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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]真空内磁场约束装置及真空镀膜系统-CN202320438120.4有效
发明人： 冯火群;彭孝龙;莫超超 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空内磁场约束技术领域，尤其涉及一种真空内磁场约束装置及真空镀膜系统，旨在缓解现有磁场约束装置安全性能低的技术问题。该真空内磁场约束装置包括固定外壳、电磁线圈、永磁铁、电极馈入和水接头；固定外壳具有容纳腔；电磁线圈设置在永磁铁的至少一个侧面，并同永磁铁一起设置于容纳腔内；电极馈入固定于固定外壳的外壁，并与电磁线圈电连接；水接头设有至少两个，固定于固定外壳的外壁，并与容纳腔连通。该真空镀膜系统包括真空内磁场约束装置。通过该真空内磁场约束装置，可以产生约束磁场实现对等离子体的约束，同时循环的冷却水可带走电磁线圈产生的热量，提高了安全性能。
真空磁场约束装置真空镀膜系统

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