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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种光刻胶的更换装置-CN202120861462.8有效
发明人： 卢佳昇;陈广进;闻旭;葛斌;吴长明 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： B67D7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶的更换装置，包括光刻胶瓶、缓冲罐，所述光刻胶瓶与所述缓冲罐通过移送管路联通；所述缓冲罐的内顶面包括相接的斜面部、平面部，所述斜面部与所述平面部相接的一侧在竖直方向高于与所述缓冲罐的内侧壁相交的一侧；所述平面部设置有排液管路；所述斜面部将所述缓冲罐内的气泡汇聚于所述平面部并自所述排液管路排出。本实用新型将缓冲罐的顶面设置为平面部和斜面部的结构，在光刻胶更换过程中，气泡随斜面部逐渐汇聚于平面部，并自平面部设置的排液管路被排放至厂务端排液主管路，节省了排气泡时间，有利于产能提升，且减少了排气泡过程中光刻胶的浪费。
一种光刻更换装置

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