“利昂·沃尔福夫斯基”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]处理系统对准器站的校准-CN202080068130.2在审
发明人：尼古拉斯·迈克尔·伯甘茨;安德烈亚斯·施密德;利昂·沃尔福夫斯基;金相谦;达蒙·考克斯;保罗·沃思 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：校准电子处理系统的对准器站的方法。通过传送腔室的第一机械臂从连接传送腔室的处理腔室取回校准。校准物体在处理腔室具有目标取向。通过第一机械臂将校准放置在连接传送腔室的装载锁定。通过连接装载锁定的工厂接口的第二机械臂从装载锁定取回校准。通过第二机械臂将校准物体放置在容纳在工厂接口或连接工厂接口的对准器站。校准物体在对准器站具有第一取向。确定对准器站的第一取向与对准器站的初始目标取向之间的差。对准器站的初始目标取向与处理腔室的目标取向相关联。基于第一取向与初始目标取向的差确定与处理腔室相关的第一特征误差值记录在存储介质中。对准器站使用第一特征误差值对准要放置在处理腔室的物体。
处理系统对准校准

[发明专利]可更换的终端受动器接触垫、终端受动器和维护方法-CN202080017241.0在审
发明人：怀特尼·克勒兹;达蒙·基思·考克斯;利昂·沃尔福夫斯基;杰弗里·C·赫金斯;巴拉穆拉利·穆鲁加拉吉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：提供了终端受动器的可更换的接触垫。接触垫在电子装置制造中支承基板。接触垫包括：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；轴，耦接至接触垫头，轴包括形成在接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围并座落在轴凹口中，并构造成将接触垫固定至终端受动器主体。描述了包括可更换的接触垫的终端受动器和维护方法的以及其他方面。
更换终端受动器接触维护方法

[发明专利]包含光纤加热的基板温度控制装置、基板温度控制系统、电子器件处理系统及方法-CN201580029541.X有效
发明人：马修·巴斯彻;小温德尔·博伊德;维贾伊·D·帕克赫;迈克尔·R·赖斯;利昂·沃尔福夫斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-05-21 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本文说明了包括光纤温度控制的基板温度控制装置。基板温度控制装置包括基部、在该基部近处的热接触元件、及适于侧向延伸于该基部与该热接触元件之间且提供以光为基础的加热的多个光纤。本文也以其它多种构想说明了包括光纤温度控制的方法、基板温度控制系统与电子器件处理系统。
包含光纤加热温度控制装置控制系统电子器件处理系统方法

[发明专利]有沟槽引导式光纤加热的温度控制设备、基板温度控制系统、电子器件处理系统及处理方法-CN201580032721.3有效
发明人：马修·巴斯彻;小温德尔·博伊德;德米特里·A·季利诺;维贾伊·D·帕克赫;迈克尔·R·赖斯;利昂·沃尔福夫斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：包括沟槽引导式光纤的基板温度控制设备。基板温度控制设备包括上部和下部构件(其中一者或两者包括沟槽)及多个在沟槽中被引导的光纤。在一个实施方式中，这些光纤适于提供基于光的像素化加热。在另一个实施方式中，嵌入式光温度传感器适于提供温度测量。描述了基板温度控制系统、电子器件处理系统、及包括沟槽引导式光纤温度控制和测量的方法作为许多其它的构想。
沟槽引导光纤加热温度控制设备控制系统电子器件处理系统方法

[发明专利]用于使用嵌入光纤光学器件及环氧树脂光学散射器的基板温度控制的装置、系统与方法-CN201580034345.1有效
发明人：马修·巴斯彻;小温德尔·博伊德;托德·J·伊根;格雷戈里·L·柯克;维贾伊·D·帕克赫;迈克尔·R·赖斯;利昂·沃尔福夫斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：基板温度控制装置与电子器件制造系统提供像素型光式加热至处理腔室中的基板。处理腔室中的基板固持件可包括底板。底板具有顶表面，顶表面可具有多个空腔与连接至空腔的多个槽。光纤可接收在槽中，使得每一个空腔具有终止于空腔中的各自的光纤，以传送光至每一个空腔。一些或所有空腔可具有设置在空腔中的环氧树脂光学散射器，以散射由光纤所提供的光。上面可以放置基板的陶瓷板可接合至底板。可选地提供散热板于底板与陶瓷板之间。正如其它方面，还提供于电子器件制造系统中控制跨基板固持件的温度。
用于使用嵌入光纤光学器件环氧树脂散射温度控制装置系统方法

