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[发明专利]一种无颗粒脱落风险的薄片形吸气剂的制备方法-CN202110007220.7有效
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B01J20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种无颗粒脱落风险的高可靠薄片形吸气剂及其制备方法：通过化学的方法在厚度小于1mm的薄片状的钛重量百分含量大于50%的钛合金或锆重量百分含量大于50%的锆合金的表面刻蚀出纳米结构以获得巨大的比表面积，从而获得优异的吸气性能。本发明的优点：没有颗粒脱落的风险；双面同时加工，提高了效率；生产设备投入和运行成本低；可图形化生产。
一种颗粒脱落风险薄片吸气制备方法

[发明专利]一种提升含碳气体吸气容量的吸气薄膜-CN202310088961.1在审
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种提升含碳气体吸气容量的吸气薄膜，通过PVD方法在不锈钢、可伐、硅、锗、陶瓷的基底表面沉积0.1‑15μm的吸气薄膜，吸气薄膜包括钛、锆中的一种或两种，同时含有重量百分比为吸气薄膜总重0.5‑20%的钨、钼或其任意比例的组合，以及可选的钒、锰、钴、钇、铝；与现有技术相比，本发明的吸气薄膜对CO、CO2、CH4等含碳气体的吸气容量提升30‑50%，应用于芯片通过有机胶粘接方式固定的MEMS器件。
一种提升气体吸气容量薄膜

[发明专利]一种高可靠大容量吸氢泵及其制备方法-CN202110396561.8有效
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： F04D29/02 文献下载
摘要：本发明是一种高可靠的大容量吸氢泵，其特征是：1)采用非蒸散型吸气合金作为有效吸气材料；2)由非蒸散型吸气合金制作的吸气元件整体是非均匀的，具有三明治结构。其表面除了具有数微米、数十微米的小孔隙，还有大于100微米的大孔隙，中间层只有数微米、数十微米的小孔隙；3)由非蒸散型吸气合金制作的吸气元件经氮化处理。优点在于：通过吸气元件的三明治结构和氮化处理，可以加大芯部吸气合金吸附和扩散氢气的机率，提高吸气元件芯部的利用率，使得采用较厚的吸气元件成为可能，从而提高吸氢泵的可靠性和吸氢容量。通过本发明，可满足需要大量吸氢的领域对吸气剂泵提出的大容量、高可靠的要求。
一种可靠容量吸氢泵及其制备方法

[发明专利]一种低温激活的大容量吸气薄膜-CN202210653189.9在审
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种低温激活的大容量吸气薄膜：通过溅射或蒸镀的方法在不锈钢、可伐、硅、锗、陶瓷等基底表面沉积一层钛锆钴合金薄膜，其中钛与锆的原子比从1:5到5:1，钛加锆与钴的原子比为20:1到3:1。本发明的优点：激活温度可低至200℃；吸气膜内部的应力小，可镀至5微米以上的厚度，增加吸气容量；不使用钯等贵金属，低温激活时对一氧化碳和氢气同时具有良好的吸气能力；靶材制作良率高，易生产大尺寸的靶材和产品，提高了效率。
一种低温激活容量吸气薄膜

[实用新型]一种使用吸气剂泵的超高真空泵组结构-CN202120749646.5有效
发明人：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种使用吸气剂泵的超高真空泵组结构，该结构包括机械泵、前级高真空泵、吸气剂泵、真空管道、后级分子泵。机械泵、前级高真空泵、后级分子泵依次串联，吸气剂泵安装进前级高真空泵和后级分子泵之间的真空管道中，后级分子泵进气口连接真空腔体，机械泵出气口通向外部环境。本实用新型的优点：1）解决多级超高真空泵组后级分子泵对氢气压缩比偏低的问题；2）可以进一步提高超高真空系统的真空度，提高抽真空效率，结构简单便于实施。
一种使用吸气超高真空泵结构

