杂质浓度不同的区域,热氧化速度也不同的原理,使形成的覆盖于下沉区的电容介质层厚度大于栅介质层的厚度,从而减少了一次定义栅介质层区域的光刻过程,进而简化了工艺流程,降低了工艺成本,工艺复杂度降低了,器件的生产速度必然得到了提高。
  • 半导体器件及其介质制造方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top