[发明专利]具有温度分布控制的加热式基板支撑件-CN201480049638.2有效
发明人：尼尔·玛利;利昂·沃尔福夫斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-10 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本文提供具有温度分布控制的基板支撑件的方法及装置。在一些实施方式中，基板支撑件包括：板，所述板具有基板接收表面及相对的底表面；及轴，所述轴具有第一端及第二端，所述第一端包括轴加热器，其中所述第一端耦接至所述底表面。亦提供了制造具有温度分布控制的基板支撑件的方法。
具有温度分布控制加热式基板支撑

[发明专利]具有馈通结构的基板支撑件-CN201380016546.X有效
发明人： 利昂·沃尔福夫斯基;马尤尔·G·库尔卡尼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2013-03-19 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：在此提供用于提供电流的设备与利用此设备的基板支撑件。在一些实施例中，一种馈通结构可包括主体，所述主体具有界定一或更多个开口的壁，所述一或更多个开口设置成从第一端穿过所述主体至第二端；一或更多个第一导体与一或更多个第二导体，每个第一导体和第二导体设置在所述壁中而从所述第一端至所述第二端；及多个导电网筛，所述多个导电网筛设置在所述壁中，至少一个导电网筛围绕所述壁的第一区域，所述壁的所述第一区域包括所述一或更多个第一导体，且至少一个导电网筛围绕所述壁的第二区域，所述壁的所述第二区域包括所述一或更多个第二导体，其中多个导电网筛使所述第一区域和所述第二区域与设置在所述第一区域和所述第二区域外面的分别的第一外部电磁场和第二外部电磁场分别实质上电气绝缘。
具有结构支撑

[发明专利]具有加热器的基板支撑件-CN201280038838.9有效
发明人： 利昂·沃尔福夫斯基;马尤尔·G·库尔卡尼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2017-06-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本文提供具有加热器的基板支撑件的实施方式。在一些实施方式中，基板支撑件可包括第一构件，以当基板出现在第一构件的第一表面的上方时，分配热至基板；加热器，该加热器耦接至第一构件并且具有一个或更多个加热区，以提供热至第一构件；第二构件，该第二构件设置在第一构件下面；管状主体，该管状主体设置在第一构件与第二构件之间，其中管状主体在第一构件与第二构件之间形成间隙；以及多个基板支撑销，该基板支撑销设置在第一构件的第一表面上方的第一距离处，当基板出现在基板支撑件上时，多个基板支撑销支撑基板的背侧表面。
具有加热器支撑

[发明专利]用于基板边缘清洁的方法和装置-CN201480009306.1在审
发明人：詹姆斯·马修·霍尔登;徐松文;托德·伊根;卡利安吉特·戈什;利昂·沃尔福夫斯基;迈克尔·R·赖斯;理查德·吉利朱姆 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-02-25 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： H01L21/30 文献下载
摘要：一种基板清洁设备可包括：基板支撑件，该基板支撑件具有支撑表面，以支撑待清洁的基板，其中该基板支撑件可围绕垂直于支撑表面的中心轴旋转；第一喷嘴，当基板支撑件的支撑表面支撑该基板时，该第一喷嘴将第一清洁气体提供至内部空间的区域，该区域对应于基板的边缘的位置；第一环形主体，该第一环形主体设置于基板支撑件的支撑表面的相对面，且与该基板支撑件的支撑表面间隔开缝隙，该第一环形主体具有中央开口，该中央开口由内壁界定，该内壁经塑形以在径向向外的方向上于第一环形主体与支撑表面之间提供减小尺寸的缝隙；和第一气体入口，该第一气体入口将第一气体提供至第一环形主体的中央开口。
用于边缘清洁方法装置

[发明专利]具有加热器与快速温度变化的基板支撑件-CN201280007812.8有效
发明人： 利昂·沃尔福夫斯基;马尤尔·G·库尔卡尼;亚历克斯·明科维奇 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-01-26 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供具有加热器与集成冷却器的基板支撑件的实施例。在某些实施例中，基板支撑件可包括：第一构件，当基板位于第一构件的第一表面上方时，第一构件用以散布热至基板；加热器，加热器设置于第一构件下，且加热器具有一或多个加热区域以提供热至第一构件；多个冷却通道，多个冷却通道设置于第一构件下，以移除加热器提供的热；多个基板支撑销，多个基板支撑销设置在高于第一构件的第一表面上第一距离处，当基板位于基板支撑件上时，多个基板支撑销用以支撑基板的背侧表面；及对准引导件，对准引导件自第一构件的第一表面延伸并围绕多个基板支撑销。
具有加热器快速温度变化支撑

1
共 10 条