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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法-CN202011277739.9有效
  • 木村龙司;中须祥浩;关谷任史 - 佳能特机株式会社
  • 2020-11-16 - 2023-06-23 - C23C14/04
  • 本发明提供一种对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法，进一步提高对准装置的对准精度。本发明的对准装置是用于调整基板与掩模的相对位置的对准装置，其特征在于，所述对准装置包括：基板保持器，所述基板保持器保持基板；掩模保持器，所述掩模保持器支承掩模；基板保持器驱动机构，所述基板保持器驱动机构将所述基板保持器支承为能够移动；掩模保持器驱动机构，所述掩模保持器驱动机构将所述掩模保持器支承为能够移动；相对位置关系取得部件，所述相对位置关系取得部件取得与基板的面平行的面内的基板与掩模的相对位置关系；以及第一位置检测部件，所述第一位置检测部件设置于所述掩模保持器，用于检测所述基板或所述基板保持器的位置。
  • 对准装置方法
  • [发明专利]成膜装置-CN202011260259.1有效
  • 关谷任史;木村龙司;新海达也;冈部俊介 - 佳能特机株式会社
  • 2020-11-12 - 2023-04-18 - C23C14/04
  • 本发明提供一种能够抑制对准精度降低的成膜装置。本发明的成膜装置包括：容器；容器支承体，其设置于所述容器的外部，支承所述容器的至少一部分；基板支架，其设置于所述容器内，保持基板；掩模支架，其设置于所述容器内，支承掩模；基板支架驱动机构，其驱动所述基板支架；掩模支架驱动机构，其驱动所述掩模支架；以及振动传递抑制构件，其设置于所述容器支承体与所述基板支架驱动机构之间以及所述容器支承体与所述掩模支架驱动机构之间中的至少一方。
  • 装置
  • [发明专利]成膜装置-CN202011292113.5有效
  • 关谷任史;木村龙司;新海达也;冈部俊介 - 佳能特机株式会社
  • 2020-11-18 - 2023-03-31 - C23C14/04
  • 本发明涉及一种抑制对准精度降低的成膜装置。本发明的成膜装置具备：容器；所述容器的外部的基座支承体；所述容器内的基板保持件；所述容器内的掩模保持件；基板保持件驱动机构；掩模保持件驱动机构；基板保持件驱动机构支承体，其与所述基座支承体连接；掩模保持件支承体，其与所述基座支承体连接，支承所述掩模保持件；所述基座支承体与所述基板保持件驱动机构之间的振动传递抑制构件；以及对准用相机单元，其设置于所述容器的外部且设置于所述掩模保持件支承体，用于测定基板与掩模的相对位置偏移。
  • 装置
  •  1 
  • 共 4 条
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