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[实用新型]激光设备-CN202221591249.0有效
发明人：郑磊荣;李福海;朱锐;张远胜;黄利兵;罗成钢;陈康林;陈湘文;卢庆光;林远添;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本实用新型公开一种激光设备，该激光设备包括支撑架、激光器、第一滑轨、驱动装置、第一出光头、第二出光头、第一光路模块和第二光路模块，激光器、第一滑轨、驱动装置、第一光路模块和第二光路模块均设置于支撑架；驱动装置上设置有载物台，驱动装置用于带动载物台运动，第一出光头和第二出光头均滑设于第一滑轨；第一光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第一出光头，以从第一出光头射出，第二光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第二出光头，以从第二出光头射出。本实用新型技术方案采用一个激光器实现双工位加工，同时将第一滑轨与驱动装置分离设置，可以减小第一滑轨附近的空间占用率，减小激光设备的体积。
激光设备

[实用新型]激光加工设备-CN202221857521.5有效
发明人：张远胜;李福海;朱锐;郑磊荣;卢庆光;罗成钢;陈康林;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光加工设备。激光加工设备包括：料盒机构，用于存放料片；轨道机构，其轨道能张开及收缩；上料机构，包括第一驱动组件、第一吸附组件及夹取组件；第一驱动组件能驱动第一吸附组件及夹取组件沿第一方向移动；夹取组件用于在料盒和轨道机构之间传送料片；第一吸附组件用于吸附轨道机构上的料片并上料；载台机构，设于轨道机构下方，用于承接第一吸附组件送来的料片并送至加工位；下料机构，包括第二驱动组件及第二吸附组件，第二驱动组件驱动第二吸附组件沿第一方向移动；第二吸附组件用于将载台机构上的料片移至轨道机构；第二驱动组件与第一驱动组件沿第二方向依次设置。本申请的激光加工设备尺寸较小、加工效率高。
激光加工设备

[发明专利]晶片的切割方法及装置-CN201910598852.8在审
发明人：黄嘉迈;卢庆光;陈红;冯雷;卢建刚;张红江;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B23K26/14 文献下载
摘要：本发明主要公开了一种晶片切割方法和装置。方法如下：提供待切割处理的晶片，所述晶片包括衬底和层叠结合于所述衬底一表面PN层；沿所述衬底层至所述PN层的方向，对所述衬底层表面进行激光切割处理切割深度为穿透所述衬底层但不达到所述PN层；对所述晶片的PN层与所述衬底层相对的表面进行机械切割处理，并使得机械切割处理的切割道与所述激光切割处理的切割道对应，直至将所述晶片切割断。本发明所述的晶片切割方法，背面采用激光切割提升效率，正面采用机械切割避免激光切割的高温破坏PN层，兼顾了效率和良率；另一方面采用激光切割可以有效降低背崩率，提高晶片的良率的同时还能减少机械加工的刀具的损耗。
激光切割晶片衬底层机械切割切割切割道衬底良率方法和装置层叠结合高温破坏机械加工晶片切割种晶刀具背面穿透割断

[发明专利]晶圆片切割的装置-CN201910093481.8在审
发明人：陈畅;柳啸;卢庆光;杨深明;卢建刚;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆片切割的装置，该装置包括：激光器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、椭圆光斑整形系统、第三反射镜、光学衍射整形镜片、聚焦镜和抽尘设备，该激光器产生的激光光束经扩束镜扩束后，得到扩束后的平行激光光束，该平行激光光束经第一反射镜和第二反射镜依次反射后，投射至椭圆光斑整形系统中，椭圆光斑整形系统将平行激光光束转变为椭圆形光斑，椭圆形光斑经第三反射镜反射后，投射至光学衍射整形镜片，光学衍射整形镜片将椭圆形光斑整形为N个满足预置条件的整形光斑，并传输至聚焦镜，聚焦镜用于将N个整形光斑聚焦至晶圆片上，以切割晶圆片，抽尘设备用于排出在切割晶圆片的过程中产生的残渣和粉尘，提高切割质质量。
整形反射镜晶圆片平行激光光束椭圆形光斑切割光学衍射椭圆光斑整形系统聚焦镜镜片光斑激光器扩束镜抽尘扩束投射反射镜反射激光光束预置条件圆片切割反射排出种晶粉尘聚焦传输

[发明专利]一种基于糖碳苷的水溶性荧光探针、合成与应用-CN201410599185.2有效
发明人：方志杰;张涛;顾小敏;卢庆光 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2014-10-30 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： C09K11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于糖碳苷的水溶性荧光探针化合物、合成及其应用。所述的荧光探针经过两步反应得到，具有反应原料廉价易得，反应步骤少，产率高等特点。本发明揭示了所述基于糖碳苷荧光探针的多种用途，包括1.酸碱度分析，由于该荧光探针在酸条件下无荧光，碱条件下荧光保持，利用其酸碱开关的特性，对酸碱度进行分析；2.巯基阴离子检测，利用α,β‑不饱和酮的特性(即提供亲电中心的性质)，可选择性的对巯基进行检测；3.蛋白质标记，利用该荧光化合物在质子溶剂中有较弱或者无荧光，但向该化合物的水溶液中加入蛋白后荧光产生的这一特性，用于对蛋白质进行标记，并增强蛋白质检测的灵敏度。
一种基于糖碳苷水溶性荧光探针合成应用

[实用新型]叉车货叉调节器-CN94204644.7无效
发明人： 卢庆光 -专利权人： 卢庆光
申请日： 1994-02-09 - 公布日： 1998-04-08 - 主分类号： B66F9/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种叉车货叉调节器,它是在原有货叉的基础上改进而成,由一根两端分别为左右旋向的螺纹丝杆并排于上下两根支撑横杆中间,穿过货叉固定在货架框上,装在两货叉中间背后的电动机转轴的减速齿轮与丝杆齿轮相啮合。通过电机正反转带动丝杆正反转,便可实现两货叉间距离的调整。该叉车货叉调节器具有结构简单、实用,使用方便,可靠等特点,可广泛应用于各种型号的叉车货叉上。
叉车调节器

[实用新型]贴合式活动纱窗-CN93217810.3无效
发明人： 卢庆光 -专利权人： 卢庆光
申请日： 1993-07-01 - 公布日： 1994-06-08 - 主分类号： E06B9/52 文献下载
摘要：本实用新型是一种利用贴合搭扣将纱网布固定在门窗框架上的贴合式活动纱窗。它由纱网布(2)、门窗框架(3)和分别固定在纱网布(2)四周及门窗框架(3)相应位置上的贴合搭扣(1)等构成。本实用新型具有简单实用，方便实惠等优点。
贴合活动纱窗