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[发明专利]流体供给装置和流体供给方法-CN201880052011.0有效
发明人： 吉田俊英;皆见幸男;篠原努 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室(500)供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置(1)，其具有：冷凝器(130)，其用于使气态的二氧化碳冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的二氧化碳；以及阻尼部(10)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路(2)，用于抑制自泵(150)喷出的液体的周期性的压力变动，阻尼部(10)具有螺旋管(20)，该螺旋管(20)的两端部固定于预定的位置，并且该螺旋管(20)形成为供自泵(150)喷出的液体流通的螺旋状。
流体供给装置方法

[发明专利]流体供给装置和该装置的液体排出方法-CN201880052631.4有效
发明人： 吉田俊英;皆见幸男;篠原努 -专利权人：株式会社富士金;东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：提供一种能够防止因设置在主配管的各种设备发生冻结而产生故障的流体供给装置和适合该装置的液体排出方法。该流体供给装置具有：冷凝器(130)；贮存器(140)，其用于贮存流体；泵(160)，其用于朝向处理室(500)加压输送流体；主配管(2)，其连结贮存器(140)与泵(160)，用于利用在贮存器(140)贮存的液体的自重向泵(160)输送该液体；以及排出用配管(5)，其一端与主配管(2)在该主配管(2)的最低位置MB连接，另一端部向大气开放，该排出用配管(5)用于使贮存器(140)和主配管(2)内的液体气化并向外部排出，排出用配管(5)形成为：在贮存器(140)和主配管(2)内的液体全部排出后，在排出用配管(5)内暂时地产生将排出用配管(5)的大气侧的空间和主配管(2)侧的空间隔开的积液。
流体供给装置液体排出方法

[发明专利]隔膜阀-CN202080042313.7在审
发明人：石桥圭介;吉田俊英;药师神忠幸;山路道雄;筱原努 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： F16K7/17 文献下载
摘要：本发明提供不受高压用、高温用等用途制约而具有优异的耐久性能且能够抑制颗粒产生的控制阀。隔膜阀包括：阀体(2)，其形成有流体的流入通路(22)及流出通路(23)；阀座(25)，其形成于该阀体内的流入通路的周缘；隔膜(30)，其通过与该阀座抵接/分离来进行流入通路与流出通路的连通/截断；隔膜按压部(31)，其按压该隔膜的中央部；以及致动器(4)，其使该隔膜按压部移动，所述隔膜阀具有调节机构，该调节机构将所述阀座与所述隔膜之间的封闭压力调节为规定的压力。
隔膜

[发明专利]阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置-CN202080012062.8在审
发明人：丹野竜太郎;吉田俊英;土口大飞;铃木裕也;近藤研太;中田知宏;篠原努;滝本昌彦 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2020-01-23 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： F16K37/00 文献下载
摘要：提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。
装置流量控制方法流体半导体制造以及

[发明专利]阀装置、使用该阀装置的流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法、以及半导体制造装置-CN202080012063.2在审
发明人：土口大飞;吉田俊英;丹野竜太郎;铃木裕也;近藤研太;中田知宏;篠原努;滝本昌彦 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： F16K37/00 文献下载
摘要：提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使操作构件(40)向开位置(OP)或闭位置(CP)移动；调整用致动器(100)，其利用与被施加的输入信号相应地收缩的被动元件，并且，用于对被定位于开位置(OP)的操作构件(40)的位置进行调整；位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位置；以及原点位置确定部，其利用隔膜(20)与阀座(15)抵接的闭阀状态来确定位置检测机构(85)的原点位置。
装置使用流量控制方法流体半导体制造以及

[发明专利]阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法-CN201780069196.1有效
发明人： 吉田俊英;中田知宏;篠原努;稻田敏之;船越高志 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-11-02 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。
装置使用流量控制方法半导体制造

[发明专利]阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法-CN201780073803.1有效
发明人： 吉田俊英;中田知宏;篠原努;稻田敏之;船越高志;佐藤秀信;汤原知子 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2017-11-02 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： F16K1/00 文献下载
摘要：提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
装置使用流量控制方法半导体制造

