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- [发明专利]铝基底新型共面微腔等离子体器件-CN201010600480.7有效
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梁志虎;张小宁;王含;何兆;刘纯亮
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西安交通大学
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2010-12-22
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2011-06-29
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H01J17/49
- 本发明公开了一种铝基底新型共面微腔等离子体器件,纯铝或铝合金为基底,圆柱形的微腔通孔单元呈阵列排布,阵列中行与行之间的间距大于列与列之间的间距,并且每个微腔通孔单元周围都有一层各向同性的氧化铝薄膜层;氧化铝薄膜层的厚度大于阵列中列与列的间距,而小于行与行的间距;这样每行微腔通孔单元中相邻两个微腔通孔单元之间就都完全被氧化铝薄膜层填充,而相邻两行微腔通孔单元之间则只有一部分被氧化铝薄膜层填充,这就构成了共面型电极结构,每行微腔通孔单元之间剩余的铝层作为维持电极,埋藏在氧化铝薄膜层的介质层内,可以得到较好的保护,这样就可以在每行微腔通孔单元的上下两侧加上驱动电压,实现介质阻挡放电。
- 基底新型共面微腔等离子体器件
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