[实用新型]一种便于使用的自真空复合吸气剂-CN202120749677.0有效
发明人：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便于使用的自真空复合吸气剂，其结构包括加热装置、蒸散型吸气材料、非蒸散吸气剂材料；其中蒸散型吸气剂一般由钡铝合金粉、镍粉、镁粉混合形成主要功能材料，将混合粉压制在圆形金属壳内，金属壳底部焊接有热子底座，电子底座主要由电阻丝和陶瓷绝缘层组成，可以实现通电加热的功能。圆形金属壳的外圈套有环形金属壳，凹槽内有压制成型的非蒸散吸气材料，成分是锆钒铁吸气合金粉，本实用新型的优点：1）可不依赖于任何真空泵组，实现密闭器件真空；2）无机械运动，无振动；3）具有一定的真空维持能力，长时间维持器件的真空度；4）安装工艺简单、使用方便。
一种便于使用真空复合吸气

[发明专利]一种锆石墨烯吸气材料及其制备方法-CN201911414870.2有效
发明人：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： C22C16/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种锆石墨烯吸气材料及其制备方法，该合金成分的质量百分比为锆40%~90%、石墨烯10%~60%，锆采用锆粉或氢化锆粉，石墨烯采用单层、少层或多层石墨烯；两种材质的粉体通过机械合金化或者粉末冶金真空烧结形成锆石墨烯吸气材料。优点：1）用作吸气材料，拓展新的吸气材料门类，拥有较大的微观吸气表面积和复杂的内部微观结构，具有优异的吸气性能；2）制作真空电子元器件零部件，具有较好的吸收残气能力。
一种石墨吸气材料及其制备方法

[实用新型]一种便于使用的小型真空室-CN202023298992.0有效
发明人：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种便于使用的小型真空室，其结构包括KF真空法兰、可伐管、玻璃管；其中KF真空法兰与可伐管密封焊接，可伐管另一端钎焊半封闭的玻璃管。优点：1）气体漏放率较小，容易实现较高的真空度；2）真空室透明，便于观察内部情况，且可实现高频加热内部器件，光学测温等；3）结构简单、安装方便；4）耗材耐用、成本较低。
一种便于使用小型真空

[发明专利]一种带热子的钛基贮氢器件-CN202110396562.2在审
发明人：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： B22F7/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种带热子的钛基贮氢器件，包括热子、贮氢金属；热子包括金属电热丝和陶瓷绝缘管组成，陶瓷绝缘管套在金属电热丝表面，贮氢金属位于陶瓷绝缘管表面。优点：1）结构简单，牢固度高，体积较小，适应有贮氢需求的电子器件小型化、平面化发展的需要。2）带热子，可以通过电流的微调，精确调节器件吸放氢气的量。
一种带热子钛基贮氢器件

[发明专利]一种高可靠吸气剂热子结构及制备方法-CN202110396555.2在审
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01J7/18 文献下载
摘要：本发明是一种吸气剂热子的结构及制备方法，其特征是粗热丝在连接部分有一个或多个间断的凹槽；细热丝有部分缠绕在粗热丝上，并且缠绕在粗热丝的部分有部分或全部嵌入粗热丝的凹槽中；在细热丝、连接部分以及粗热丝的部分区域有绝缘层覆盖。本发明的优点在于：粗细热丝通过缠绕连接，能避免通常焊接连接方式可能带来的接触不良、断裂、熔断等缺陷，提高了热子的其可靠性。
一种可靠吸气剂热子结构制备方法

[发明专利]一种高吸气速率环保型吸氢吸水剂-CN202110396189.0在审
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-04-13 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种高吸气速率环保型吸氢吸水剂，包括松香改性酚醛树脂，吸水剂和/或吸氢剂，其特征是松香改性酚醛树脂的质量与吸水剂和吸氢剂的质量和的比值在1：20到2:1之间。本发明的优点：在吸水量、吸氢容量、耐温性能、抗破坏性与现有技术相当的情况下，无须使用有毒的有机溶剂，并且可以大幅提高吸氢吸水剂的吸气速率。
一种吸气速率环保型吸氢吸水

