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[发明专利]薄膜太阳电池用槽加工工具-CN201110003435.8有效
发明人：赤井敏男;冈本庆太郎;曾山正信 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2011-01-10 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供薄膜太阳电池基板用槽加工工具，在集成型薄膜太阳电池基板的槽形成时，能够抑制槽端部的膜剥离、能够高品质地进行加工、且能够以简单的工序进行槽加工。该槽加工工具(16)是由保持器(15)保持、用于与保持器(15)一起在集成型薄膜太阳电池基板上沿着预定切割线相对移动而形成槽的工具。该槽加工工具(16)具备：由保持器(15)保持的工具主体(22)；以及形成于工具主体(22)的末端部的刀锋部(24)。刀锋部(24)在工具移动方向一端侧的末端具有在与工具移动方向交叉的方向延伸的刀刃(25)，从刀锋部(24)的底面观察，刀刃(25)相对于与工具移动方向正交的方向朝工具移动方向后方倾斜。
薄膜太阳电池加工工具

[发明专利]划线轮及脆性材料基板的划线方法-CN200980120991.4有效
发明人：留井直子;冈本庆太郎;富森纮 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供刃前缘的磨耗少而使用寿命长、可应需要使较深垂直裂痕产生、即使将陶瓷基板等较硬的基板划线刃前缘的磨耗亦少且使特定深度的垂直裂痕产生的划线轮。在外径为1mm～5mm的范围的轮的棱线即刃前缘(12)以特定间隔形成多个槽(13)。且，使该槽(13)的深度(D)为25μm以上，槽间的棱线(14)的长度(L)为25μm以上。槽(13)的节距(P)为50μm～200μm的范围较理想。
划线脆性材料方法