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- [发明专利]感光性树脂组合物-CN201480042171.9有效
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布施好章;吉野利纯;小岛正幸;大崎真也;佐藤邦明
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日立化成株式会社
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2014-08-01
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2019-11-08
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G03F7/004
- 本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物、使用其的永久掩模抗蚀剂、以及具备该永久掩模抗蚀剂的印刷配线板,所述感光性树脂组合物能够形成抗蚀剂形状优异、分辨率优异的图案,并且能够形成除耐PCT性(耐湿热性)、耐回流性、电绝缘性(HAST耐性)和耐化学镀覆性以外,耐热性、耐溶剂性、耐化学试剂性(耐碱性、耐酸性)和密合性也优异的图案。解决课题的方法是一种感光性树脂组合物、使用其的永久掩模抗蚀剂和印刷配线板,所述感光性树脂组合物含有(A)酸改性含乙烯基环氧树脂、(B)光聚合引发剂、(C)含氮杂环化合物和(D)光聚合性化合物,该(C)含氮杂环化合物的平均粒径为0.01~10μm。
- 感光性树脂组合
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