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[发明专利]用于光学检测的照射系统-CN201410569577.4有效
发明人：伦·纳弗塔立;艾麦夏·捷塔;翰·菲德门;都伦·休汉;吉尔·布莱 -专利权人：应用材料以色列公司;应用材料公司
申请日： 2003-09-08 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请公开一种样品的检测装置，包括辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。
用于光学检测照射系统

[发明专利]用于光学检测的照射系统-CN201110240143.6有效
发明人：伦·纳弗塔立;艾麦夏·捷塔;翰·菲德门;都伦·休汉;吉尔·布莱 -专利权人：应用材料以色列公司;应用材料公司
申请日： 2003-09-08 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括：多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。
用于光学检测照射系统

[发明专利]用于成像系统的折叠光学装置-CN200610092607.2无效
发明人：阿维萨依·库塔;多伦·科恩戈特;吉尔·布莱;本杰明·科恩 -专利权人：以色列商.应用材料以色列公司
申请日： 2006-06-26 - 公布日： 2008-01-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种用于检测样品表面的装置，包括：检测器和折叠光学装置。该折叠光学装置设计为用于接收由表面的第一区域和第二区域产生的照射，该第一区域和第二区域具有相对于彼此的空间关系，并且通过照射在检测器上形成所述第一区域的第一图像和所述第二区域的第二图像，其中该第一图像为第一区域的线性转换，并且该第二图像为第二区域的线性转换，并且第一和第二图像具有相对于彼此的第二空间关系，该第二空间关系不同于第一空间关系的线性转换。
用于成像系统折叠光学装置

[发明专利]用于光学检测的照射系统-CN03823097.6无效
发明人：伦·纳弗塔立;艾麦夏·捷塔;翰·菲德门;都伦·休汉;吉尔·布莱 -专利权人：应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司
申请日： 2003-09-08 - 公布日： 2006-05-10 - 主分类号： G02B27/48 文献下载
摘要：本发明是有关于一种用于光学检测的照射系统，包括一个激光器，为产生以第一个光斑对比为特点的输入射束此激光器同时以多横向振荡模式工作。输入射束的横向振荡模式被光学混合来产生具有第二光斑对比的输出射束，此第二光斑对比充分小于第一光斑对比。
用于光学检测照射系统