[发明专利]一种应用于极紫外设备的吸气剂及制备装置-CN202110258757.0在审
发明人：王浏杰;郭卫斌;薛函迎;柴云川 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B02C17/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于极紫外设备的吸气剂及制备装置，通过支撑腿与外壳固定连接，隔板与外壳固定连接，搅拌机构与隔板固定连接，外筒与外壳固定连接，减震弹簧与外筒固定连接，限位块与减震弹簧固定连接，内筒与限位块固定连接，球磨机构与内筒转动连接，驱动机构与外壳固定连接，驱动机构与球磨机构固定连接，减震垫与隔板固定连接，固定杆与减震垫固定连接，外圈与固定杆固定连接，钢球与外圈滑动连接，内圈与钢球固定连接，内圈与球磨机构固定连接，筛分机构与外壳固定连接，制得颗粒成分为Si3N4、Si、SiO2、Al2O3、C、Mo、Zr、V、Fe、Ti和稀土，颗粒大小为1‑1000nm的吸气剂，解决了应用于极紫外设备的吸气剂制备装置稳定性较差的问题。
一种应用于紫外设备吸气制备装置

[发明专利]一种高可靠大容量吸氢吸水剂-CN201911414872.1在审
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B01J20/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种高可靠大容量吸氢吸水剂，包括有机溶剂、可溶性聚酰亚胺、偶联剂、吸水剂、吸氢剂，其特征是可溶性聚酰亚胺与吸水剂和吸氢剂的重量和的比值在1：20到1:5之间。本发明的优点：使用聚酰亚胺作为粘结剂可以大幅减少粘结剂的重量与吸水剂和吸氢剂的重量和的比值，从而增加单位面积内的吸水剂与吸氢剂的用量，从而大幅增加吸水和吸氢容量；聚酰亚胺的耐高温特性使得吸水吸氢剂暴露在高温环境中也不会分解产生有害的有机气体；使用可溶性聚酰亚胺，只需溶剂挥发就可完成吸氢吸水剂的固化，不须将吸氢吸水剂加热到高温使其亚胺化，具有使用方便的特点。
一种可靠容量吸水

[发明专利]一种选择性抽气的溅射离子泵-CN201711386949.X有效
发明人：王浏杰;薛函迎;柴云川;郭卫斌 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： H01J41/12 文献下载
摘要：本发明是选择性抽气的溅射离子泵，包括离子源、磁控偏转控制器、捕集阱、电源；其中离子源、磁控偏转控制器、捕集阱串联构成通路；电源为系统供电，提供离子源高压和加速电场，并连通捕集阱使捕集阱接地。优点：可在线实时选择性地抽除指定气体，降低真空环境中该气体的含量；工作压强宽；操作简单，通过电源调节离子源加速电场强度即可控制去除气体的种类；清洁无污染，通过钛(铌)捕集阱溅射抽气，无油，高度清洁；无噪音无振动；相对于传统方法，受其他气体的干扰比较小。主要通过电磁场对不同荷质比的带电气体离子进行筛选抽除，可用于要求控制气体成分，需抽除指定(杂质)气体的场合，如开关管等。
一种选择性溅射离子

[发明专利]结构简单便于安装的组合泵-CN201810478959.4有效
发明人：郭卫斌;薛函迎;柴云川;王浏杰 -专利权人： 南京华东电子真空材料有限公司
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： F04B35/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种结构简单便于安装的组合泵，它包括一个或多个阳极室组成的用以连接高压的阳极筒，一个或多个用于固定吸气剂泵的底座以及由一组或多组多孔吸气材料组成的吸气剂泵，其特征是固定吸气剂泵的底座同时作为溅射离子泵的阴极使用。优点：1）底座作为阴极使用，可以显著缩小组合泵的体积便于安装在标准电极法兰上，便于组合泵的制造、安装和维修。2）通过增加吸气剂泵长度方向的尺寸或者增加吸气剂泵截面的面积可以调整吸气剂泵的装载量。3）安装简便，可以最大限度的降低真空系统的漏放率，最多用一个接口就可以连接到真空腔上。
吸气剂泵组合泵便于安装底座阴极多孔吸气材料溅射离子泵标准电极真空系统阳极室阳极筒真空腔装载量法兰维修制造

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