[发明专利]阀装置-CN201880091000.3在审
发明人： 吉田俊英;篠原努;中田知宏;丹野竜太郎;西野功二;杉田胜幸;滝本昌彦 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供能够更加简单地对打开阀时的流量进行调整的阀装置。阀装置(1)具有：阀体(10)，在其内部形成有第1流路(12)以及第2流路(13)；阀芯(20)，其通过关闭第1流路的开口而将第1流路和第2流路切断，并且通过打开第1流路的开口而使第1流路和第2流路连通；操作构件(40)，其使阀芯在关闭开口的闭位置与打开开口的开位置之间移动；以及调整致动器(100)，其限定操作构件的开位置，并且具有由根据电场的变化而发生变形的化合物形成的电驱动材料，通过电驱动材料的变形而使所限定的开位置发生变化。
装置

[发明专利]阀装置-CN201880091025.3在审
发明人：近藤研太;吉田俊英;滝本昌彦;篠原努;中田知宏;三浦尊;中泽正彦 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供能够确保流体的流量并且能够精密地调整流量的阀装置。该阀装置具有：主致动器(60)，其承受所供给的驱动流体的压力，并且使操作构件(40)向开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其配置为主致动器(60)产生的力的至少一部分作用于该调整用致动器(100)，用于对定位于开位置的操作构件的位置进行调整；以及压力调节器(200)，其设于驱动流体向主致动器(60)的供给路径，对所供给的所述驱动流体的压力进行调压，以便抑制向主致动器(60)供给的驱动流体的压力的变动。
装置

[发明专利]阀装置以及使用该阀装置的控制装置的控制方法、流体控制装置以及半导体制造装置-CN201880074687.X在审
发明人：滝本昌彦;吉田俊英;近藤研太;土肥亮介;西野功二 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种不使用限位开关就能够对阀的开闭状态进行检测的阀装置的控制装置。阀装置(1)具有对供流体流通的流路进行开闭的隔膜(20)、向流路的关闭方向对隔膜(20)施力的螺旋弹簧(90)、进行驱动以克服螺旋弹簧(90)的施力的主致动器(60)、以及利用了压电元件的调整用致动器(100)，该压电元件用于调整流路的基于隔膜(20)的开度，控制器(200)基于调整用致动器(100)的压电元件产生的电压来对流路的开闭状态进行检测，并且利用该检测信号对阀装置(1)进行控制。
装置以及使用控制方法流体半导体制造

[发明专利]阀装置、调整信息生成方法、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法-CN201880062421.3在审
发明人：近藤研太;吉田俊英;佐藤秀信;中田知宏;篠原努;滝本昌彦 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： F16K31/122 文献下载
摘要：本发明提供一种不使用外部传感器或者使用尽可能少量的外部传感器，就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有：调整用驱动器(100)，其用于调整定位于开位置的操作构件的位置；通信部(210)，其从装置外部接收与由阀芯引起的流路的开度调整相关的调整信息；以及控制部(220)，其基于该调整信息驱动调整用驱动器(100)而调整操作构件的位置。
装置调整信息生成方法流量流体控制半导体制造

[发明专利]阀装置、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法-CN201880062388.4在审
发明人：近藤研太;吉田俊英;相川献治;佐藤秀信;中田知宏;篠原努;滝本昌彦 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。
装置流量调整方法流体控制半导体制造

[发明专利]流体供给装置和流体供给方法-CN201880051985.7在审
发明人： 吉田俊英;皆见幸男;篠原努 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置，该流体供给装置具有：冷凝器(130)，其用于使气态的流体冷凝液化；贮存器(140)，其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体；泵(150)，其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体；以及加热部件(20)，其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路，用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
流体供给装置方法

[发明专利]流量控制装置用的流量控制阀-CN201480004461.4有效
发明人：广濑隆;山路道雄;吉田俊英;执行耕平 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2014-03-17 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： F16K31/02 文献下载
摘要：本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。
流量控制装置

[发明专利]压力式流量控制装置-CN201480049537.5在审
发明人：广濑隆;吉田俊英;松本笃谘;平田薰;池田信一;西野功二;土肥亮介;杉田胜幸 -专利权人：株式会社富士金
申请日： 2014-11-25 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
压力流量控制装置

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